CN219155751U - 一种弹出式硅片收片装置 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种弹出式硅片收片装置，包括至少一个料盒单元和至少一个弹出单元，料盒单元包括料盒、安装板和底板，料盒固定设置在安装板上，料盒被配置为在收片位收取硅片；安装板滑动设置在底板上；弹出单元的驱动端与安装板连接，弹出单元被配置为驱动安装板相对于底板滑动，以至少带动安装板上的料盒从收片位向外弹出。通过在硅片收片装置上设置弹出单元，在需要收取料盒内的硅片时，通过弹出单元驱动料盒从收片位向外弹出到合适的位置，能够大幅度节省人力，提高料盒内硅片的收取效率。

Description

一种弹出式硅片收片装置

技术领域

本申请属于硅片分选领域，具体地说，涉及一种弹出式硅片收片装置。

背景技术

硅片经过分选机分选检测后，要根据分选后的等级对硅片进行分类收片，将硅片收至不同的料盒中。现有的硅片收料机构中，为了便于将料盒中的硅片取出，设置了抽拉把手，在取硅片前，通过抽拉把手将料盒拉出至一定距离，再将料盒中的硅片取出来。料盒在收满状态下，重量比较重，在高产能收片时，工人需要高频次抽拉料盒，且还要将硅片取出，这个过程相当耗费人力。

因此，如何在节省人力的情况下，实现高产能收片是目前需要解决的技术问题。

发明内容

针对当前硅片收取耗费人力的问题，本申请提出了一种弹出式硅片收片装置。

弹出式硅片收片装置包括至少一个料盒单元和至少一个弹出单元，料盒单元包括料盒、安装板和底板，料盒固定设置在安装板上，料盒被配置为在收片位收取硅片；安装板滑动设置在底板上；弹出单元的驱动端与安装板连接，弹出单元被配置为驱动安装板相对于底板滑动，以至少带动安装板上的料盒从收片位向外弹出。

通过在硅片收片装置上设置弹出单元，在需要收取料盒内的硅片时，通过弹出单元驱动料盒从收片位向外弹出到合适的位置，能够大幅度节省人力，提高料盒内硅片的收取效率。

可选的，安装板上开设有对接孔，弹出式硅片收片装置还包括辅助单元，辅助单元包括第一气缸和侧板，第一气缸固定安装在侧板上，第一气缸的驱动端被配置为朝向或远离对接孔运动，以实现与对接孔的对接或分离；弹出单元的驱动端通过第一气缸的伸缩实现与安装板的连接、断开。

通过设置辅助单元，可以便捷地实现弹出单元和安装板的连接、断开，进而实现料盒从收片位向外弹出。

可选的，弹出单元包括第二气缸和安装架，第二气缸固定安装在安装架上，且第二气缸的驱动端穿过安装架与侧板固定连接。

将第二气缸固定安装在安装架上，并使第二气缸的驱动端穿过安装架与侧板固定连接，在第二气缸的驱动下，侧板会向外运动，由于第一气缸的驱动端能够朝向对接孔运动，固定安装在侧板上的第一气缸会带动安装板跟随着向外运动，从而实现安装板上的料盒向外弹出，结构简单、安装维修方便。

可选的，第二气缸的第一端和第二端分别设置有磁性开关，磁性开被配置为检测第二气缸的伸缩是否到位。

在第二气缸的第一端和第二端分别设置磁性开关，以检测第二气缸的伸缩是否到位，进而保证料盒弹出前后的位置，提高料盒内硅片的收取效率。

可选的，弹出单元还包括至少一根导向轴，导向轴平行于第二气缸的伸缩方向设置，导向轴的第一端穿过安装架与侧板固定连接，且导向轴与安装架滑动连接。

在平行于第二气缸的伸缩方向上设置至少一根导向轴，对第二气缸的伸缩进行导向，提高料盒弹出过程中的平稳性，防止因弹出过程中料盒的抖动，导致料盒内硅片损伤，此外，也能提高料盒弹出的效率，进而提高料盒内硅片的收取效率。

可选的，辅助单元还包括轴套，轴套固定安装在侧板上，且第一气缸的驱动端穿过轴套设置。

通过在侧板上安装轴套，第一气缸的驱动端穿过轴套设置，能够提高第一气缸与对接孔对接时的稳定性，进而提高料盒弹出的效率。

可选的，弹出单元包括第一电机、丝杠和螺母，第一电机的驱动端与丝杠固定连接，丝杠架设在底板上，螺母套设在丝杠上，且螺母与安装板固定连接。

弹出单元采用第一电机、丝杠和螺母机构，实现安装板从收片位向外弹出，结构简单，弹出过程平稳可控。

可选的，料盒的侧边设置有供检测光电通过的豁口，检测光电用于检测料盒内的硅片高度。

在料盒的侧边设置豁口，更便于检测料盒内的硅片高度。

可选的，弹出式硅片收片装置包括两个料盒单元，两个料盒单元沿垂直于硅片输送方向依次设置分别为第一料盒单元和第二料盒单元；弹出式硅片收片装置还包括切换单元，第一料盒单元连接在切换单元的驱动端，切换单元用于驱动第一料盒单元从与第二料盒单元同一高位的第一收片位运动到位于第二料盒单元下方的第一取片位；弹出式硅片收片装置包括两个弹出单元，两个弹出单元分别与第一料盒单元和第二料盒单元配合使用，并分别被配置为将第一料盒单元从第一取片位向外推出第一预定距离、将第二料盒单元从第二取片位向外推出第二预定距离。

沿垂直于硅片输送方向依次设置第一料盒单元和第二料盒单元，通过设置切换单元对第一料盒单元的位置进行切换，更便于从第一料盒单元中收取硅片。

可选的，第一料盒单元的安装板板上设置有避让槽，在第一料盒单元进行位置切换时，避让槽被配置为避让第二料盒单元。

在设置两个料盒单元时，在第一料盒单元的安装板上设置避让槽，避免第一料盒单元在进行位置切换时，与第二料盒单元之间产生干涉。

附图说明

图1为弹出式硅片收片装置的一种实施方式示意图；

图2为图1的另一视角的示意图；

图3为切换单元的三种实施方式示意图；

图中：第一料盒单元1、料盒11、安装板12、对接孔121、底板13、第二料盒单元2、弹出单元3、第二气缸31、安装架32、辅助单元4、第一气缸41、侧板42、轴套43；切换单元5、第二电机511、主动带轮512、同步带513、从动带轮514、摆杆515、滑块516、第三气缸521、第三电机531、齿轮532、竖向齿条533、弧形齿条534、横向齿条535。

具体实施方式

为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请中的技术方案进行清楚、完整地描述。其中，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。因此，以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围，而是仅仅表示本申请的选定实施例。

下文中将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

针对当前硅片收取耗费人力的问题，本申请提出了一种弹出式硅片收片装置。

如图1所示，弹出式硅片收片装置包括至少一个料盒单元和至少一个弹出单元3，料盒单元包括料盒11、安装板12和底板13，料盒11固定设置在安装板12上，料盒11被配置为在收片位收取硅片。

安装板12滑动设置在底板13上，具体的，可以在安装板12和底板13之间设置抽屉轨道，实现安装板12相对于底板13的滑动，这种方式在现有硅片收片装置的基础上也方便改造；当然也可以在底板13上设置滑动导轨，在安装板12上设置滑块，通过滑轨滑块的配合实现安装板12与底板13之间的滑动连接；当然也可以在底板13上设置滑动凹槽，在安装板12上设置与凹槽适配的滚轮，通过滚轮与凹槽的配合，实现安装板12与底板13之间的滑动连接，本申请中不具体限定采用何种滑动连接方式。

弹出单元3的驱动端与安装板12连接，弹出单元3被配置为驱动安装板12相对于底板13滑动，以至少带动安装板12上的料盒11从收片位向外弹出。

上述“收片位”是指料盒11接收由输送线输送而来的硅片时所处的位置，“从收片位向外弹出”是指控制料盒11从收片位向远离输送线的方向运动。

通过在硅片收片装置上设置弹出单元3，在需要收取料盒11内的硅片时，通过弹出单元3驱动料盒11从收片位向外弹出到合适的位置，不再需要手动对料盒进行抽拉，就能将料盒11从收片位向外弹出，能够大幅度节省人力，提高料盒11内硅片的收取效率。

如图1和图2所示，弹出式硅片收片装置包括两个料盒单元，两个料盒单元沿垂直于硅片输送方向依次设置分别为第一料盒单元1和第二料盒单元2，由于第一料盒单元1和第二料盒单元2沿硅片输送方向垂直设置，第一料盒单元1更靠近硅片输送线，第一料盒单元1的外侧还设置有第二料盒单元2。

为了方便对第一料盒单元1的料盒11内的硅片进行收取，弹出式硅片收片装置还包括切换单元，第一料盒单元1连接在切换单元的驱动端，切换单元用于驱动第一料盒单元1从与第二料盒单元2同一高位的第一收片位A1运动到位于第二料盒单元下方的第一取片位B1。

对于切换单元5，具有多种实施方式，如图3(a)所示，切换单元5包括第二电机511、主动带轮512、同步带513、从动带轮514、摆杆515和滑块516，第二电机511带动主动带轮512转动，从动带轮514在同步带513和主动带轮512的带动下转动，从而带动固定连接在从动带轮514的转动轴上的摆杆515摆动，滑块516滑动套设在摆杆515上，且滑块516的一端与第一料盒单元1铰接，在摆杆515摆动的过程中，滑块516沿摆杆515滑动，从而带动第一料盒单元1在第一收片位和第一取片位之间进行位置切换。

如图3(b)所示，切换单元5包括第三电机531、齿轮532、竖向齿条533、弧形齿条534和横向齿条535，第三电机531的转动轴与齿轮532连接，齿轮532与第一料盒单元1固定连接，竖向齿条533、弧形齿条534和横向齿条535相互衔接，形成一个具有竖向和横向轨道的异型轨道，异型轨道相对于收片装置的机架固定设置，齿轮532由第三电机531带动，沿竖向齿条533、弧形齿条534和横向齿条535运动，实现第一料盒单元1在第一收片位和第一取片位之间进行位置切换。

如图3(c)所示，切换单元5包括第三气缸521，第三气缸521的固定端铰接安装在收片装置的机架上，第三气缸521的驱动端与第一料盒单元1铰接，通过第三气缸521的伸缩实现第一料盒单元1在第一收片位和第一取片位之间进行位置切换。

为了方便取出两个料盒单元内的硅片，弹出式硅片收片装置包括两个弹出单元3，两个弹出单元3分别与第一料盒单元1和第二料盒单元2配合使用，并分别被配置为将第一料盒单元1从第一取片位B1向外推出第一预定距离、将第二料盒单元2从第二取片位向外推出第二预定距离。

沿垂直于硅片输送方向依次设置第一料盒单元和第二料盒单元，通过设置切换单元对第一料盒单元的位置进行切换，更便于从第一料盒单元中收取硅片。

对于弹出单元3，具有多种可行的实施方式：

实施方式1：如图1所示，以第二料盒单元2的弹出单元为例，弹出单元3包括第二气缸31，第二气缸31固定安装在底板13上，第二气缸31的驱动端与安装板12的耳板123固定连接(耳板123可以为安装板12的弯折部分，也可以为与安装板12相互固定连接的一个连接板，本申请不做限定)，安装板12与底板13之间可以通过轨道滑动连接，在第二气缸31的驱动下，安装板12会带动其上的料盒11向外弹出，即将第二料盒单元从第二取片位向外推出第二预定距离。

对于第二取片位，可以为图1中所示的与第一料盒单元1的第一收片位同一高度的第二收片位A2，也可以为低于第二收片位A2一些距离的位置，可根据实际环境设置一个升降机构，带动第二料盒单元2及其对应的弹出单元3进行升降，以到达更合适的第二取片位位置。

实施方式2：弹出单元3包括第一电机、丝杠和螺母，第一电机的驱动端与丝杠固定连接，丝杠架设在底板13上，螺母套设在丝杠上，且螺母与安装板12固定连接。第一电机将转矩传递给丝杠，丝杠转动的同时，使得螺母在丝杠上平移，因螺母与安装板12固定连接，会带动安装板12相对于底板13移动，实现料盒单元的向外弹出。

弹出单元3采用第一电机、丝杠和螺母机构，实现安装板12从收片位向外弹出，结构简单，弹出过程平稳可控。

实施方式3：以第一料盒单元1的弹出单元为例，由于第一料盒单元1经切换单元带动，在第一收片位A1和第一取片位B1之间需要进行位置切换，第一料盒单元1相对于整个弹出式硅片收片装置的机架是可移动的，因此要实现第一料盒单元的弹出，需要另外与机架建立相对固定的连接关系。

如图1所示，对于弹出单元3包括第二气缸31和安装架32，第二气缸31固定安装在安装架32上，且第二气缸31的驱动端穿过安装架32与侧板42固定连接。

将第二气缸31固定安装在安装架32上，并使第二气缸31的驱动端穿过安装架32与侧板42固定连接，在第二气缸31的驱动下，侧板42会向外运动，由于第一气缸41的驱动端能够朝向对接孔121运动，从固定安装在侧板42上的第一气缸41会带动安装板12跟随着向外运动，从而实现安装板12上的料盒11向外弹出，结构简单、安装维修方便。

可选的，如图1和图2所示，弹出单元3还包括至少一根导向轴，导向轴平行于第二气缸31的伸缩方向设置，导向轴的第一端穿过安装架32与侧板42固定连接，且导向轴与安装架32滑动连接。

在平行于第二气缸31的伸缩方向上设置至少一根导向轴，对第二气缸31的伸缩进行导向，提高料盒11弹出过程中的平稳性，防止因弹出过程中料盒11的抖动，导致料盒11内硅片损伤，此外，也能提高料盒11弹出的效率，进而提高料盒11内硅片的收取效率。

为了进一步提高料盒11弹出过程中的稳定性，在第二气缸31的伸缩方向上设置两根导向轴，两根导向轴对称设置在第二气缸31的两侧，在第二气缸31的两侧都进行导向。

可选的，安装板12上开设有对接孔121，弹出式硅片收片装置还包括辅助单元4，辅助单元4包括第一气缸41和侧板42，第一气缸41固定安装在侧板42上，第一气缸41的驱动端被配置为朝向或远离对接孔121运动，以实现与对接孔121的对接或分离；弹出单元3的驱动端通过第一气缸41的伸缩实现与安装板12的连接、断开。

通过设置辅助单元4，可以便捷地实现弹出单元3和安装板12的连接、断开，进而实现料盒11从收片位向外弹出。

可选的，辅助单元4还包括轴套43，轴套43固定安装在侧板42上，且第一气缸41的驱动端穿过轴套43设置。

通过在侧板42上安装轴套43，第一气缸41的驱动端穿过轴套43设置，能够提高第一气缸41与对接孔121对接时的稳定性，进而提高料盒11弹出的效率。

可选的，第一料盒单元的安装板12上设置有避让槽122，在第一料盒单元1进行位置切换时，避让槽122被配置为避让第二料盒单元2。

在设置两个料盒单元时，在第一料盒单元1的安装板12上设置避让槽122，避免第一料盒单元1在进行位置切换时，与第二料盒单元2之间产生干涉。

可选的，第二气缸31的第一端和第二端分别设置有磁性开关，磁性开被配置为检测第二气缸31的伸缩是否到位。

在第二气缸31的第一端和第二端分别设置磁性开关，以检测第二气缸31的伸缩是否到位，进而保证料盒11弹出前后的位置，提高料盒11内硅片的收取效率。

可选的，料盒11的侧边设置有供检测光电通过的豁口，检测光电用于检测料盒11内的硅片高度。

在料盒11的侧边设置豁口，特别是当弹出式硅片收片装置具有两个或多个料盒单元时，当两个或多个料盒单元位于同一高度的收片位时，可以通过设置一个光电传感器穿过豁口，检测多个料盒单元中料盒内硅片的高度。

以上示意性地对本申请创造及其实施方式进行了描述，该描述没有限制性，附图中所示的也只是本申请创造的实施方式之一，实际的结构并不局限于此。所以，如果本领域的普通技术人员受其启示，在不脱离本创造宗旨的情况下，不经创造性的设计出与该技术方案相似的结构方式及实施例，均应属于本专利的保护范围。

Claims (10)

1.一种弹出式硅片收片装置，其特征在于，所述弹出式硅片收片装置包括至少一个料盒单元和至少一个弹出单元，所述料盒单元包括料盒、安装板和底板，所述料盒固定设置在所述安装板上，所述料盒被配置为在收片位收取硅片；所述安装板滑动设置在所述底板上；所述弹出单元的驱动端与所述安装板连接，所述弹出单元被配置为驱动所述安装板相对于所述底板滑动，以至少带动所述安装板上的料盒从所述收片位向外弹出。

2.如权利要求1所述的弹出式硅片收片装置，其特征在于，所述安装板上开设有对接孔，所述弹出式硅片收片装置还包括辅助单元，所述辅助单元包括第一气缸和侧板，所述第一气缸固定安装在所述侧板上，所述第一气缸的驱动端被配置为朝向或远离所述对接孔运动，以实现与所述对接孔的对接或分离；

所述弹出单元的驱动端通过所述第一气缸的伸缩实现与所述安装板的连接、断开。

3.如权利要求2所述的弹出式硅片收片装置，其特征在于，所述弹出单元包括第二气缸和安装架，所述第二气缸固定安装在所述安装架上，且所述第二气缸的驱动端穿过所述安装架与所述侧板固定连接。

4.如权利要求3所述的弹出式硅片收片装置，其特征在于，所述第二气缸的第一端和第二端分别设置有磁性开关，所述磁性开被配置为检测所述第二气缸的伸缩是否到位。

5.如权利要求3所述的弹出式硅片收片装置，其特征在于，所述弹出单元还包括至少一根导向轴，所述导向轴平行于所述第二气缸的伸缩方向设置，所述导向轴的第一端穿过所述安装架与所述侧板固定连接，且所述导向轴与所述安装架滑动连接。

6.如权利要求2所述的弹出式硅片收片装置，其特征在于，所述辅助单元还包括轴套，所述轴套固定安装在所述侧板上，且所述第一气缸的驱动端穿过所述轴套设置。

7.如权利要求1所述的弹出式硅片收片装置，其特征在于，所述弹出单元包括第一电机、丝杠和螺母，所述第一电机的驱动端与所述丝杠固定连接，所述丝杠架设在所述底板上，所述螺母套设在所述丝杠上，且所述螺母与所述安装板固定连接。

8.如权利要求1所述的弹出式硅片收片装置，其特征在于，所述料盒的侧边设置有供检测光电通过的豁口，所述检测光电用于检测所述料盒内的硅片高度。

9.如权利要求1-8任意一项所述的弹出式硅片收片装置，其特征在于，所述弹出式硅片收片装置包括两个所述料盒单元，两个所述料盒单元沿垂直于硅片输送方向依次设置分别为第一料盒单元和第二料盒单元；

所述弹出式硅片收片装置还包括切换单元，所述第一料盒单元连接在所述切换单元的驱动端，所述切换单元用于驱动所述第一料盒单元从与所述第二料盒单元同一高位的第一收片位运动到位于所述第二料盒单元下方的第一取片位；

所述弹出式硅片收片装置包括两个所述弹出单元，两个所述弹出单元分别与所述第一料盒单元和第二料盒单元配合使用，并分别被配置为将所述第一料盒单元从所述第一取片位向外推出第一预定距离、将所述第二料盒单元从第二取片位向外推出第二预定距离。

10.如权利要求9所述的弹出式硅片收片装置，其特征在于，所述第一料盒单元的安装板上设置有避让槽，在所述第一料盒单元进行位置切换时，所述避让槽被配置为避让所述第二料盒单元。

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