CN219205072U - 一种数字化射频功率源装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及电子元器件技术领域，尤其为一种数字化射频功率源装置，包括外壳体，所述外壳体的后端安装有风扇，所述外壳体的左右两侧通风槽处安装有滤网，所述滤网的外侧安装有清灰机构，所述外壳体的内部安装有射频功率源；所述清灰机构包括双轴电机，所述双轴电机的两端连接有连接轴，所述连接轴的端部连接有主齿轮，通过在该数字化射频功率源装置设置清灰机构，清灰机构中的双轴电机驱动主齿轮旋转，主齿轮驱动副齿轮及毛刷旋转，毛刷旋转扫过滤网的表面，将滤网表面附着的灰尘扫除，当毛刷扫过齿梳板时，齿梳板将毛刷上的灰尘扫下，从而有利于快速自动对滤网表面的灰尘进行清理，结构简单，使用方便。

Description

一种数字化射频功率源装置

技术领域

本实用新型涉及电子元器件技术领域，具体为一种数字化射频功率源装置。

背景技术

射频功率源是射频电源系统的核心组件之一；射频功率源又称射频电源，是可以产生固定频率(13.56MHz,27.12MHz等频点)的正弦波、具有一定功率的电源；已广泛应用于半导体工艺设备；LED与太阳能光伏产业；科学实验中的等离子体发生。

目前现有的射频功率源安装子壳体内部，为了辅助射频功率源运行时散热，通常会在壳体上安装风扇，为了防止灰尘进入壳体内部，会在通风槽处安装滤网，但是当滤网表面过滤的灰尘达到定量时，则会导致壳体内部通风不畅，从而会造成壳体内部射频功率源温度过高可能损坏，需要定期对滤网进行手动清理，较为不便。

因此需要一种数字化射频功率源装置对上述问题作出改善。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种数字化射频功率源装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种数字化射频功率源装置，包括外壳体，所述外壳体的后端安装有风扇，所述外壳体的左右两侧通风槽处安装有滤网，所述滤网的外侧安装有清灰机构，所述外壳体的内部安装有射频功率源；

所述清灰机构包括双轴电机，所述双轴电机的两端连接有连接轴，所述连接轴的端部连接有主齿轮，所述主齿轮的上侧安装有副齿轮，所述副齿轮的一侧外表面连接有连接件，所述连接件的侧端外表面连接有固定板，所述固定板朝向外壳体外壁的一侧连接有毛刷，所述外壳体的左右两侧外表面安装有齿梳板。

作为本实用新型优选的方案，所述风扇的数量为两组，且呈对称排布，所述滤网与外壳体之间的连接方式为固定粘连，所述滤网的数量为两组，且呈对称排布。

作为本实用新型优选的方案，所述主齿轮与副齿轮之间的连接方式为啮合连接，所述连接件与外壳体之间的连接方式为转动连接。

作为本实用新型优选的方案，所述主齿轮、副齿轮和连接件的数量均为两组，且呈对称排布，所述毛刷与滤网之间的连接方式为扫动连接。

作为本实用新型优选的方案，所述连接件与副齿轮、固定板之间的连接方式均为固定焊接，所述毛刷与固定板之间的连接方式为固定连接。

作为本实用新型优选的方案，所述毛刷与齿梳板之间的连接方式为扫动连接，所述齿梳板通过螺钉与外壳体固定连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型中，通过在该数字化射频功率源装置设置清灰机构，清灰机构中的双轴电机驱动主齿轮旋转，主齿轮驱动副齿轮及毛刷旋转，毛刷旋转扫过滤网的表面，将滤网表面附着的灰尘扫除，当毛刷扫过齿梳板时，齿梳板将毛刷上的灰尘扫下，从而有利于快速自动对滤网表面的灰尘进行清理，结构简单，使用方便。

附图说明

图1为本实用新型整体示意图；

图2为本实用新型壳体后侧示意图；

图3为本实用新型壳体侧剖示意图；

图4为本实用新型清灰机构整体示意图。

图中：1、外壳体；2、风扇；3、滤网；4、清灰机构；401、双轴电机；402、连接轴；403、主齿轮；404、副齿轮；405、连接件；406、固定板；407、毛刷；408、齿梳板；5、射频功率源。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例，对本实用新型实施例中的技术方案上行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例,基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型上行更全面的描述,给出了本实用新型的若干实施例,但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例,相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容更加透彻全面。

需要说明的是，当元件被称为“固设于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件,当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件,本文所使用的术语“竖直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同,本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型,本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的的和所有的组合。

实施例，请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：

一种数字化射频功率源装置，包括外壳体1，外壳体1的后端安装有风扇2，外壳体1的左右两侧通风槽处安装有滤网3，滤网3的外侧安装有清灰机构4，外壳体1的内部安装有射频功率源5；风扇2的数量为两组，且呈对称排布，滤网3与外壳体1之间的连接方式为固定粘连，滤网3的数量为两组，且呈对称排布；外壳体1内部的化射频功率源5运行和风扇2运行，风扇2通过通风槽槽将外壳体1内的热气抽出，有利于辅助射频功率源5快速散热，同时通风槽外侧安装的滤网3将空气中的灰尘滤除，能够有效防止灰尘进入外壳体1内部。

在该实施例中，参考图3和图4，清灰机构4包括双轴电机401，双轴电机401的两端连接有连接轴402，连接轴402的端部连接有主齿轮403，主齿轮403的上侧安装有副齿轮404，副齿轮404的一侧外表面连接有连接件405，连接件405的侧端外表面连接有固定板406，固定板406朝向外壳体1外壁的一侧连接有毛刷407，外壳体1的左右两侧外表面安装有齿梳板408；主齿轮403与副齿轮404之间的连接方式为啮合连接，连接件405与外壳体1之间的连接方式为转动连接，主齿轮403顺时针旋转、副齿轮404逆时针旋转；主齿轮403、副齿轮404和连接件405的数量均为两组，且呈对称排布，毛刷407与滤网3之间的连接方式为扫动连接；连接件405与副齿轮404、固定板406之间的连接方式均为固定焊接，毛刷407与固定板406之间的连接方式为固定连接；毛刷407与齿梳板408之间的连接方式为扫动连接，齿梳板408通过螺钉与外壳体1固定连接；控制双轴电机401开始运行两分钟，双轴电机401驱动主齿轮403旋转，主齿轮403驱动副齿轮404及毛刷407旋转，毛刷407旋转扫过滤网3的表面，将滤网3表面附着的灰尘扫除，当毛刷407扫过齿梳板408时，齿梳板408将毛刷407上的灰尘扫下，从而有利于快速自动对滤网3表面的灰尘进行清理，结构简单，使用方便。

本实用新型工作流程：在使用本方案设计的数字化射频功率源装置时，外壳体1内部的化射频功率源5运行和风扇2运行，风扇2通过通风槽槽将外壳体1内的热气抽出，有利于辅助射频功率源5快速散热，同时通风槽外侧安装的滤网3将空气中的灰尘滤除，能够有效防止灰尘进入外壳体1内部，当射频功率源5和风扇2停止运行时，控制双轴电机401开始运行两分钟，双轴电机401驱动主齿轮403旋转，在主齿轮403与副齿轮404之间的连接方式为啮合连接的条件下，主齿轮403驱动副齿轮404及毛刷407旋转，在毛刷407与滤网3之间的连接方式为扫动连接的条件下，毛刷407旋转扫过滤网3的表面，将滤网3表面附着的灰尘扫除，在毛刷407与齿梳板408之间的连接方式为扫动连接的条件下，当毛刷407扫过齿梳板408时，齿梳板408将毛刷407上的灰尘扫下，从而有利于快速自动对滤网3表面的灰尘进行清理，结构简单，使用方便。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例上行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种数字化射频功率源装置，包括外壳体(1)，其特征在于：所述外壳体(1)的后端安装有风扇(2)，所述外壳体(1)的左右两侧通风槽处安装有滤网(3)，所述滤网(3)的外侧安装有清灰机构(4)，所述外壳体(1)的内部安装有射频功率源(5)；

所述清灰机构(4)包括双轴电机(401)，所述双轴电机(401)的两端连接有连接轴(402)，所述连接轴(402)的端部连接有主齿轮(403)，所述主齿轮(403)的上侧安装有副齿轮(404)，所述副齿轮(404)的一侧外表面连接有连接件(405)，所述连接件(405)的侧端外表面连接有固定板(406)，所述固定板(406)朝向外壳体(1)外壁的一侧连接有毛刷(407)，所述外壳体(1)的左右两侧外表面安装有齿梳板(408)。

2.根据权利要求1所述的一种数字化射频功率源装置，其特征在于：所述风扇(2)的数量为两组，且呈对称排布，所述滤网(3)与外壳体(1)之间的连接方式为固定粘连，所述滤网(3)的数量为两组，且呈对称排布。

3.根据权利要求1所述的一种数字化射频功率源装置，其特征在于：所述主齿轮(403)与副齿轮(404)之间的连接方式为啮合连接，所述连接件(405)与外壳体(1)之间的连接方式为转动连接。

4.根据权利要求1所述的一种数字化射频功率源装置，其特征在于：所述主齿轮(403)、副齿轮(404)和连接件(405)的数量均为两组，且呈对称排布，所述毛刷(407)与滤网(3)之间的连接方式为扫动连接。

5.根据权利要求1所述的一种数字化射频功率源装置，其特征在于：所述连接件(405)与副齿轮(404)、固定板(406)之间的连接方式均为固定焊接，所述毛刷(407)与固定板(406)之间的连接方式为固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种数字化射频功率源装置，其特征在于：所述毛刷(407)与齿梳板(408)之间的连接方式为扫动连接，所述齿梳板(408)通过螺钉与外壳体(1)固定连接。

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