CN219073482U - 一种涂布机风刀装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型所提出的一种涂布机风刀装置,包括腔室和设置在腔室内一端固定在腔室后侧壁的进气格栅,所述进气格栅设置为上下两层,在下层进气格栅的间隙设置有J字型风刀导向机构,所述J字型风刀导向机构由竖向导向板和竖向导向板底部的弯折风刀开口组成,在竖向导向板的上方还设置有密封圈,所述J字型风刀导向机构设置多个,且长度不相等,按照设置长度大小成阶梯形排列设置在进气格栅间隙,所述腔室的前侧壁设置有密封盖板。该装置可最大限度将加压气体作用压力倾斜化,有效改善气体吹扫均匀性使溶质在液膜中分布均匀和一致同时保证干燥效果,避免基板表面液膜由于出风口堵塞造成干燥不彻底、不均匀污染液膜现象产生,具有非常理想的实用价值。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种涂布机风刀装置,属于太阳能电池制造技术领域的薄膜湿式涂布烘干应用技术领域。
背景技术
湿式涂布设备是利用精密机械加工所制作的涂布模头,将液膜(由溶剂和溶质组成)挤出涂覆于移动的基板上,液膜经过干燥、结晶后形成所需的干膜,通常会在湿式涂布设备中集成烘干机构-风刀,对基板表面的液膜进行预干燥,为基板进入下一个结晶工序做准备。风刀是通过鼓风机将加压热风输送至其下表面的开孔吹向基板表面,从而达到对液膜干燥的目的。
现有烘干机构的风刀开口通常采用大量的直孔或斜孔,在湿式涂布设备的涂布模头后集成风刀,风刀固定在滚轮正上方,吹气孔对向基板表面,由于风刀开口采用的是直孔或斜孔,随着基板不断向前运动,加压的热氮气(或压缩空气)只能垂直或倾斜的吹向基板表面,达到将模头涂覆的液膜中的溶剂烘干的目的,这样方法会产生以下缺点:1.由于加压气体直接或倾斜吹向基板表面时将会对液膜产生一个向下的压力,容易使液膜表面产生波纹或波动,影响溶质在液膜中分布的均匀性或一致性,进而影响结晶过程干膜形成的均匀性或一致性,造成膜层缺陷;2.如果将风压调小可以有效的降低对液膜的压力,但液膜就无法保证在短时间内达到预期的干燥效果。同时气体长时间流经风刀,气体中可能含有的杂质会对出风口进行附着,造成出风口堵塞,由于风刀内部封闭,只能用细针进行清理,风刀内部杂质无法彻底清理,当杂质累积到一定量时将对基板表面的液膜产生污染,造成膜层缺陷。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种利用多层次多孔结构以克服上述不足,避免加压气体直接吹向基板表面以解决出风口堵塞、液膜产生污染、膜层缺陷等问题的一种涂布机风刀装置。
本实用新型所提出的一种涂布机风刀装置,该风刀装置包括腔室和设置在腔室内一端固定在腔室后侧壁的进气格栅,所述进气格栅设置为上下两层,在下层进气格栅的间隙间设置有J字型风刀导向机构,所述J字型风刀导向机构由竖向导向板和竖向导向板底部的弯折风刀开口组成,在竖向导向板的上方还设置有密封圈,所述J字型风刀导向机构设置多个,且长度不相等,按照设置长度大小成阶梯形排列设置在进气格栅间隙,所述腔室的前侧壁设置有密封盖板。
所述腔室的上表面设置有鼓风机管道接口。
所述多个J字型风刀导向机构与进气格栅间隙之间还设置有堵块。
所述腔室前侧壁的边缘设置有与密封盖板盖合的密封凹槽。
所述密封盖板的上周围外侧设置有密封条,所述密封盖板的底部设置有密封片。
所述堵块与固定格栅的腔室后侧壁接触的表面之间设置有密封垫片。
所述成阶梯形排列设置在进气格栅间隙的导向机构是按照基板运动的逆向方向从低到高排列。
本实用新型所提出的一种涂布机风刀装置通过优化的风刀结构来改变加压气体的运动路径,由原来的垂直多孔改进为多层多孔,最大限度的将加压气体作用压力倾斜化,同时保证干燥效果,多层次设计能够有效地改善气体的吹扫均匀性,又能够保证不直接将作用力施加于基板表面的液膜,同时J字型风刀导向机构采用模块化的结构设计,能够在出风口堵塞的情况下快捷的拆缷、清理风刀内部杂质,操作非常方便,避免了基板表面的液膜受到较大下压力而造成液膜表面产生波纹或波动,影响溶质在液膜中分布的均匀性或一致性,同时也避免了基板表面液膜由于出风口堵塞造成的干燥不彻底或不均匀、甚至污染的现象产生,具有理想的实用价值。
附图说明
附图1为本实用新型所提出的一种涂布机风刀装置安装密封盖板的风刀结构示意图。
附图2为本实用新型所提出的一种涂布机风刀装置的J字型风刀导向机构示意图。
附图3为本实用新型所提出的一种涂布机风刀装置的J字型风刀导向机构侧面剖视图。
附图4为本实用新型所提出的一种涂布机风刀装置风刀内腔双层进气格栅结构示意图。
附图5为本实用新型所提出的一种涂布机风刀装置J字型风刀导向机构阶梯形排列设置在进气格栅间隙的结构示意图。
附图6为本实用新型所提出的一种涂布机风刀装置堵块结构示意图。
附图7为本实用新型所提出的一种涂布机风刀装置设置在腔室前侧壁的密封盖板结构示意图。
附图8为图7中密封条示意图。
附图9为图7中密封片结构示意图。
附图10为本实用新型所提出的一种涂布机风刀装置J字型风刀导向机构与基板的运动方向相对设置排列示意图。
具体实施方式
参见图1至图10,这十个图给出本实用新型所提出的种涂布机风刀装置整体结构。该风刀装置包括腔室1和设置在腔室1内一端固定的腔室后侧壁的进气格栅,所述进气格栅设置为双层,包括上层进气格栅11和下层进气格栅12,如图4所示,设置双层进气格栅可以对腔室1内的气体进行两次匀速的流动,使每个出风口的出风量保持一致;在下层进气格栅12的间隙设置有J字型风刀导向机构2,所述J字型风刀导向机构2由竖向导向板21和竖向导向板底部的弯折风刀开口22组成,在竖向导向板的上方还设置有密封圈23,所述J字型风刀导向机构2设置多个,且设置的长度不相等,按照设置长度的大小成阶梯形排列设置在下层进气格栅12间隙,通过设置长度不相等的J字型多层导向机构2对加压气体进行传输,可避免加压气体直接吹向基板表面,造成涂覆的膜层缺陷,密封圈23的作用是实现J型导向机构2与格栅12、J型风刀导向机构2与固定格栅的腔室后侧壁、格栅12与堵块5之间的密封;所述腔室的前侧壁设置有密封盖板3,所述腔室的上表面设置有鼓风机管道接口4,所述多个J型风刀导向机构2与下层进气格栅12之间均设置有堵块5,堵块5用于填充多余的格栅间隙,所述堵块5与固定格栅的腔室后侧壁接触的表面之间设置有密封垫片,密封垫片6黏附于堵块5与固定格栅的腔室后侧壁接触的表面,实现面密封,如图6所示。
所述腔室的前侧壁边缘设置有与密封盖板3盖合的密封凹槽13,所述密封盖板3的上周围外侧设置有密封条31,密封盖板3的底部设置有密封片32,如图7—图9所示,密封盖板3的密封实现方式,采用密封条31和密封片32的结合,安装完J型导向机构后,安装密封盖板3进行固定。
本实用新型通过格栅间隙可将J字型风刀导向机构2和堵块5依次插入到腔室内部,J字型风刀导向机构2采用模块的形式,拆卸时,直接打开密封盖板取下J字型风刀导向机构,可直接拔出,方便清理,采用密封圈23和密封垫片6可实现各接触面的密封,J字型风刀导向机构2成阶梯形排列设置在进气格栅12间隙的顺序是按照基板运动的逆向方向从低到高的顺序排列,从而可避免加压气体直接吹向基板表面,避免了基板表面的液膜受到较大向下的压力而造成液膜表面产生波纹或波动,影响溶质在液膜中分布的均匀性或一致性;由原来的垂直多孔改进为多层次的弯折多孔,可最大限度的将加压气体作用压力倾斜化,同时保证干燥的效果,多层次风刀开口设计能够有效地改善气体的吹扫均匀性,又能够保证不直接将作用力施加于基板表面的液膜,同时也避免了基板表面液膜由于出风口堵塞造成的干燥不彻底或不均匀、甚至污染的现象产生,具有非常理想的实用价值。
需要说明的是,以上所述的实施例仅仅是对本实用新型的优选实施方式进行描述,并非对本实用新型的范围进行限定,在不脱离本实用新型设计精神的前提下,本领域普通技术人员对本实用新型的技术方案做出的各种变形和改进,均应落入本实用新型权利要求书确定的保护范围内。
Claims (7)
1.一种涂布机风刀装置,其特征在于:该风刀装置包括腔室和设置在腔室内一端固定在腔室后侧壁的进气格栅,所述进气格栅设置为上下两层,在下层进气格栅的间隙间设置有J字型风刀导向机构,所述J字型风刀导向机构由竖向导向板和竖向导向板底部的弯折风刀开口组成,在竖向导向板的上方还设置有密封圈,所述J字型风刀导向机构设置多个,且长度不相等,按照设置长度大小成阶梯形排列设置在进气格栅间隙,所述腔室的前侧壁设置有密封盖板。
2.根据权利要求1所述的一种涂布机风刀装置,其特征在于:所述腔室的上表面设置有鼓风机管道接口。
3.根据权利要求1所述的一种涂布机风刀装置,其特征在于:所述多个J字型风刀导向机构与进气格栅间隙之间还设置有堵块。
4.根据权利要求1所述的一种涂布机风刀装置,其特征在于:所述腔室前侧壁的边缘设置有与密封盖板盖合的密封凹槽。
5.根据权利要求1所述的一种涂布机风刀装置,其特征在于:所述密封盖板的上周围外侧设置有密封条,所述密封盖板的底部设置有密封片。
6.根据权利要求3所述的一种涂布机风刀装置,其特征在于:所述堵块与固定格栅的腔室后侧壁接触的表面之间设置有密封垫片。
7.根据权利要求1所述的一种涂布机风刀装置,其特征在于:所述成阶梯形排列设置在进气格栅间隙的导向机构是按照基板运动的逆向方向从低到高排列。
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