CN219224598U - 一种晶体毛坯缺陷检测装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种晶体毛坯缺陷检测装置,包括检测室,旋转载物台、第一摄像头、第二摄像头、带刻度宽屏,所述旋转载物台固定于所述检测室的内部中间位置,所述晶体毛坯竖直放置在所述旋转载物台上,所述旋转载物台用于对所述晶体毛坯进行支撑和旋转,所述第一摄像头位于所述晶体毛坯的轴线方向上并固定在所述检测室的顶端内壁,所述第二摄像头位于所述晶体毛坯的一侧,所述带刻度宽屏位于所述晶体毛坯的另一侧。本实用新型可以有效的判断缺陷及其在晶体毛坯内的具体位置,同时检测效率高,检测精度高,同时检测得到的影像记录可以通过软件算法形成结论,有效减少了人工干预,是一种可追溯可标准化的质量评价装置。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶体毛坯检测技术领域,特别是涉及一种晶体毛坯缺陷检测装置。
背景技术
激光晶体是激光器的核心,但晶体毛坯在生长和制备过程中,受原料不纯、晶体升华、晶格失配以及环境因素等影响,制备的晶体毛坯难免存在各种缺陷,因此对晶体毛坯的检测,把控晶体毛坯的品质直接决定了激光器的运行状态及产品质量。
目前,对晶体毛坯的检测,仍然基于人工目视或通过显微镜直接观察的方法实现,现有的检测方法精度不够高,同时检测效率比较低,不能标记出晶体内部缺陷的具体位置。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种晶体毛坯缺陷检测装置以解决上述背景技术中存在的问题。
本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的:
一种晶体毛坯缺陷检测装置,其特征在于:所述装置包括检测室,旋转载物台、第一摄像头、第二摄像头、带刻度宽屏,所述旋转载物台固定于所述检测室的内部中间位置,所述晶体毛坯竖直放置在所述旋转载物台上,所述旋转载物台用于对所述晶体毛坯进行支撑和旋转,所述第一摄像头位于所述晶体毛坯的轴线方向上并固定在所述检测室的顶端内壁,所述第二摄像头位于所述晶体毛坯的一侧,所述带刻度宽屏位于所述晶体毛坯的另一侧。
通过上述技术方案,检测室隔绝外部环境,提供一个无灰尘无光污染的检测环境,晶体毛坯竖直放置在旋转载物台上,通过旋转载物台进行支撑和旋转,竖直方向上的第一摄像头用于拍摄竖直方向上的晶体缺陷照片,第二摄像头位于晶体毛坯的侧面,用于拍摄晶体毛坯在轴向上的缺陷图片,同时第二摄像头在拍摄过程中将位于第二摄像头对面的带刻度宽屏摄入,晶体毛坯上的缺陷投影到带刻度的宽屏上被第二摄像头捕捉,从而使得晶体毛坯中缺陷的位置有了准确的标记,使得对激光晶体损伤的判断更为客观、精准,并且拍摄的图片可以根据计算机自动识别图片中的缺陷特征从而给出检测结果,极大地提高了检测自动化程度和检测效率。同时检测得到的影像记录可以通过软件算法形成结论,有效减少了人工干预,是一种可追溯可标准化的质量评价装置。
进一步地,所述旋转载物台包括支撑座和驱动电机,所述支撑座为中空圆盘结构,所述支撑座中部设有与所述晶体毛坯端部相适配的卡口,所述支撑座的外壁设有齿槽,所述驱动电机位于所述支撑座的一侧,所述驱动电机与所述检测室固定连接,所述驱动电机的顶端设有齿轮,所述齿轮与所述齿槽相啮合。
通过上述技术方案,支撑座为中空的圆盘,晶体毛坯的带有锥度的端部可以与卡口配合,从而使得晶体毛坯可以竖直放置而不会倾倒,同时,减少夹具的使用避免对晶体毛坯造成损伤。支撑座上设置齿槽通过与驱动电机上的齿轮啮合,使得通过驱动电机带动支撑座旋转,实现晶体毛坯的旋转运动。
进一步地,所述支撑座底部设有轴承,所述支撑座的底部与所述轴承的内圈过渡配合,所述轴承的外侧设有轴承座,所述轴承凸出所述轴承座,所述轴承的外圈与所述轴承座过盈配合,所述轴承座与所述检测室固定连接。
通过上述技术方案,支撑座底部设有轴承,轴承固定在轴承座上,轴承的内圈活动,轴承的外圈固定,方便支撑座可以自由旋转。
进一步地,所述第二摄像头设有激光光源和移动轨道,所述激光光源位于所述第二摄像头的下方,所述移动轨道平行于所述晶体毛坯的轴线,所述第二摄像头和所述激光光源通过所述移动轨道上下移动。
通过上述技术方案,第二摄像头下方设置激光光源用于对晶体的照射,以便发现晶体中的缺陷,方便第二摄像头拍出缺陷照片,同时第二摄像头和激光光源可以沿着移动轨道上下位移,便于拍全晶体毛坯,同时可以将第二摄像头停留在特定位置进行重点位置的缺陷检测拍摄。
进一步地,所述第一摄像头下方设有偏振片,所述偏振片设有切换开关,所述切换开关位于所述第一摄像头的一侧。
通过上述技术方案,第一摄像头下方设有偏振片用于过滤激光光源的光线,防止光污染造成拍摄精度降低,同时偏振片可通过切换开关自由启闭。
进一步地,所述旋转载物台的底部设有普通光源,所述普通光源位于所述晶体毛坯的轴向方向上。
通过上述技术方案,普通光源位于晶体毛坯的轴向方向上,从下向上照射晶体毛坯的内部,由于支撑座、轴承和轴承座都是中空结构,所以普通光源位于旋转载物台内部,方便光源的照射,为第一摄像头提供补光。
进一步地,所述带刻度宽屏的尺寸大于所述晶体毛坯的垂直截面尺寸。
通过上述技术方案,带刻度宽屏尺寸大于晶体毛坯截面尺寸,方便第二摄像头在拍照的时候可以将整个晶体毛坯的截面图投射到带刻度宽屏上,显示出完整的图片并附带刻度,方便后续的观察。
本实用新型的有益效果是:
1)通过设置两个摄像头,更为全面准确的检测晶体毛坯内部的缺陷,通过设置带刻度宽屏,使得检测到缺陷及其位置更为精确。第二摄像头在拍摄过程中将位于第二摄像头对面的带刻度宽屏摄入,晶体毛坯上的缺陷投影到带刻度的宽屏上被第二摄像头捕捉,从而使得晶体毛坯中缺陷的位置有了准确的标记,使得对激光晶体损伤的判断更为客观、精准。
2)结构简单,操作方便,通过简单的光路结构实现了对晶体毛坯内部损伤的标准化检测,同时极大的提高了自动化程度和检测效率。同时支撑座为中空的圆盘,晶体毛坯的带有锥度的端部可以与卡口配合,从而使得晶体毛坯可以竖直放置而不会倾倒,减少使用夹具对晶体毛坯造成损伤。
附图说明
图1为本实用新型一种晶体毛坯缺陷检测装置的示意图;
图2为本实用新型中旋转载物台的剖视图;
图中,1-检测室、2-旋转载物台、201-支撑座、202-驱动电机、203-齿槽、204-齿轮、205-卡口、206-轴承、207-轴承座、3-第一摄像头、4-第二摄像头、5-带刻度宽屏、6-晶体毛坯、7-偏振片、701-切换开关、8-普通光源。
具体实施方式
下面将结合实施例,对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域技术人员在没有付出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
参阅图1-图2,本实用新型提供一种技术方案:
如图1-图2所示,一种晶体毛坯缺陷检测装置,其特征在于:所述装置包括检测室1,旋转载物台2、第一摄像头3、第二摄像头4、带刻度宽屏5,所述旋转载物台2固定于所述检测室1的内部中间位置,所述晶体毛坯6竖直放置在所述旋转载物台2上,所述旋转载物台2用于对所述晶体毛坯6进行支撑和旋转,所述第一摄像头3位于所述晶体毛坯6的轴线方向上并固定在所述检测室1的顶端内壁,所述第二摄像头4位于所述晶体毛坯6的一侧,所述带刻度宽屏5位于所述晶体毛坯6的另一侧。
通过上述技术方案,检测室隔绝外部环境,提供一个无灰尘无光污染的检测环境,晶体毛坯竖直放置在旋转载物台上,通过旋转载物台进行支撑和旋转,竖直方向上的第一摄像头用于拍摄竖直方向上的晶体缺陷照片,第二摄像头位于晶体毛坯的侧面,用于拍摄晶体毛坯在轴向上的缺陷图片,同时第二摄像头在拍摄过程中将位于第二摄像头对面的带刻度宽屏摄入,晶体毛坯上的缺陷投影到带刻度的宽屏上被第二摄像头捕捉,从而使得晶体毛坯中缺陷的位置有了准确的标记,使得对激光晶体损伤的判断更为客观、精准,并且拍摄的图片可以根据计算机自动识别图片中的缺陷特征从而给出检测结果,极大地提高了检测自动化程度和检测效率。同时检测得到的影像记录可以通过软件算法形成结论,有效减少了人工干预,是一种可追溯可标准化的质量评价装置
进一步地,所述旋转载物台2包括支撑座201和驱动电机202,所述支撑座201为中空圆盘结构,所述支撑座201中部设有与所述晶体毛坯6端部相适配的卡口205,所述支撑座201的外壁设有齿槽203,所述驱动电机202位于所述支撑座201的一侧,所述驱动电机202与所述检测室1固定连接,所述驱动电机202的顶端设有齿轮204,所述齿轮204与所述齿槽203相啮合。
通过上述技术方案,支撑座为中空的圆盘,晶体毛坯的带有锥度的端部可以与卡口配合,从而使得晶体毛坯可以竖直放置而不会倾倒,同时,减少夹具的使用避免对晶体毛坯造成损伤。支撑座上设置齿槽通过与驱动电机上的齿轮啮合,使得通过驱动电机带动支撑座旋转,实现晶体毛坯的旋转运动。
进一步地,所述支撑座201底部设有轴承206,所述支撑座201的底部与所述轴承206的内圈过渡配合,所述轴承206的外侧设有轴承座207,所述轴承206凸出所述轴承座207,所述轴承206的外圈与所述轴承座207过盈配合,所述轴承座207与所述检测室1固定连接。
通过上述技术方案,支撑座底部设有轴承,轴承固定在轴承座上,轴承的内圈活动,轴承的外圈固定,方便支撑座可以自由旋转。
进一步地,所述第二摄像头4设有激光光源和移动轨道,所述激光光源位于所述第二摄像头4的下方,所述移动轨道平行于所述晶体毛坯6的轴线,所述第二摄像头4和所述激光光源通过所述移动轨道上下移动。
通过上述技术方案,第二摄像头下方设置激光光源用于对晶体的照射,以便发现晶体中的缺陷,方便第二摄像头拍出缺陷照片,同时第二摄像头和激光光源可以沿着移动轨道上下位移,便于拍全晶体毛坯,同时可以将第二摄像头停留在特定位置进行重点位置的缺陷检测拍摄。
进一步地,所述第一摄像头3下方设有偏振片7,所述偏振片7设有切换开关701,所述切换开关701位于所述第一摄像头3的一侧。
通过上述技术方案,第一摄像头下方设有偏振片用于过滤激光光源的光线,防止光污染造成拍摄精度降低,同时偏振片可通过切换开关自由启闭。
进一步地,所述旋转载物台2的底部设有普通光源8,所述普通光源8位于所述晶体毛坯6的轴向方向上。
通过上述技术方案,普通光源位于晶体毛坯的轴向方向上,从下向上照射晶体毛坯的内部,由于支撑座、轴承和轴承座都是中空结构,所以普通光源位于旋转载物台内部,方便光源的照射,为第一摄像头提供补光。
进一步地,所述带刻度宽屏5的尺寸大于所述晶体毛坯6的垂直截面尺寸。
通过上述技术方案,带刻度宽屏尺寸大于晶体毛坯截面尺寸,方便第二摄像头在拍照的时候可以将整个晶体毛坯的截面图投射到带刻度宽屏上,显示出完整的图片并附带刻度,方便后续的观察。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式,应当理解本实用新型并非局限于本文所披露的形式,不应看作是对其他实施例的排除,而可用于各种其他组合、修改和环境,并能够在本文所述构想范围内,通过上述教导或相关领域的技术或知识进行改动。而本领域人员所进行的改动和变化不脱离本实用新型的精神和范围,则都应在本实用新型所附权利要求的保护范围。
Claims (7)
1.一种晶体毛坯缺陷检测装置,其特征在于:所述装置包括检测室(1),旋转载物台(2)、第一摄像头(3)、第二摄像头(4)、带刻度宽屏(5),所述旋转载物台(2)固定于所述检测室(1)的内部中间位置,所述晶体毛坯(6)竖直放置在所述旋转载物台(2)上,所述旋转载物台(2)用于对所述晶体毛坯(6)进行支撑和旋转,所述第一摄像头(3)位于所述晶体毛坯(6)的轴线方向上并固定在所述检测室(1)的顶端内壁,所述第二摄像头(4)位于所述晶体毛坯(6)的一侧,所述带刻度宽屏(5)位于所述晶体毛坯(6)的另一侧。
2.根据权利要求1所述的晶体毛坯缺陷检测装置,其特征在于:所述旋转载物台(2)包括支撑座(201)和驱动电机(202),所述支撑座(201)为中空圆盘结构,所述支撑座(201)中部设有与所述晶体毛坯(6)端部相适配的卡口(205),所述支撑座(201)的外壁设有齿槽(203),所述驱动电机(202)位于所述支撑座(201)的一侧,所述驱动电机(202)与所述检测室(1)固定连接,所述驱动电机(202)的顶端设有齿轮(204),所述齿轮(204)与所述齿槽(203)相啮合。
3.根据权利要求2所述的晶体毛坯缺陷检测装置,其特征在于:所述支撑座(201)底部设有轴承(206),所述支撑座(201)的底部与所述轴承(206)的内圈过渡配合,所述轴承(206)的外侧设有轴承座(207),所述轴承(206)凸出所述轴承座(207),所述轴承(206)的外圈与所述轴承座(207)过盈配合,所述轴承座(207)与所述检测室(1)固定连接。
4.根据权利要求1所述的晶体毛坯缺陷检测装置,其特征在于:所述第二摄像头(4)设有激光光源和移动轨道,所述激光光源位于所述第二摄像头(4)的下方,所述移动轨道平行于所述晶体毛坯(6)的轴线,所述第二摄像头(4)和所述激光光源通过所述移动轨道上下移动。
5.根据权利要求1所述的晶体毛坯缺陷检测装置,其特征在于:所述第一摄像头(3)下方设有偏振片(7),所述偏振片(7)设有切换开关(701),所述切换开关(701)位于所述第一摄像头(3)的一侧。
6.根据权利要求1所述的晶体毛坯缺陷检测装置,其特征在于:所述旋转载物台(2)的底部设有普通光源(8),所述普通光源(8)位于所述晶体毛坯(6)的轴向方向上。
7.根据权利要求1所述的晶体毛坯缺陷检测装置,其特征在于:所述带刻度宽屏(5)的尺寸大于所述晶体毛坯(6)的垂直截面尺寸。
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