CN219092620U - 烘烤装置及硅片检测设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种烘烤装置及硅片检测设备，其中烘烤装置包括箱体，加热组件以及抽气组件。箱体具有加热腔以及与加热腔连通的出气口，加热腔用于容置硅片，加热组件包括第一加热件，第一加热件可以为加热丝、加热棒以及加热管等，第一加热件设置于加热腔用于烘烤放置于加热腔中的硅片，以将硅片上的墨点烘干。抽气组件与出气口连通，用于抽吸加热腔内的空气。因此，在硅片于加热腔中烘烤完成后，抽气组件能够先将加热腔中的热空气抽离并回收，再将加热腔打开以将硅片取出，防止热空直接流向工作环境中，避免环境温度过高，利于设备运行以及工人施工。

Description

烘烤装置及硅片检测设备

技术领域

本实用新型涉及半导体加工技术领域，特别涉及一种烘烤装置及硅片检测设备。

背景技术

随着半导体行业的发展，市场对机器的自动化程度要求越来越高。硅片在测试完成后，需要对不良的晶圆颗粒标记墨点，刚标记的墨点为液态，此时不能将硅片堆叠放置，容易相互污染，以往的处理方式是先将硅片放进料盒，再由工作人员将料盒内的硅片拿去烘烤，然而，相关技术中，在硅片进行加时容易导致环境温度升高，不利于设备运行以及工作人员施工。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种能够烘烤装置，烘烤完成后能够将热空气抽离防止热空气直接进入工作环境中，确保设备的正常运行。

本实用新型还提供了一种包括上述烘烤装置的硅片检测设备。

根据本实用新型的第一方面实施例的烘烤装置，包括：

箱体，具有加热腔以及与加热腔连通的出气口，所述加热腔用于容置硅片；

加热组件，包括第一加热件，所述第一加热件设置于所述加热腔；

抽气组件，与所述出气口连通，用于抽吸所述加热腔内的空气。

根据本实用新型实施例的烘烤装置，至少具有如下有益效果：

箱体具有与加热腔连通的出气口，抽气组件与出气口连通，用于抽吸加热腔内的空气。因此，在硅片于加热腔中烘烤完成后，抽气组件能够先将加热腔中的热空气抽离并排出设备工作环境或者回收，再将加热腔打开以将硅片取出，防止热空直接流向工作环境中，避免环境温度过高，利于设备运行以及工人施工。

根据本实用新型的一些实施例，所述箱体包括罩体以及盖体，所述罩体具有容置槽，以及连通所述容置槽的开口，所述烘烤装置还包括驱动机构，所述驱动机构用于驱动所述罩体与所述盖体相对运行，以使所述盖体封堵或者打开所述开口。

根据本实用新型的一些实施例，所述盖体位于所述罩体的下方，所述驱动机构为升降机构，所述升降机构包括第一驱动元件以及移动件，所述移动件连接所述罩体，所述第一驱动元件用于驱动所述移动件在第一设定位置与第二设定位置之间运动，所述移动件位于所述第一设定位置，所述盖体封堵所述开口，所述容置槽与所述盖体的上表面限定出所述加热腔，所述移动件位于所述第二设定位置，所述开口打开。

根据本实用新型的一些实施例，所述箱体还包括密封件，所述密封件连接于所述罩体或所述盖体，或者所述罩体以及所述盖体均设置有所述密封件，所述密封件能够夹紧于所述罩体与所述盖体之间。

根据本实用新型的一些实施例，所述箱体还包括进气口，所述进气口与所述加热腔连通，所述烘烤装置还包括供气组件，所述供气组件用于向所述加热腔提供气体。

根据本实用新型的一些实施例，所述烘烤装置还包括第二加热件，所述第二加热件连接于所述供气装置，用于加热所述供气组件中输送的气体。

根据本实用新型的一些实施例，所述烘烤装置还包括温度传感器，所述温度传感器位于所述加热腔内，用于检测所述加热腔的温度。

根据本实用新型的一些实施例，所述加热组件还包括烘烤盘，所述烘烤盘设置于所述加热腔内，所述第一加热件连接于所述烘烤盘，以加热所述烘烤盘，所述烘烤盘的上表面用于承载所述硅片，使所述硅片均匀受热。

根据本实用新型的一些实施例，所述烘烤装置还包括顶升机构，所述顶升机构包括顶升件以及第二驱动元件，所述烘烤盘具有上下贯穿的顶升孔，所述第二驱动元件连接所述顶升件，以驱动所述顶升件上下运动，使所述顶升件自所述顶升孔伸出或者缩回。

根据本实用新型的第二方面实施例的硅片检测设备，包括：上述实施例的烘烤装置。

根据本实用新型实施例的硅片检测设备，至少具有如下有益效果：

采用了第一方面实施例的烘烤装置，箱体具有与加热腔连通的出气口，抽气组件与出气口连通，用于抽吸加热腔内的空气。因此，在硅片于加热腔中烘烤完成后，抽气组件能够先将加热腔中的热空气抽离并排出工作环境或者回收，再将加热腔打开以将硅片取出，防止热空直接流向工作环境中，避免环境温度过高，利于本实施例的硅片检测设备的运行以及工人施工。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步的说明，其中：

图1为本实用新型一种实施例的烘烤装置的示意图；

图2为图1中烘烤装置的另一视角示意图；

图3为图2中烘烤装置另一示意图；

图4为图1中加热组件、底板、顶升机构的示意图；

图5为图4中A区域的方式示意图。

附图标记：

箱体100，罩体110，底板120，出气口130，进气口140，密封件150；

加热组件200，第一加热件210，烘烤盘220，顶升孔221，隔热板230；

升降机构300，移动件310；

温度传感器400，位置传感器500；

顶升机构600，顶升件610。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的组件或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，若干的含义是一个以上，多个的含义是两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。

本实用新型的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属技术领域技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本实用新型中的具体含义。

本实用新型的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

图1为本实用新型一种实施例的烘烤装置的示意图，参照图1，第一方面实施例烘烤装置包括箱体100，加热组件200以及抽气组件。

其中，箱体100具有加热腔以及与加热腔连通的出气口130，加热腔用于容置硅片，箱体100还具有物料进口，物料进口能被打开和关闭，硅片能够由物料进口放入加热腔中。加热组件200包括第一加热件210，第一加热件210可以为加热丝、加热棒以及加热管等，第一加热件210设置于加热腔并用于烘烤放置于加热腔中的硅片，以将硅片上的墨点烘干。抽气组件包括抽气泵以及管道，抽气泵通过管道与出气口130连通管，从而连通加热腔，用于抽吸加热腔内的空气。因此，在硅片于加热腔中烘烤完成后，抽气组件能够先将加热腔中的热空气抽离并排出工作环境，或者进行收集，再将加热腔打开以将硅片取出，避免热空气直接流向工作环境中，从而防止环境温度过高，以利于设备运行以及工人施工。同时能够避免烘烤后加热腔中的废气直接排向外界空气中，以减小环境污染。箱体100还能够采用隔热材料制成，或者箱体100的外部包裹有隔热层，以提高箱体100的隔热性能，进一步减少热量流失外界，还能够防止工人误触箱体100而烫伤。

在一些实施例中，箱体100包括罩体110以及盖体，罩体110具有容置槽以及连通容置槽的开口，烘烤装置还包括驱动机构，驱动机构可以设置为液压缸、气缸以及电机驱动装置等设备，且驱动机构可以为水平移动机构、升降机构以及旋转机构，以驱动盖体和罩体110相对移动或者相对转动，以使盖体封堵或者打开开口。无需人工操作，节省操作时间，提高工作效率。

需要说明的是，罩体110的开口朝下不能解释为对本实施例的唯一限定，根据加工需求，开口可以朝上、朝左以及朝右等任意方向，只要能够将硅片自开口放入容置槽内即可。

参照图2和图3，图2为图1中烘烤装置的另一视角示意图，图3为图2中烘烤装置另一示意图，盖体位于罩体110的下方，驱动机构设置为升降机构300，升降机构300包括第一驱动元件以及移动件310，移动件310连接于罩体110，第一驱动元件连接移动件310，第一驱动元件能够驱动移动件310在第一设定位置与第二设定位置之间移动。当移动件310位于第一设定位置(如图3所示)，罩体110与盖体抵接，且盖体封堵开口，此时容置槽与盖体的上表面限定出加热腔。当移动件310位于第二设定位置(如图2所示)，开口打开。如图3所示，箱体100的整个底板120设置为盖体，用于与罩体110相配合。因此，升降机构300向上驱动罩体110，使罩体110与底板120分离后，罩体110的底部与底板120的上表面的间隙为进料口，硅片能够自进料口沿任意水平方向放置到底板120上，以提高本实施例烘烤装置的适用性。例如本实施例的烘烤装置应用于生产线时，硅片可以由一个方向放置在底板120上，烘烤完成后可以由任意方向将硅片取出，使得生产线的其他工位与烘烤装置能够有更多的布局方式，减小场地对生产线的影响。此外，由于硅片能够由任意方取出，因此生产线无需为了适配硅片的放入方向与取出方向而设置多余的输送线路，以减少生产线一些非必要的输送行程，从而提高生产效率。烘烤装置还可以包括位置传感器500，位置传感器500连接于移动件310或者罩体110上，用于检测罩体110与盖体之间的距离，防止罩体110与盖体发生碰撞而损坏。

参照图1，在一些实施例中，箱体100还包括密封件150，密封件150由耐高温隔热材料制成，如石棉垫片以及氟橡胶密封圈等，密封件150可以连接于罩体110并位于罩体110的开口处。或密封件150连接于盖体，位于盖体朝向罩体110的一端，或者罩体110以及盖体均设置有密封件150。密封件150能够夹紧于罩体110与盖体之间，从而提高加热腔的密封性，以减少热量流失至外界环境。此外，密封件150还能够防止盖体与罩体110之间直接接触，避免盖体与罩体110之间碰撞或者磨损。

参照图2，在一些实施例中，箱体100还包括进气口140，进气口140与加热腔连通，烘烤装置还包括供气组件，供气组件用于向加热腔提供气体。因此，在烘烤完成后，供气组件能够向加热腔内提供空气，提高加热腔中空气的流动性，从而提高抽气组件抽吸加热腔内热空气的速度，提高热空气回收速度，从而提高工作效率。

在一些实施例中，烘烤装置还包括第二加热件，第二加热件连接于供气组件用于加热供气组件中输送的气体。因此，在进行硅片烘烤时，供气组件能够向加热腔中输送热空气，提高烘烤速度，从而提高工作效率。使得供气组件具备多个功能，即烘烤时输送热气提高加热效率，烘烤完成后，第二加热件停止供热，以向加热腔中提供常温空气，提高热空气排出加热腔的速度，以提高工作效率。

参照图2，在一些实施例中，烘烤装置还包括温度传感器400，温度传感器位于加热腔内，连接于加热腔的内壁，或者加热组件200，用于检测加热腔的温度，并将检测温度信号传递至显示屏或者上位机以方便调节加热腔中的温度，防止加热腔中的温度过高或者过低。避免加热腔中温度过低而导致烘烤速度过慢或者硅片烘干不完全，以及避免加热腔中温度过高导致硅片损坏。

参照图1，在一些实施例中，加热组件200还包括烘烤盘220，烘烤盘220由耐高温材料制成，如耐高温陶瓷材料，烘烤盘220设置于加热腔内，第一加热件210连接于烘烤盘220，以加热烘烤盘220，烘烤盘220的上表面用于承载硅片，使硅片均匀受热，提高硅片的加热效率。此外，还能够避免第一加热件210与硅片直接接触而导致硅片局部烧伤。加热组件200可以包括隔热板230，隔热板230位于烘烤盘220与底板120之间，减少烘烤盘220的热量传递至底板120，从而减少热量传导至箱体100下方的设备，避免箱体100下方设备温度过高而出现异常，确保设备正常工作。

参照图4和图5，图4为图1中加热组件、底板、顶升机构的示意图，图5为图4中A区域的方式示意图，在上述实施例基础上，烘烤装置还包括顶升机构600，顶升机构600包括顶升件610以及第二驱动元件，烘烤盘220具有上下贯穿的顶升孔221(如图5所示)，第二驱动元件连接顶升件610，以驱动顶升件610上下运动，使顶升件610自顶升孔221伸出或者缩回，以方便硅片的取放。可以理解的是，硅片通常较薄较脆，因此夹持硅片的侧面容易导致硅片破损。基于此，本实施例设置顶升机构600，顶升机构600的顶升件610能够向上运动，使得顶升件610的顶部与烘烤盘220的上表面具有一定距离。因此，在将硅片从烘烤盘220上取下时，顶升件610能够将硅片顶起，从而使得硅片的底部与烘烤盘220的上表面具有一定的空间，使得工人或者机械手能够托举在硅片的下方，避免硅片受到侧向的夹持力，防止硅片破损。同理，在将硅片放置于烘烤盘220时，工人或者机械手能够托举与硅片的下方，先将硅片放置于顶升件610上，再由顶升件610下降，将硅片放置到烘烤盘220上，避免硅片与烘烤盘220发生剧烈碰撞，防止硅片破损。

第二方面实施例的硅片检测设备，包括：第一方面实施例的烘烤装置。

采用了第一方面实施例的烘烤装置，箱体100具有与加热腔连通的出气口130，抽气组件与出气口130连通，用于抽吸加热腔内的空气。因此，在硅片于加热腔中烘烤完成后，抽气组件能够先将加热腔中的热空气抽离并回收，再将加热腔打开以将硅片取出，防止热空直接流向工作环境中，避免环境温度过高，利于本实施例的硅片检测设备的运行以及工人施工。

此外，还需要说明的是，由于本实施例采用了第一方面实施例的烘烤装置，因此，本实施例具备第一方面实施例所有有益效果，此处不再赘述。

上面结合附图对本实用新型实施例作了详细说明，但是本实用新型不限于上述实施例，在所属技术领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本实用新型宗旨的前提下作出各种变化。此外，在不冲突的情况下，本实用新型的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

Claims (10)

1.烘烤装置，其特征在于，包括：

箱体，具有加热腔以及与加热腔连通的出气口，所述加热腔用于容置硅片；

加热组件，包括第一加热件，所述第一加热件设置于所述加热腔；

抽气组件，与所述出气口连通，用于抽吸所述加热腔内的空气。

2.根据权利要求1所述的烘烤装置，其特征在于，所述箱体包括罩体以及盖体，所述罩体具有容置槽，以及连通所述容置槽的开口，所述烘烤装置还包括驱动机构，所述驱动机构用于驱动所述罩体与所述盖体相对运行，以使所述盖体封堵或者打开所述开口。

3.根据权利要求2所述的烘烤装置，其特征在于，所述盖体位于所述罩体的下方，所述驱动机构为升降机构，所述升降机构包括第一驱动元件以及移动件，所述移动件连接所述罩体，所述第一驱动元件用于驱动所述移动件在第一设定位置与第二设定位置之间运动，所述移动件位于所述第一设定位置，所述盖体封堵所述开口，所述容置槽与所述盖体的上表面限定出所述加热腔，所述移动件位于所述第二设定位置，所述开口打开。

4.根据权利要求2所述的烘烤装置，其特征在于，所述箱体还包括密封件，所述密封件连接于所述罩体或所述盖体，或者所述罩体以及所述盖体均设置有所述密封件，所述密封件能够夹紧于所述罩体与所述盖体之间。

5.根据权利要求1所述的烘烤装置，其特征在于，所述箱体还包括进气口，所述进气口与所述加热腔连通，所述烘烤装置还包括供气组件，所述供气组件用于向所述加热腔提供气体。

6.根据权利要求5所述的烘烤装置，其特征在于，所述烘烤装置还包括第二加热件，所述第二加热件连接于所述供气组件，用于加热所述供气组件中输送的气体。

7.根据权利要求1所述的烘烤装置，其特征在于，所述烘烤装置还包括温度传感器，所述温度传感器位于所述加热腔内，用于检测所述加热腔的温度。

8.根据权利要求1所述的烘烤装置，其特征在于，所述加热组件还包括烘烤盘，所述烘烤盘设置于所述加热腔内，所述第一加热件连接于所述烘烤盘，以加热所述烘烤盘，所述烘烤盘的上表面用于承载所述硅片，使所述硅片均匀受热。

9.根据权利要求8所述的烘烤装置，其特征在于，所述烘烤装置还包括顶升机构，所述顶升机构包括顶升件以及第二驱动元件，所述烘烤盘具有上下贯穿的顶升孔，所述第二驱动元件连接所述顶升件，以驱动所述顶升件上下运动，使所述顶升件自所述顶升孔伸出或者缩回。

10.硅片检测设备，其特征在于，包括如权利要求1至9中任一项所述的烘烤装置。

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