CN219084261U - 测温结构及热炉 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种测温结构及热炉，测温结构包括炉门、支撑件和温度检测件，炉门用于密封热炉的炉口，支撑件穿设于炉门，支撑件的第一端用于承载待加工产品，温度检测件连接于支撑件的第二端，且温度检测件朝向支撑件的第一端延伸设置。该测温结构的测量温度的温度测量件与承载待加工产品的支撑件整合在一起，无需为温度测量件设置单独的装拆空间，从而缩小热炉的占地面积，有利于降低热炉的使用成本。

Description

测温结构及热炉

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种测温结构及热炉。

背景技术

目前现有的热炉的结构如图1所示，主要包括炉体1’和炉门2’，炉门2’上连接有支撑件3’，支撑件3’用于承载待加工产品4’，在炉体1’的炉尾端设置有导管5’，导管5’内安装有测温装置6’。在安装和拆卸测温装置6’时，需要如图2所示，从炉尾侧将测温装置6’从导管5’中抽出，这样就导致热炉在使用过程中，在炉体1’的炉尾侧需留有足够的空间以实现测温装置6’的安装和拆卸，使得热炉的占地面积非常大，从而增加厂房面积，提升了热炉的使用成本。

实用新型内容

本实用新型的第一个目的在于提出一种测温结构，该测温结构的测量温度的温度测量件与承载待加工产品的支撑件整合在一起，无需为温度测量件设置单独的装拆空间，从而缩小热炉的占地面积，有利于降低热炉的使用成本。

本实用新型的第二个目的在于提出一种热炉，该热炉的占地面积较小，无需面积较大的厂房安置，降低了使用成本。

为实现上述技术效果，本实用新型的技术方案如下：

本实用新型公开了一种测温结构，包括：炉门，所述炉门用于密封热炉的炉口；支撑件，所述支撑件穿设于所述炉门，所述支撑件的第一端用于承载待加工产品；温度检测件，所述温度检测件连接于所述支撑件的第二端，且所述温度检测件朝向所述支撑件的所述第一端延伸设置。

在一些实施例中，所述温度检测件包括一个热电偶，所述热电偶沿其长度方向设置至少一个温度探头。

在一些实施例中，所述温度检测件包括多个热电偶，多个所述热电偶间隔排布。

在一些实施例中，所述支撑件包括桨本体和桨盖；其中：所述桨本体具有测温腔体，所述测温腔体的两端敞开设置，所述桨盖连接在所述桨本体的一端以封闭所述测温腔体，所述温度检测件穿设在所述桨盖上；或者：所述桨盖连接在所述桨本体的一端，所述温度检测件穿设在所述桨盖上，所述温度检测件与所述桨本体并列设置，且位于所述桨本体的外侧。

在一些具体的实施例中，所述测温结构还包括导管，所述导管穿设于所述桨盖且与所述桨盖焊接，所述温度检测件穿设于所述导管。

在一些更具体的实施例中，所述测温结构还包括连接密封组件，所述连接密封组件套设于所述温度检测件，且连接在所述导管远离所述桨盖的一端。

在一些可选的实施例中，所述连接密封组件包括：转接卡套，所述转接卡套套设于所述温度检测件，且所述转接卡套的一端套设于所述导管；锁紧件，所述锁紧件为两个，两个所述锁紧件分别配合在所述转接卡套的两端，其中一个所述锁紧件用于锁紧所述转接卡套以及所述温度检测件，另一个所述锁紧件用于锁紧所述转接卡套及所述导管。

在一些可选的实施例中，所述锁紧件包括：锥形卡，所述锥形卡套设在所述温度检测件或者所述导管上，且所述锥形卡的小端的周面抵接于所述温度检测件或者所述导管；锁紧螺母，所述锁紧螺母螺纹连接于所述转接卡套，且所述锁紧螺母的端面抵接于所述锥形卡的大端面。

在一些实施例中，所述温度检测件的一端设有插头，所述插头用于连接外部测温仪。

本实用新型还公开了一种热炉，包括炉体和前文所述的测温结构。

本实用新型的测温结构的有益效果：温度检测件能够跟随支撑件一起运动，无需在炉体的炉尾侧预留温度检测件的装拆空间，从而缩小了炉体的占地面积，降低了热炉的使用成本。与此同时，由于温度检测件从支撑件的第二端朝向第一端延伸设置，温度检测件能够检测炉体内部的待加工产品所在位置的温度，从而方便热炉对温度的实时监控以及调整。

本实用新型的热炉的有益效果：由于具有前文所述的测温结构，温度检测件能够跟随支撑件一起运动，无需在炉体的炉尾侧预留温度检测件的装拆空间，从而缩小了炉体的占地面积，降低了热炉的使用成本，并且由于测温机构设置在支撑件上，支撑件用于承载待加工产品，使得测温机构距离待加工产品的距离更近，从而使得测温机构能够更精准地检测待加工产品的实时温度。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

图1是现有技术中的测温结构配合在炉体内的结构示意图；

图2是现有技术中的测温结构脱离炉体的结构示意图；

图3是本实用新型实施例的测温结构配合在炉体内的结构示意图；

图4是本实用新型实施例的测温结构的局部结构示意图；

图5是本实用新型实施例的测温结构脱离炉体的结构示意图；

图6是本实用新型实施例的第一种温度检测件与桨盖的配合示意图；

图7是本实用新型实施例的第二种温度检测件与桨盖的配合示意图。

附图标记：

图1-图2中：

1’、炉体；2’、炉门；3’、支撑件；4’、待加工产品；5’、导管；6’、测温装置；

图3-图7中：

1、炉门；2、支撑件；21、桨本体；211、测温腔体；22、桨盖；

3、温度检测件；31、温度探头；32、插头；4、导管；5、连接密封组件；51、转接卡套；52、锁紧件；521、锁紧螺母；522、锥形卡；

10、待加工产品；20、炉体；30、外部测温仪。

具体实施方式

为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征，用于区别描述特征，无顺序之分，无轻重之分。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面参考图3-图7描述本实用新型实施例的测温结构。

本实用新型公开了一种测温结构，如图3及图5所示，本实施例的测温结构包括炉门1、支撑件2和温度检测件3，炉门1用于密封热炉的炉口，支撑件2穿设于炉门1，支撑件2的第一端用于承载待加工产品10，温度检测件3连接于支撑件2的第二端，且温度检测件3朝向支撑件2的第一端延伸设置。可以理解的是，在本实施例中，将待加工产品10承载到支撑件2的第一端上后，推动支撑件2运动使得炉门1将热炉的炉口封闭，由于温度检测件3连接与支撑件2的第二端，支撑件2进入热炉的炉体20的过程中，温度检测件3也随之进入炉体20，相比于现有技术中，需要从炉尾侧安装和拆卸的测温装置，本实施例的温度检测件3能够跟随支撑件2一起运动，无需在炉体20的炉尾侧预留温度检测件3的装拆空间，从而缩小了炉体20的占地面积，降低了热炉的使用成本。与此同时，由于温度检测件3从支撑件2的第二端朝向第一端延伸设置，温度检测件3能够检测炉体20内部的待加工产品10所在位置的温度，从而方便热炉对温度的实时监控以及调整。

在一些实施例中，如图6所示，温度检测件3包括一个热电偶，热电偶沿其长度方向设置至少一个温度探头31。由此，在炉体20的长度方向上，温度检测件3能够测试多个点位的温度，从而进一步方便热炉对炉体20内部温度的实时监控以及调整。这里需要说明的是，温度探头31的个数可以根据实际需要选择，在此不对温度探头31的个数做出限定。

在一些实施例中，如图7所示，温度检测件3包括多个热电偶，多个热电偶间隔排布。由此，在炉体20的周向方向上，温度检测件3能够测试多个点位的温度，从而进一步方便热炉对炉体20内部温度的实时监控以及调整。这里需要说明的是，热电偶的个数可以根据实际需要选择，在此不对温度探头31的个数做出限定。

在一些实施例中，如图4所示，支撑件2包括桨本体21和桨盖22，桨本体21具有测温腔体211，测温腔体211的两端敞开设置，桨盖22连接在桨本体21的一端以封闭测温腔体211，温度检测件3穿设在桨盖22上。可以理解的是，在实际工作过程中，热炉中通常需要是真空环境或者工艺气体氛围，将温度检测件3穿设在桨盖22上，在确保温度检测件3稳定地安装在支撑件2上的同时避免了外部气体通过测温腔体211进入炉体20内部的现象发生，从而保证了热炉的正常工作。

在一些实施例中，支撑件2包括桨本体21和桨盖22，桨盖22连接在桨本体21的一端，温度检测件3穿设在桨盖22上，温度检测件3与桨本体21并列设置，且位于桨本体21的外侧。

在一些具体的实施例中，测温结构还包括导管4，导管4穿设于桨盖22且与桨盖22焊接，温度检测件3穿设于导管4。

首先需要说明的是，如图2所示，现有技术中的导管4’是一体成型在炉体20内的石英管上的，在拆卸过程中导管4’非常容易损坏，如果导管4’损坏就需要同时更换炉体1’内的石英管，而石英管的造价较高，频繁更换会大大提升热炉的使用成本。

而在本实施例中，导管4穿设于桨盖22且与桨盖22焊接，导管4与炉体20内部的石英管完全没有连接关系，即便导管4损坏时，只需要更换一个桨盖22即可，甚至可以将坏了的导管4从桨盖22上拆卸，将一个新的导管4焊接到桨盖22上即可。相比现有技术中更换整个石英管的技术方案，本实施例的导管4的安装位置能够大大降低热炉的使用成本。

在一些更具体的实施例中，如图3-图4所示，测温结构还包括连接密封组件5，连接密封组件5套设于温度检测件3，且连接在导管4远离桨盖22的一端。可以理解的是，连接密封组件5能够将温度检测件3和导管4连接在部分密封起来，避免外部的空气从温度检测件3和导管4的连接缝隙内进入炉体20，确保了热炉的稳定工作。

在一些可选的实施例中，如图4所示，连接密封组件5包括转接卡套51和锁紧件52，转接卡套51套设于温度检测件3，且转接卡套51的一端套设于导管4，锁紧件52为两个，两个锁紧件52分别配合在转接卡套51的两端，其中一个锁紧件52用于锁紧转接卡套51以及温度检测件3，另一个锁紧件52用于锁紧转接卡套51及导管4。可以理解的是，在安装过程中，现将转接卡套51套设在温度检测件3上，并且将一端套入导管4内，然后将套设在转接卡套51上的两个锁紧件52锁紧，从而将转接卡套51以及温度检测件3锁紧，并且将转接卡套51和导管4锁紧，这种锁紧方式非常简单，方便操作。

在一些可选的实施例中，如图4所示，锁紧件52包括锥形卡522和锁紧螺母521，锥形卡522套设在温度检测件3或者导管4上，且锥形卡522的小端的周面抵接于温度检测件3或者导管4，锁紧螺母521螺纹连接于转接卡套51，且锁紧螺母521的端面抵接于锥形卡522的大端面。可以理解的是，在实际锁紧过程中，转动锁紧螺母521推动锥形卡522运动，使得锥形卡522的小端逐渐插入转接卡套51和导管4的间隙，以及转接卡套51和温度检测件3的间隙，由此即可将转接卡套51以及温度检测件3锁紧，并且将转接卡套51和导管4锁紧，在锁紧的同时还能够保证密封性。

在一些实施例中，如图4-图5所示，温度检测件3的一端设有插头32，插头32用于连接外部测温仪30。由此，能够非常方便地实现温度检测件3与外部测温仪30的连接。

实施例：

下面参考图3-图7描述本实用新型一个具体实施例的测温结构。

如图3-图5所示，本实施例的测温结构包括炉门1、支撑件2、温度检测件3、导管4和连接密封组件5，炉门1用于密封热炉的炉口，支撑件2穿设于炉门1，支撑件2包括桨本体21和桨盖22，桨本体21具有测温腔体211，测温腔体211的两端敞开设置，桨盖22连接在桨本体21的一端以封闭测温腔体211，导管4穿设于桨盖22且与桨盖22焊接，温度检测件3穿设于导管4。连接密封组件5包括转接卡套51和锁紧件52，转接卡套51套设于温度检测件3，且转接卡套51的一端套设于导管4，锁紧件52为两个，两个锁紧件52分别配合在转接卡套51的两端，锁紧件52包括锥形卡522和锁紧螺母521，锥形卡522套设在温度检测件3或者导管4上，且锥形卡522的小端的周面抵接于温度检测件3或者导管4，锁紧螺母521螺纹连接于转接卡套51，且锁紧螺母521的端面抵接于锥形卡522的大端面。

本实施例的温度检测件3具有两种结构，第一种如图6所示，温度检测件3包括一个热电偶，热电偶沿其长度方向间隔设置三个温度探头31。第二种如图7所示，温度检测件3包括三个热电偶，三个热电偶间隔排布，每个热电偶的端部设置一个温度探头31。当然，在本实施例中，温度检测件3也可以与桨本体21并列设置，且位于桨本体21的外侧。

本实施例的测温结构的优点如下：

第一：温度检测件3能够跟随支撑件2一起运动，无需在炉体20的炉尾侧预留温度检测件3的装拆空间，从而缩小了炉体20的占地面积，降低了热炉的使用成本；

第二：温度检测件3从支撑件2的第二端朝向第一端延伸设置，温度检测件3能够检测炉体20内部的待加工产品10所在位置的温度，从而方便热炉对温度的实时监控以及调整；

第三：导管4穿设于桨盖22且与桨盖22焊接，导管4损坏时，只需要更换一个桨盖22即可，甚至可以将坏了的导管4从桨盖22上拆下，将一个新的导管4焊接到桨盖22上，大大降低了导管4损坏时的更换成本。

本实用新型还公开了一种热炉，包括炉体20和前文所述的测温结构。

本实用新型的热炉由于具有前文所述的测温结构，温度检测件3能够跟随支撑件2一起运动，无需在炉体20的炉尾侧预留温度检测件3的装拆空间，从而缩小了炉体20的占地面积，降低了热炉的使用成本。并且由于测温机构设置在支撑件2上，支撑件2用于承载待加工产品10，使得测温机构距离待加工产品10的距离更近，从而使得测温机构能够更精准地检测待加工产品10的实时温度。

在本说明书的描述中，参考术语“有些实施例”、“其他实施例”、等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上内容仅为本实用新型的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。

Claims (10)

1.测温结构，其特征在于，包括：

炉门，所述炉门用于密封热炉的炉口；

支撑件，所述支撑件穿设于所述炉门，所述支撑件的第一端用于承载待加工产品；

温度检测件，所述温度检测件连接于所述支撑件的第二端，且所述温度检测件朝向所述支撑件的第一端延伸设置。

2.根据权利要求1所述的测温结构，其特征在于，所述温度检测件包括一个热电偶，所述热电偶沿其长度方向设置至少一个温度探头。

3.根据权利要求1所述的测温结构，其特征在于，所述温度检测件包括多个热电偶，多个所述热电偶间隔排布。

4.根据权利要求1-3任一项所述的测温结构，其特征在于，所述支撑件包括桨本体和桨盖；其中：

所述桨本体具有测温腔体，所述测温腔体的两端敞开设置，所述桨盖连接在所述桨本体的一端以封闭所述测温腔体，所述温度检测件穿设在所述桨盖上；

或者：所述桨盖连接在所述桨本体的一端，所述温度检测件穿设在所述桨盖上，所述温度检测件与所述桨本体并列设置，且位于所述桨本体的外侧。

5.根据权利要求4所述的测温结构，其特征在于，所述测温结构还包括导管，所述导管穿设于所述桨盖且与所述桨盖焊接，所述温度检测件穿设于所述导管。

6.根据权利要求5所述的测温结构，其特征在于，所述测温结构还包括连接密封组件，所述连接密封组件套设于所述温度检测件，且连接在所述导管远离所述桨盖的一端。

7.根据权利要求6所述的测温结构，其特征在于，所述连接密封组件包括：

转接卡套，所述转接卡套套设于所述温度检测件，且所述转接卡套的一端套设于所述导管；

锁紧件，所述锁紧件为两个，两个所述锁紧件分别配合在所述转接卡套的两端，其中一个所述锁紧件用于锁紧所述转接卡套以及所述温度检测件，另一个所述锁紧件用于锁紧所述转接卡套及所述导管。

8.根据权利要求7所述的测温结构，其特征在于，所述锁紧件包括：

锥形卡，所述锥形卡套设在所述温度检测件或者所述导管上，且所述锥形卡的小端的周面抵接于所述温度检测件或者所述导管；

锁紧螺母，所述锁紧螺母螺纹连接于所述转接卡套，且所述锁紧螺母的端面抵接于所述锥形卡的大端面。

9.根据权利要求1-3中任一项所述的测温结构，其特征在于，所述温度检测件的一端设有插头，所述插头用于连接外部测温仪。

10.热炉，其特征在于，包括炉体和如权利要求1-9中任一项所述的测温结构。

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