CN219144140U - 离子环强化结构 - Google Patents

Abstract

一种离子环强化结构，包含有环片、固定柱以及橡胶包覆体，导电性环片本体内周具有承载环边，且环片本体上环向间隔设置有复数固定孔，导电性固定柱分别直立固定于环片本体的各固定孔，而橡胶包覆体包括一体包覆于环片外部的环片橡胶层以及环边橡胶层，环边橡胶层顶面镂空设置有环形切缝，并在接近环形切缝外侧凸设有橡胶固定块，且环边橡胶层顶面在环片橡胶层与橡胶固定块之间凸设连接有橡胶补强部，进而强化离子环组合结构，并让橡胶固定块更经久耐用，可避免断裂损坏，以提高使用寿命。

Description

离子环强化结构

技术领域

本实用新型有关于晶圆载具技术领域，尤指一种晶圆用离子环强化结构。

背景技术

一般的晶圆制造程序中，将晶圆放置于离子环的承载空间内，并让晶圆定位在橡胶包覆层的橡胶固定块，然后离子环利用各导电性固定柱连接于晶圆制程设备，以实施晶圆制造程序。

但是，公知的离子环的导电性环片、固定柱以及橡胶包覆层在整体结合中，并未进一步强化离子环组合结构，而且橡胶固定块容易发生断裂损坏，以致影响离子环的使用寿命。因此要如何解决上述问题，即为此行业相关业者所亟欲研究的课题所在。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于，利用环片、固定柱以及橡胶包覆体确实结合，进而强化离子环组合结构，并在环片橡胶层与橡胶固定块之间凸设连接有橡胶补强部，让橡胶固定块更经久耐用，可避免断裂损坏，以提高使用寿命。

为达上述目的，本实用新型的离子环强化结构，包含有环片、固定柱以及橡胶包覆体，其中：该环片具有金属导电材料制成的环片本体，且环片本体内周形成承载空间，环片本体上环向间隔设置有复数固定孔，环片本体内周朝向承载空间延伸出承载环边，且环片本体顶面高出于承载环边；该固定柱为复数直立分别固定于环片本体的各固定孔，各固定柱为金属导电材料制成，且各固定柱顶端设有头部；该橡胶包覆体包括一体包覆于环片本体外部的环片橡胶层，以及一体包覆于承载环边外部的环边橡胶层，且环片橡胶层的厚度大于环边橡胶层的厚度，环边橡胶层顶面接近内周缘镂空设置有环形切缝，并在接近环形切缝外侧凸设有橡胶固定块，且环边橡胶层顶面在环片橡胶层与橡胶固定块之间凸设连接有橡胶补强部。

前述的离子环强化结构，其中该环片本体表面间隔设置有复数孔，环片橡胶层充满于复数孔。

前述的离子环强化结构，其中该承载环边对应于环形切缝设置有复数间隔排列的凸点。

前述的离子环强化结构，其中该固定柱具有插置于环片本体对应固定孔的固定部，且固定部与固定孔对应设置有定位切边。

前述的离子环强化结构，其中该固定柱在固定部顶缘延伸有往外扩大的止挡部，且固定部往下延伸有贯穿出固定孔的铆接部。

前述的离子环强化结构，其中该橡胶固定块为复数环向间隔设置，橡胶固定块设为长方体，且橡胶固定块顶端高出于环片橡胶层顶面。

本实用新型的有益效果在于：利用环片、固定柱以及橡胶包覆体确实结合，进而强化离子环组合结构，并在环片橡胶层与橡胶固定块之间凸设连接有橡胶补强部，让橡胶固定块更经久耐用，可避免断裂损坏，以提高使用寿命。

附图说明

图1是本实用新型离子环的环片的结构图。

图2是本实用新型离子环的环片的放大图。

图3是本实用新型离子环的环片的剖视放大图。

图4是本实用新型离子环的环片组合固定柱的结构图。

图5是本实用新型离子环的环片组合固定柱的放大图。

图6是本实用新型离子环的环片组合固定柱的立体放大图。

图7是本实用新型离子环的环片组合固定柱的剖视放大图。

图8是本实用新型离子环的环片与固定柱准备进行铆接的示意图。

图9是本实用新型离子环的环片与固定柱的立体分解图。

图10是本实用新型离子环的环片与固定柱另一视角的立体分解图。

图11是本实用新型离子环的固定柱的立体图。

图12是本实用新型离子环的固定柱另一视角的立体图。

图13是本实用新型离子环的结构图。

图14是本实用新型离子环局部的立体放大图。

图15是本实用新型离子环另一视角局部的立体放大图。

图16是沿图13所示A～A剖面的示意图。

图17是沿图13所示B～B剖面的示意图。

附图标记说明

1、环片

11、环片本体

12、承载空间

13、固定孔

14、承载环边

15、定位切边

16、凸点

17、孔

2、固定柱

21、头部

22、止挡部

23、固定部

24、铆接部

25、定位切边

26、铆接端

3、橡胶包覆体

31、环片橡胶层

32、环边橡胶层

33、环形切缝

34、橡胶固定块

35、橡胶补强部。

具体实施方式

有关本实用新型为达成上述目的，所采用的技术手段及其功效，兹举出可行实施例，并且配合附图说明如下：

首先，请参阅图1至图17所示，由图中可清楚看出，本实用新型离子环强化结构，包含有环片1、固定柱2以及橡胶包覆体3，离子环主要作为一般的晶圆制造程序中的晶圆载具，让晶圆与离子环放置定位于相关制程设备，其中：

该环片1具有金属导电材料制成的环片本体11(参阅图1至图3)，且环片本体11内周形成承载空间12，环片本体11上环向间隔设置有复数固定孔13，且固定孔13设置有定位切边15，环片本体11内周朝向承载空间12延伸出承载环边14，且承载环边14上设置有复数间隔排列的导电专用凸点16，环片本体11顶面高出于承载环边14，且环片本体11表面间隔设置有复数孔17。

该固定柱2为复数直立分别固定于环片本体11的各固定孔13(参阅图4至图12)，各固定柱2为金属导电材料制成，且各固定柱2顶端设有头部21，固定柱2具有插置于环片本体11对应固定孔13的固定部23，且固定部23与固定孔13对应设置有定位切边15、25，而固定柱2在固定部23顶缘延伸有往外扩大的止挡部22，且固定部23往下延伸有贯穿出固定孔13的铆接部24，再冲压形成铆接端26固定。

该橡胶包覆体3包括一体包覆于环片本体11外部的环片橡胶层31(参阅图13至图17)，以及一体包覆于承载环边14外部的环边橡胶层32，环片橡胶层31的厚度大于环边橡胶层32的厚度，且环片橡胶层31一并充满于复数孔17内，环边橡胶层32顶面接近内周缘镂空设置有环形切缝33，以朝下对应于复数间隔排列的导电专用凸点16，环边橡胶层32顶面接近环形切缝33外侧凸设有橡胶固定块34，且环边橡胶层32顶面在环片橡胶层31与橡胶固定块34的间一体凸设连接有橡胶补强部35，而橡胶固定块34设为复数环向间隔设置，且橡胶固定块34设为长方体，让橡胶固定块34顶端高出于环片橡胶层31顶面。

当本实用新型在实际使用时，将晶圆(未图示)放置于离子环的承载空间12中，并让晶圆定位在环边橡胶层32的橡胶固定块34，而承载环边14上面各凸点16朝向环形切缝33与晶圆对应部位，然后离子环利用各固定柱2连接于晶圆制程设备，让环片本体11、承载环边14、各凸点16与各定位柱2电性连接设备端，以实施晶圆制造程序。本实用新型离子环利用环片1、固定柱2以及橡胶包覆体3确实结合，进而强化离子环组合结构，并在环片橡胶层31与橡胶固定块34之间凸设连接有橡胶补强部35，让橡胶固定块34更经久耐用，可避免断裂损坏，以提高使用寿命。

以上所举实施例仅用为方便说明本实用新型，而并非加以限制，在不离本实用新型精神范畴，本领域技术人员所可作的各种简易变化与修饰，均仍应含括于本申请权利要求书中。

Claims (6)

1.一种离子环强化结构，包含有环片、固定柱以及橡胶包覆体，其特征在于：

该环片具有金属导电材料制成的环片本体，且环片本体内周形成承载空间，环片本体上环向间隔设置有复数固定孔，环片本体内周朝向承载空间延伸出承载环边，且环片本体顶面高出于承载环边；该固定柱为复数直立分别固定于环片本体的各固定孔，各固定柱为金属导电材料制成，且各固定柱顶端设有头部；

该橡胶包覆体包括一体包覆于环片本体外部的环片橡胶层，以及一体包覆于承载环边外部的环边橡胶层，且环片橡胶层的厚度大于环边橡胶层的厚度，环边橡胶层顶面接近内周缘镂空设置有环形切缝，并在接近环形切缝外侧凸设有橡胶固定块，且环边橡胶层顶面在环片橡胶层与橡胶固定块之间凸设连接有橡胶补强部。

2.根据权利要求1所述的离子环强化结构，其特征在于，该环片本体表面间隔设置有复数孔，环片橡胶层充满于复数孔。

3.根据权利要求1所述的离子环强化结构，其特征在于，该承载环边对应于环形切缝设置有复数间隔排列的凸点。

4.根据权利要求1所述的离子环强化结构，其特征在于，该固定柱具有插置于环片本体对应固定孔的固定部，且固定部与固定孔对应设置有定位切边。

5.根据权利要求4所述的离子环强化结构，其特征在于，该固定柱在固定部顶缘延伸有往外扩大的止挡部，且固定部往下延伸有贯穿出固定孔的铆接部。

6.根据权利要求1所述的离子环强化结构，其特征在于，该橡胶固定块为复数环向间隔设置，橡胶固定块设为长方体，且橡胶固定块顶端高出于环片橡胶层顶面。

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