CN219161435U - 一种压电喷胶阀固有频率检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及固有频率检测技术领域，特别涉及一种压电喷胶阀固有频率检测装置，包括平台；第一联动机构，设于所述平台，包括联动的X轴微位移平台和第一Z轴微位移平台，且其执行端设有检测压电喷胶阀固有频率的激光位移传感器；第二联动机构，设于所述平台，包括联动的Y轴微位移平台和第二Z轴微位移平台，且其执行端设有压电喷胶阀；本实用新型采用多个微位移平台，可以实现对激光位移传感器位置微米级别的精确调节，从而更好的采集位移数据。

Description

一种压电喷胶阀固有频率检测装置

技术领域

本实用新型涉及固有频率检测技术领域，特别涉及一种压电喷胶阀固有频率检测装置。

背景技术

随着电子行业的飞速发展，对于精密电子封装技术的需求也越来越大，电子封装等领域对胶滴大小的要求越来越高。压电喷胶阀具有点胶精度高、体积误差小、重复精度高等诸多优点，广泛应用于快速制造、芯片制造、微电子封装等领域。

在实际应用中，检测压电喷胶阀的固有频率具有重要意义。固有频率也称为自然频率，物体做自由振动时，其位移随时间按正弦或余弦规律变化，振动的频率与初始条件无关，而仅与系统的固有特性有关(如质量、形状、材质等)，称为固有频率，对固有频率的研究有利于保证产品稳定性，因此在生产压电喷胶阀以及后期使用时，都需要对其固有频率进行测量，以保证压电喷胶阀可以作用于适用范围内的作业生产。

现有技术中，检测压电喷胶阀的固有频率一般通过给压电陶瓷特定电信号，采用激光位移传感器收集压电喷胶阀上撞针位移数据，对位移数据进行频率分析。而激光位移传感器与撞针顶端的距离需非常精确(微米级别)，激光位移传感器一般通过磁吸表座固定，难以精确调节激光位移传感器的位置。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种压电喷胶阀固有频率检测装置，以解决现有技术中检测压电喷胶阀固有频率的装置激光位移传感器难以精确调节的问题。为了实现上述目的，本实用新型通过如下的技术方案来解决：

本实用新型提供了一种压电喷胶阀固有频率检测装置，包括：

平台；

第一联动机构，设于所述平台，包括联动的X轴微位移平台和第一Z轴微位移平台，且其执行端设有检测压电喷胶阀固有频率的激光位移传感器；

第二联动机构，设于所述平台，包括联动的Y轴微位移平台和第二Z轴微位移平台，且其执行端设有压电喷胶阀。

作为进一步的技术方案，所述X轴微位移平台、所述Y轴微位移平台、所述第一Z轴微位移平台以及所述第二Z轴微位移平台均采用微分头作为驱动。

作为进一步的技术方案，所述X轴微位移平台安装在所述平台，所述第一Z轴微位移平台安装在所述X轴微位移平台的移动端。

作为进一步的技术方案，所述X轴微位移平台与所述第一Z轴微位移平台之间通过第一L型转接板连接。

作为进一步的技术方案，所述第一Z轴微位移平台与所述激光位移传感器之间设有L型连接件。

作为进一步的技术方案，所述L型连接件由平板和T型板组合形成且两者在所述平板上部侧面组合形成工字型结构。

作为进一步的技术方案，所述Y轴微位移平台安装在所述平台，所述第二Z轴微位移平台安装在所述Y轴微位移平台的移动端。

作为进一步的技术方案，所述Y轴微位移平台与所述第二Z轴微位移平台之间通过第二L型转接板连接。

作为进一步的技术方案，所述第二Z轴微位移平台与所述压电喷胶阀之间设有喷胶阀连接板。

作为进一步的技术方案，所述第一联动机构和所述第二联动机构与所述平台之间均配置有安装底座。

上述本实用新型的有益效果如下：

本实施例的第一联动机构包括联动的X轴微位移平台和第一Z轴微位移平台，用于驱动激光位移传感器运动，第二联动机构包括联动的Y轴微位移平台和第二Z轴微位移平台用于驱动压电喷胶阀，在一个联动机构或两个联动机构的作用下，激光位移传感器与压电喷胶阀相对运动，使得激光位移传感器准确的打在压电喷胶阀撞针顶端上。采用多个微位移平台，可以实现对激光位移传感器位置微米级别的精确调节，从而更好的采集位移数据。

附图说明

构成本实用新型的一部分的说明书附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限定。还应当理解，这些附图是为了简化和清楚而示出的，并且不一定按比例绘制。现在将通过使用附图以附加的特征和细节来描述和解释本实用新型，其中：

图1示出了本实用新型实施例中检测装置整体结构示意图；

图2示出了本实用新型实施例中压电喷胶阀结构的示意图；

图3示出了本实用新型实施例中第一L型转接板结构示意图；

图4示出了本实用新型实施例中X轴微位移平台示意图；

图5示出了本实用新型实施例中第一底座俯视示意图。

图中：1、平台；2、第一安装底座；3、X轴微位移平台；4、第一L型转接板；5、第一Z轴微位移平台；6、L型连接件；7、激光位移传感器；8、压电喷胶阀；9、喷胶阀连接板；10、第二Z轴微位移平台；11、第二L型转接板；12、Y轴微位移平台；13、第二安装底座。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型典型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

如图1所示，本实施例提供了一种压电喷胶阀固有频率检测装置，包括：

平台1；

第一联动机构，设于平台1，包括联动的X轴微位移平台3和第一Z轴微位移平台5，且其执行端设有检测压电喷胶阀8固有频率的激光位移传感器7。其中，X轴微位移平台3具有X轴向微位移，第一Z轴微位移平台5具有Z轴向微位移。

第二联动机构，设于平台1，包括联动的Y轴微位移平台12和第二Z轴微位移平台10，且其执行端设有压电喷胶阀8。其中，Y轴微位移平台12具有Y轴向微位移，第二Z轴微位移平台10具有Z轴向微位移。

在第一联动机构和/或第二联动机构的作用下，激光位移传感器7与压电喷胶阀8相对运动，使得激光位移传感器7所发射的激光精准打到压电喷胶阀8的撞针801顶端，如图2所示。设置第一联动机构和第二联动机构使得调节也更加灵活。

本实施例的第一联动机构包括联动的X轴微位移平台3和第一Z轴微位移平台5，用于驱动激光位移传感器7运动，第二联动机构包括联动的Y轴微位移平台12和第二Z轴微位移平台10用于驱动压电喷胶阀8，在一个联动机构或两个联动机构的作用下，激光位移传感器7与压电喷胶阀8相对运动，使得激光位移传感器7准确的打在压电喷胶阀8的相应结构上。采用多个微位移平台，可以实现对激光位移传感器位置微米级别的精确调节，从而更好的采集位移数据。

本实施例中，X轴微位移平台1、Y轴微位移平台12、第一Z轴微位移平台5以及第二Z轴微位移平台10均采用微分头作为驱动实现微米级别的精确调节，如图4所示。本实施例中的X轴微位移平台1采用现有技术中型号为“X轴位移平台LGX40/60光学精密微调钢条型导轨手动移动滑台”，其具体结构此处不再赘述。其余微位移平台与X轴微位移平台1原理相同，根据实际需要按需选择相应的型号。

第一联动机构的X轴微位移平台3安装在平台1，具体的平台上设有第一安装底座2，如图5所示，X轴微位移平台3安装在第一安装底座2。通常微位移平台包括固定端和移动端，在微分头的作用下，移动端相对固定端做微米级运动。

第一Z轴微位移平台5安装在X轴微位移平台3的移动端。具体的，X轴微位移平台3与第一Z轴微位移平台5之间通过第一L型转接板4连接，结构如图3所示。第一L型转接板4一个板安装在X轴微位移平台3的移动端，第一Z轴微位移平台5的固定端安装在第一L型转接板4另一个板的侧面，使得第一Z轴微位移平台5向X轴微位移平台3的一侧延伸。

第一Z轴微位移平台5与激光位移传感器7之间设有L型连接件6。L型连接件6由平板和T型板组合形成且两者在平板上部侧面组合形成工字型结构，如图1所示。依靠L型连接件6使得激光位移传感器7向第一Z轴微位移平台5一侧延伸，第一L型转接板4和L型连接件6延伸方向一致。

第二联动机构Y轴微位移平台12安装在平台1，具体的通过第二安装底座13与平台安装在一起。第二Z轴微位移平台10安装在Y轴微位移平台12的移动端。Y轴微位移平台12与第二Z轴微位移平台10之间通过第二L型转接板11连接。第二L型转接板11与第一L型转接板4结构类似。第二Z轴微位移平台10与压电喷胶阀8之间设有喷胶阀连接板9，喷胶阀连接板9为一平板结构，压电喷胶阀8安装在喷胶阀连接板9，喷胶阀连接板9再与第二L型转接板11连接。

通过调节多个微位移平台，使激光位移传感器7发射的激光精准打到压电喷胶阀8的撞针801顶端，从而可以收集压电喷胶阀8的撞针801位移数据，进行固有频率分析。

本实用新型虽然已以较佳实施例公开如上，但其并不是用来限定本实用新型，任何本领域技术人员在不脱离本实用新型的精神和范围内，都可以利用上述揭示的方法和技术内容对本实用新型技术方案做出可能的变动和修改，因此，凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化及修饰，均属于本实用新型技术方案的保护范围。

Claims (10)

1.一种压电喷胶阀固有频率检测装置，其特征在于，包括：

平台；

第一联动机构，设于所述平台，包括联动的X轴微位移平台和第一Z轴微位移平台，且其执行端设有检测压电喷胶阀固有频率的激光位移传感器；

第二联动机构，设于所述平台，包括联动的Y轴微位移平台和第二Z轴微位移平台，且其执行端设有压电喷胶阀。

2.如权利要求1所述的一种压电喷胶阀固有频率检测装置，其特征在于，所述X轴微位移平台、所述Y轴微位移平台、所述第一Z轴微位移平台以及所述第二Z轴微位移平台均采用微分头作为驱动。

3.如权利要求1所述的一种压电喷胶阀固有频率检测装置，其特征在于，所述X轴微位移平台安装在所述平台，所述第一Z轴微位移平台安装在所述X轴微位移平台的移动端。

4.如权利要求3所述的一种压电喷胶阀固有频率检测装置，其特征在于，所述X轴微位移平台与所述第一Z轴微位移平台之间通过第一L型转接板连接。

5.如权利要求4所述的一种压电喷胶阀固有频率检测装置，其特征在于，所述第一Z轴微位移平台与所述激光位移传感器之间设有L型连接件。

6.如权利要求5所述的一种压电喷胶阀固有频率检测装置，其特征在于，所述L型连接件由平板和T型板组合形成且两者在所述平板上部侧面组合形成工字型结构。

7.如权利要求1所述的一种压电喷胶阀固有频率检测装置，其特征在于，所述Y轴微位移平台安装在所述平台，所述第二Z轴微位移平台安装在所述Y轴微位移平台的移动端。

8.如权利要求7所述的一种压电喷胶阀固有频率检测装置，其特征在于，所述Y轴微位移平台与所述第二Z轴微位移平台之间通过第二L型转接板连接。

9.如权利要求8所述的一种压电喷胶阀固有频率检测装置，其特征在于，所述第二Z轴微位移平台与所述压电喷胶阀之间设有喷胶阀连接板。

10.如权利要求1所述的一种压电喷胶阀固有频率检测装置，其特征在于，所述第一联动机构和所述第二联动机构与所述平台之间均配置有安装底座。

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