CN219034975U - 一种导流泵 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及半导体制造技术领域，特别涉及一种导流泵。本实用新型提供的导流泵，将活塞组件向背离吸水口的方向移动时，溶液在负压的作用下，会随着活塞组件的移动进入吸水管内，由于翻盖组件设置在所述吸水腔内，且翻盖组件可自由翻转地设置在所述吸水口上，因此溶液会冲开翻盖组件，并由吸水口进入吸水腔内，当吸水腔内的溶液液面到达排水口的位置后，部分溶液会由排水口排出，此时再将活塞组件朝向吸水口的方向移动，翻盖组件覆盖吸水口，吸水腔内剩下的溶液受到活塞组件的挤压，也由排水口排出，这样一来，通过活塞组件的移动，便可将溶液抽取到吸水腔中，并由排水口排出，从而避免人工倾倒溶液，保障了操作人员的安全。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体制造技术领域，特别涉及一种导流泵。
背景技术
在半导体制造领域，会常常使用一些危险的化学溶液进行生产。相关技术中，这些化学溶液会储存在大桶中，当需要使用这些化学溶液时，需操作人员手动将其倒出，但这样会对操作人员造成一定的安全隐患。
实用新型内容
本申请提供了一种导流泵，解决了相关技术中当需要使用化学溶液时，需操作人员手动将化学溶液从桶中倒出，对操作人员造成一定的安全隐患的技术问题。
本申请提供了一种导流泵，包括：
主体，内设有吸水腔，所述吸水腔的一端设有吸水口，且所述吸水腔的侧壁上设有排水口；
翻盖组件，设置在所述吸水腔内，且可自由翻转地设置在所述吸水口上；
活塞组件，活动设置在所述吸水腔中，且所述活塞组件的周面与所述吸水腔的内壁相接，所述活塞组件与所述吸水口相对设置；
吸水管，一端与所述吸水口相连，另一端用于吸取待抽取的溶液；
其中，当所述活塞组件向背离所述吸水口的方向移动时，所述溶液在负压的作用下冲开所述翻盖组件，由所述吸水口进入所述吸水腔内，部分所述溶液由所述排水口排出；当所述活塞组件朝向所述吸水口的方向移动时，所述翻盖组件覆盖所述吸水口，所述吸水腔内剩下的溶液由所述排水口排出。
在一些实施方式中，所述导流泵还包括驱动组件，所述驱动组件设置在所述主体背离所述吸水口的一侧，所述驱动组件包括驱动件和传动件，所述驱动件与所述传动件传动连接，所述传动件与所述活塞组件传动连接，所述驱动件可通过所述传动件带动所述活塞组件朝向或背离所述吸水口的方向移动。
在一些实施方式中，所述活塞组件包括连接杆和活塞，所述活塞的周面与所述吸水腔的内壁相接，且所述部分活塞为弹性材料；所述传动件包括传动部和转动部，5所述传动部与所述驱动件传动连接，所述连接杆与所述转动部连接，所述驱动件可通过所述传动部带动所述转动部转动，所述转动部带动所述连接杆转动，以使所述活塞可朝向或背离所述吸水口的方向移动。
在一些实施方式中，所述驱动件为驱动转盘，所述传动部为传动轴，所述转动部为传动转盘。
0在一些实施方式中，所述连接杆与所述转动部的边缘相连。
在一些实施方式中，所述导流泵还包括摇杆，所述摇杆与所述驱动件相连。
在一些实施方式中，所述主体上还设有盖罩，所述转动部和所述连接杆设置在所述盖罩中，所述传动部穿设于所述盖罩中。
在一些实施方式中，所述导流泵还包括导向管，所述导向管穿设于所述吸水口5中，所述翻盖组件可自由翻转地设置在所述导向管的一端，所述吸水管套接于所述导向管的另一端。
在一些实施方式中，所述翻盖组件包括支座和翻盖，所述支座设置在所述吸水腔的底壁上，所述翻盖铰接于所述支座上，且所述翻盖设置在所述导向管的一端。
在一些实施方式中，所述排水口设置在靠近所述吸水口的一侧。
0本申请有益效果如下：
本申请提供的导流泵，在抽取溶液时，可将吸水管伸入溶液中，并将活塞组件向背离吸水口的方向移动，此时溶液在负压的作用下，会随着活塞组件的移动进入吸水管内，由于翻盖组件设置在所述吸水腔内，且翻盖组件可自由翻转地设置在所
述吸水口上，因此溶液会冲开翻盖组件，并由吸水口进入吸水腔内，当吸水腔内的5溶液液面到达排水口的位置后，部分溶液会由排水口排出，此时再将活塞组件朝向吸水口的方向移动，溶液停止进入吸水管，翻盖组件覆盖吸水口，吸水腔内剩下的溶液受到活塞组件的挤压，也由排水口排出，这样一来，通过活塞组件的移动，便可将溶液抽取到吸水腔中，并由排水口排出，从而避免人工倾倒溶液，保障了操作人员的安全。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例。
图1为本实施例提供的导流泵的结构示意图；
图2为图1的剖视图。
附图标记说明：
100-主体，110-吸水腔，130-排水口，140-排水管，200-翻盖组件，210-翻盖，220-支座，300-活塞组件，310-活塞，320-连接杆，400-吸水管，500-驱动组件，510-驱动件，520-传动件，521-传动部，522-转动部，600-盖罩，700-摇杆，800-导向管。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
本申请实施例提供了一种导流泵，用于抽取化学溶液并排出，从而避免人工倾倒溶液，保障了操作人员的安全。结合图1及图2，该导流泵包括主体100、翻盖组件200、活塞组件300以及吸水管400。
主体100内设有吸水腔110，吸水腔110的一端设有吸水口，且吸水腔110的侧壁上设有排水口130，吸水管400的一端与吸水口相连，另一端可伸入待抽取的溶液中，以吸取待抽取的溶液，翻盖组件200设置在吸水腔110内，且翻盖组件200可自由翻转地设置在吸水口上，活塞组件300活动设置在吸水腔110中，活塞组件300与吸水口相对设置，且活塞组件300的周面与吸水腔110的内壁相接。
其中，当活塞组件300向背离吸水口的方向移动时，溶液在负压的作用下，会随着活塞组件300的移动进入吸水管400内，由于翻盖组件200设置在所述吸水腔110内，且翻盖组件200可自由翻转地设置在所述吸水口上，因此溶液可冲开翻盖组件200，并由吸水口进入吸水腔110内，当吸水腔110内的溶液液面到达排水口130的位置后，部分溶液会由排水口130排出；当活塞组件300朝向吸水口的方向移动时，溶液停止进入吸水管400，翻盖组件200覆盖吸水口，吸水腔110内剩下的溶液受到活塞组件300的挤压，也由排水口130排出，这样一来，通过活塞组件300的移动，便可将溶液抽取到吸水腔110中，并由排水口130排出，从而避免人工倾倒溶液，保障了操作人员的安全。
具体地，在抽取溶液时，为使吸水腔110内的溶液液面尽快达到排水口130处，从而使溶液快速排出，排水口130可设置在靠近吸水口的一侧，且为使由排水口130排出的溶液可方便注入目的处，排水口130上连通设置有排水管140。
进一步地，导流泵还包括驱动组件500，驱动组件500用于驱动活塞组件300在吸水腔110内移动。具体地，驱动组件500设置在主体100背离吸水口的一侧，驱动组件500包括驱动件510和传动件520，驱动件510与传动件520传动连接，传动件520与活塞组件300传动连接，从而驱动件510可通过传动件520带动活塞组件300朝向或背离吸水口的方向移动。
进一步地，活塞组件300包括连接杆320和活塞310，连接杆320与活塞310的中部相连，活塞310的周面与吸水腔110的内壁相接。传动件520包括传动部521和转动部522，传动部521与驱动件510传动连接，驱动件510可驱动传动部521转动，连接杆320与转动部522连接，从而连接杆320可随着转动部522转动，进而连接杆320带动活塞310朝向或背离吸水口的方向移动。
驱动件510可以为驱动转盘，传动部521可以为传动轴，转动部522可以为传动转盘，传动轴的一端与驱动转盘传动连接，另一端与传动转盘传动连接，从而驱动转盘转动，便可带动传动转盘转动，连接杆320传动转盘的表面相连，从而可随传动转盘转动。具体地，连接杆320可与转动部522的边缘相连。
为保护转动部522和连接杆320，主体100上还设有盖罩600，转动部522和连接杆320设置在盖罩600中，传动部521穿设于盖罩600中，盖罩600与主体100可通过螺栓连接。
需要说明的是，活塞310与连接杆320均可为耐腐蚀的软PP材质，这样一来，连接杆320在转动过程中，活塞310可发生一定弹性变形以适应吸水腔110的侧壁。
进一步的，驱动转盘可通过电驱动，如电机，也可以通过人工转动。具体到本实施例中，可人为转动驱动转盘，为方便操作人员操作，导流泵还包括摇杆700，摇杆700与驱动件510相连，从而转动摇杆700，即可使驱动件510转动。
进一步的，导流泵还包括导向管800，导向管800穿设于吸水口中，翻盖组件200可自由翻转地设置在导向管800的一端，吸水管400套接于导向管800的另一端，从而使吸水管400与吸水口连通。
具体地，翻盖组件200包括支座220和翻盖210，支座220设置在吸水腔110的底壁上，翻盖210铰接于支座220上，从而可自由翻转，且翻盖210设置在导向管800的一端，从而可通过翻转打开或关闭吸水口与吸水腔110之间的通道。
本申请实施例提供的导流泵，在抽取溶液时，可将吸水管400伸入溶液中，并将活塞组件300向背离吸水口的方向移动，此时溶液在负压的作用下，会随着活塞组件300的移动进入吸水管400内，由于翻盖组件200设置在所述吸水腔110内，且翻盖组件200可自由翻转地设置在所述吸水口上，因此溶液会冲开翻盖组件200，并由吸水口进入吸水腔110内，当吸水腔110内的溶液液面到达排水口130的位置后，部分溶液会由排水口130排出，此时再将活塞组件300朝向吸水口的方向移动，溶液停止进入吸水管400，翻盖组件200覆盖吸水口，吸水腔110内剩下的溶液受到活塞组件300的挤压，也由排水口130排出，这样一来，通过活塞组件300的移动，便可将溶液抽取到吸水腔110中，并由排水口130排出，从而避免人工倾倒溶液，保障了操作人员的安全。
尽管已描述了本实用新型的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例作出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本实用新型范围的所有变更和修改。
显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
Claims (10)
1.一种导流泵，其特征在于，包括：
主体，内设有吸水腔，所述吸水腔的一端设有吸水口，且所述吸水腔的侧壁上设有排水口；
翻盖组件，设置在所述吸水腔内，且可自由翻转地设置在所述吸水口上；
活塞组件，活动设置在所述吸水腔中，且所述活塞组件的周面与所述吸水腔的内壁相接，所述活塞组件与所述吸水口相对设置；
吸水管，一端与所述吸水口相连，另一端用于吸取待抽取的溶液；
其中，当所述活塞组件向背离所述吸水口的方向移动时，所述溶液在负压的作用下冲开所述翻盖组件，由所述吸水口进入所述吸水腔内，部分所述溶液由所述排水口排出；当所述活塞组件朝向所述吸水口的方向移动时，所述翻盖组件覆盖所述吸水口，所述吸水腔内剩下的溶液由所述排水口排出。
2.如权利要求1所述的导流泵，其特征在于，所述导流泵还包括驱动组件，所述驱动组件设置在所述主体背离所述吸水口的一侧，所述驱动组件包括驱动件和传动件，所述驱动件与所述传动件传动连接，所述传动件与所述活塞组件传动连接，所述驱动件可通过所述传动件带动所述活塞组件朝向或背离所述吸水口的方向移动。
3.如权利要求2所述的导流泵，其特征在于，所述活塞组件包括连接杆和活塞，所述活塞的周面与所述吸水腔的内壁相接，且部分所述活塞为弹性材料；所述传动件包括传动部和转动部，所述传动部与所述驱动件传动连接，所述连接杆与所述转动部连接，所述驱动件可通过所述传动部带动所述转动部转动，所述转动部带动所述连接杆转动，以使所述活塞可朝向或背离所述吸水口的方向移动。
4.如权利要求3所述的导流泵，其特征在于，所述驱动件为驱动转盘，所述传动部为传动轴，所述转动部为传动转盘。
5.如权利要求4所述的导流泵，其特征在于，所述连接杆与所述转动部的边缘相连。
6.如权利要求4所述的导流泵，其特征在于，所述导流泵还包括摇杆，所述摇杆与所述驱动件相连。
7.如权利要求4所述的导流泵，其特征在于，所述主体上还设有盖罩，所述转动部和所述连接杆设置在所述盖罩中，所述传动部穿设于所述盖罩中。
8.如权利要求1所述的导流泵，其特征在于，所述导流泵还包括导向管，所述导向管穿设于所述吸水口中，所述翻盖组件可自由翻转地设置在所述导向管的一端，所述吸水管套接于所述导向管的另一端。
9.如权利要求8所述的导流泵，其特征在于，所述翻盖组件包括支座和翻盖，所述支座设置在所述吸水腔的底壁上，所述翻盖铰接于所述支座上，且所述翻盖设置在所述导向管的一端。
10.如权利要求1-9任一项所述的导流泵，其特征在于，所述排水口设置在靠近所述吸水口的一侧。
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