CN219102070U - 一种新型的真空矩形阀门结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种新型的真空矩形阀门结构，包括固定块、外壳与移动门板，所述固定块与外壳之间定位安装，所述固定块与移动门板之间连接有移动轴，所述外壳的内部定位安装有气缸，所述气缸与固定块之间连接有伸缩杆、连接支架与定位连接架，且定位连接架连接移动轴的位置，所述外壳上活动移动轴的位置开设有滑槽，所述移动轴与移动门板之间卡合有卡扣。本实用新型所述的一种新型的真空矩形阀门结构，采用FESTO气缸，设计简便，成本低廉；使用热塑性自润滑材料用作导向支撑，并且采用星型密封圈作为移动密封，结构设计紧凑，简洁，通过压缩空气使推动气缸向前运动，从而带动移动门板向前运动，从而移动门板紧贴墙壁达到密封。

Description

一种新型的真空矩形阀门结构

技术领域

本实用新型涉及真空环境下使用的矩形阀门结构领域，特别涉及一种新型的真空矩形阀门结构。

背景技术

真空矩形阀门结构是一种真空环境下使用的矩形阀门结构，适用于半导体设备中隔绝不同腔室之间气体的流动，腔体与腔体之间开有腰型槽，用于机械手搬运晶圆。当进行反应时，真空矩形阀用于隔绝腔体之间或者腔体与大气之前的气体流动。其运动包括整体部分的上下运动以及活动门板的前后运动，随着科技的不断发展，人们对于真空矩形阀门结构的制造工艺要求也越来越高。

现有的真空矩形阀门结构在使用时存在一定的弊端，现有矩形阀分为两种：单气动+杠杆机械式以及双气动式，单气动+杠杆机械式能提供的密封压力有限，如果某一腔体是大气，另一腔体是真空时，矩形阀需要承受一个大气压的压强，容易造成气体泄漏，原先设计中上下运动需另行设计气缸推动轴上下运动，设计复杂，成本昂贵，由于矩形阀下半部分在外界大气中，而运动轴上半部分在腔室中，所以轴上下运动需要设计移动密封结构。并且轴还需要专门的导向装置（比如直线轴承）做导向，移动门板上的密封圈由于收到Plasma的侵蚀，需要定时更换，而原先的设计需要将矩形阀整体拆卸下来。安装繁琐调试复杂，给实际的使用过程带来了一定的不利影响，双气动式则将上升运动与移动门板的前后运动分别用压缩空气控制，为此，我们提出一种新型的真空矩形阀门结构。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种新型的真空矩形阀门结构，采用FESTO气缸，设计简便，成本低廉；使用热塑性自润滑材料用作导向支撑，并且采用星型密封圈作为移动密封，结构设计紧凑，简洁，通过压缩空气使推动气缸向前运动，从而带动移动门板向前运动，从而移动门板紧贴墙壁达到密封，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：一种新型的真空矩形阀门结构，包括固定块、外壳与移动门板，所述固定块与外壳之间定位安装，所述固定块与移动门板之间连接有移动轴，所述外壳的内部定位安装有气缸，所述气缸与固定块之间连接有伸缩杆、连接支架与定位连接架，且定位连接架连接移动轴的位置，所述移动门板的外侧定位有密封圈。

优选的，所述外壳上活动移动轴的位置开设有滑槽，所述移动轴与移动门板之间卡合有卡扣。

优选的，所述移动轴与固定块之间连接的位置定位有热塑性自润滑导向套与星型密封圈，所述移动门板上定位有导向轴、第一推动气缸、第二推动气缸、连接板与固定门板，所述第二推动气缸与连接板之间进行连接。

优选的，所述移动轴通过滑槽在外壳内部的位置进行升降活动，所述移动轴通过卡扣与移动门板之间卡合定位。

优选的，所述移动轴与固定块之间通过热塑性自润滑导向套与星型密封圈密封定位，所述移动门板与导向轴第一推动气缸、第二推动气缸、连接板和固定门板之间密封卡合定位。

优选的，所述固定块与外壳之间通过螺栓固定安装，所述移动门板通过移动轴在固定块上升降活动。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种新型的真空矩形阀门结构，具备以下有益效果：该一种新型的真空矩形阀门结构，采用FESTO气缸，设计简便，成本低廉；使用热塑性自润滑材料用作导向支撑，并且采用星型密封圈作为移动密封，结构设计紧凑，简洁，通过压缩空气使推动气缸向前运动，从而带动移动门板向前运动，从而移动门板紧贴墙壁达到密封。活动气缸采用金属焊接波纹管+活塞柱的设计，确保活塞不漏气的情况下，通过改变活塞的面积来使得气缸的推力根据需求调整，通过独特的卡扣设计，拆卸时只需要将卡扣拆下即可将上半部分整体去除，更换耗材，安装便捷，上下移动选用成品气缸，节省成本，工作可靠，结构紧凑，将导向与密封结合为一体，波纹管式推动气缸在保证密封性能的同时，可以根据需要调整横截面积来改变推力，独特设计的卡扣槽在保证移动轴与固定门板可靠连接的同时，提高了维护的便捷性，整个真空矩形阀门结构结构简单，操作方便，使用的效果相对于传统方式更好。

附图说明

图1为本实用新型一种新型的真空矩形阀门结构的整体结构示意图。

图2为本实用新型一种新型的真空矩形阀门结构中外壳内部的结构示意图。

图3为本实用新型一种新型的真空矩形阀门结构中侧面的结构示意图。

图4为本实用新型一种新型的真空矩形阀门结构中固定块内部剖视图的结构示意图。

图5为本实用新型一种新型的真空矩形阀门结构中移动门板剖视图的结构示意图。

图中：1、气缸；2、连接支架；3、固定块；4、移动轴；5、移动门板；6、密封圈；7、卡扣；8、热塑性自润滑导向套；9、星型密封圈；10、导向轴；11、第一推动气缸；12、第二推动气缸；13、连接板；14、固定门板；15、定位连接架；16、外壳；17、滑槽；18、伸缩杆。

实施方式

下面将结合附图和具体实施方式对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，但是本领域技术人员将会理解，下列所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例，仅用于说明本实用新型，而不应视为限制本实用新型的范围。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。实施例中未注明具体条件者，按照常规条件或制造商建议的条件进行。所用试剂或仪器未注明生产厂商者，均为可以通过市售购买获得的常规产品。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

如图1-4所示，一种新型的真空矩形阀门结构，包括固定块3、外壳16与移动门板5，固定块3与外壳16之间定位安装，固定块3与移动门板5之间连接有移动轴4，外壳16的内部定位安装有气缸1，气缸1与固定块3之间连接有伸缩杆18、连接支架2与定位连接架15，且定位连接架15连接移动轴4的位置，移动门板5的外侧定位有密封圈6，采用FESTO气缸，设计简便，成本低廉；使用热塑性自润滑材料用作导向支撑，并且采用星型密封圈作为移动密封，结构设计紧凑，简洁。

进一步的，外壳16上活动移动轴4的位置开设有滑槽17，移动轴4与移动门板5之间卡合有卡扣7。

进一步的，移动轴4与固定块3之间连接的位置定位有热塑性自润滑导向套8与星型密封圈9，移动门板5上定位有导向轴10、第一推动气缸11、第二推动气缸12、连接板13与固定门板14，第二推动气缸12与连接板13之间进行连接。

进一步的，移动轴4通过滑槽17在外壳16内部的位置进行升降活动，移动轴4通过卡扣7与移动门板5之间卡合定位。

进一步的，移动轴4与固定块3之间通过热塑性自润滑导向套8与星型密封圈9密封定位，移动门板5与导向轴10第一推动气缸11、第二推动气缸12、连接板13和固定门板14之间密封卡合定位。

进一步的，固定块3与外壳16之间通过螺栓固定安装，移动门板5通过移动轴4在固定块3上升降活动。

工作原理：本实用新型包括气缸1、连接支架2、固定块3、移动轴4、移动门板5、密封圈6、卡扣7、热塑性自润滑导向套8、星型密封圈9、导向轴10、第一推动气缸11、第二推动气缸12、连接板13、固定门板14、定位连接架15、外壳16、滑槽17、伸缩杆18，采用FESTO气缸，设计简便，成本低廉；使用热塑性自润滑材料用作导向支撑，并且采用星型密封圈作为移动密封，结构设计紧凑，简洁，通过压缩空气使推动气缸向前运动，从而带动移动门板向前运动，从而移动门板紧贴墙壁达到密封。活动气缸采用金属焊接波纹管+活塞柱的设计，确保活塞不漏气的情况下，通过改变活塞的面积来使得气缸的推力根据需求调整，通过独特的卡扣设计，拆卸时只需要将卡扣拆下即可将上半部分整体去除，更换耗材。安装便捷，气缸1固定于板上，并且为移动轴4的上下运动提供动力，连接支架2将移动轴4与气缸1相连，固定块3通过螺丝锁在腔室的下方，为整体机构提供支撑，三根移动轴4推动固定门板14及相关零件上下运动，同时移动轴4的中间开有贯通孔，可通入压缩空气，为第一推动气缸11与第二推动气缸12提供动力，移动门板5前后运动，带动密封圈6与腔室壁贴紧，提供密封能力，卡扣7将移动轴4与固定门板相连，热塑性自润滑导向套8为移动轴4的上下运动提供导向，星型密封圈9嵌入热塑性自润滑导向套8中，并且为移动轴4起到移动密封的作用，导向轴10为移动门板5的前后运动提供导向，两个第一推动气缸11将移动门板5贴紧腔室侧壁，一个第二推动气缸12通过连接板与移动门板5相连接，并且将移动门板5向后缩回。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二（一号、二号）等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。

Claims (6)

1.一种新型的真空矩形阀门结构，包括固定块（3）、外壳（16）与移动门板（5），其特征在于：所述固定块（3）与外壳（16）之间定位安装，所述固定块（3）与移动门板（5）之间连接有移动轴（4），所述外壳（16）的内部定位安装有气缸（1），所述气缸（1）与固定块（3）之间连接有伸缩杆（18）、连接支架（2）与定位连接架（15），且定位连接架（15）连接移动轴（4）的位置，所述移动门板（5）的外侧定位有密封圈（6）。

2.根据权利要求1所述的一种新型的真空矩形阀门结构，其特征在于：所述外壳（16）上活动移动轴（4）的位置开设有滑槽（17），所述移动轴（4）与移动门板（5）之间卡合有卡扣（7）。

3.根据权利要求1所述的一种新型的真空矩形阀门结构，其特征在于：所述移动轴（4）与固定块（3）之间连接的位置定位有热塑性自润滑导向套（8）与星型密封圈（9），所述移动门板（5）上定位有导向轴（10）、第一推动气缸（11）、第二推动气缸（12）、连接板（13）与固定门板（14），所述第二推动气缸（12）与连接板（13）之间进行连接。

4.根据权利要求2所述的一种新型的真空矩形阀门结构，其特征在于：所述移动轴（4）通过滑槽（17）在外壳（16）内部的位置进行升降活动，所述移动轴（4）通过卡扣（7）与移动门板（5）之间卡合定位。

5.根据权利要求3所述的一种新型的真空矩形阀门结构，其特征在于：所述移动轴（4）与固定块（3）之间通过热塑性自润滑导向套（8）与星型密封圈（9）密封定位，所述移动门板（5）与导向轴（10）、第一推动气缸（11）、第二推动气缸（12）、连接板（13）和固定门板（14）之间密封卡合定位。

6.根据权利要求1所述的一种新型的真空矩形阀门结构，其特征在于：所述固定块（3）与外壳（16）之间通过螺栓固定安装，所述移动门板（5）通过移动轴（4）在固定块（3）上升降活动。

Images