CN218983580U - 一种用于硅片背面激光开槽线精准对应的装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于硅片背面激光开槽线精准对应的装置，涉及硅片激光开槽领域，包括底板、顶板和激光开槽器，顶板横向设置在底板的上方，且顶板的下侧左右两端均通过支撑板与底板固定连接，底板的表面设置有夹持机构，顶板的下侧设置有移动机构，且顶板的下侧通过移动机构安装有移动板，激光开槽器固定设置在移动板的下侧，移动板的下侧右端固定设置有竖直设置的圆杆，圆杆的杆壁下方活动套设有圆筒，圆筒的外侧上方滑动套设有限位套筒，限位套筒的上侧壁通过第一轴承与圆杆转动连接。本实用新型便于将激光开槽器与硅片背面的开槽线对齐，便于使用激光开槽器对硅片背面进行开槽，提高生产效率和生产质量。

Description

一种用于硅片背面激光开槽线精准对应的装置

技术领域

本实用新型涉及硅片激光开槽领域，特别涉及一种用于硅片背面激光开槽线精准对应的装置。

背景技术

地壳中含量达25.8％的硅元素，为单晶硅的生产提供了取之不尽的源泉，由于硅元素是地壳中储量最丰富的元素之一，对太阳能电池这样注定要进入大规模市场的产品而言，储量的优势也是硅成为光伏主要材料的原因之一，硅片制成的芯片是有名的“神算子”，有着惊人的运算能力，无论多么复杂的数学问题、物理问题和工程问题，也无论计算的工作量有多大，工作人员只要通过计算机键盘把问题告诉它，并下达解题的思路和指令，计算机就能在极短的时间内把答案告诉你，这样，那些人工计算需要花费数年、数十年时间的问题，计算机可能只需要几分钟就可以解决。甚至有些人力无法计算出结果的问题，计算机也能很快告诉你答案。

目前，采用硅片进行芯片制作时，一般需要采用激光器对硅片的背面进行开槽，而在开槽时，需要将激光器的发射端与硅片背面的开槽线对齐，但是，现有技术中，在进行对齐时，一般通过人工慢慢调试才能对齐，工作效率低，且误差较大，影响生产效率和生产质量，因此提出一种用于硅片背面激光开槽线精准对应的装置。

因此，发明一种用于硅片背面激光开槽线精准对应的装置来解决上述问题很有必要。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于硅片背面激光开槽线精准对应的装置，以解决上述背景技术中提出的将激光器的发射端与硅片背面的开槽线对齐时，一般通过人工慢慢调试才能对齐，工作效率低，且误差较大，影响生产效率和生产质量的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于硅片背面激光开槽线精准对应的装置，包括底板、顶板和激光开槽器，所述顶板横向设置在底板的上方，且顶板的下侧左右两端均通过支撑板与底板固定连接，所述底板的表面设置有夹持机构，所述顶板的下侧设置有移动机构，且顶板的下侧通过移动机构安装有移动板，所述激光开槽器固定设置在移动板的下侧，所述移动板的下侧右端固定设置有竖直设置的圆杆，所述圆杆的杆壁下方活动套设有圆筒，所述圆筒的外侧上方滑动套设有限位套筒，所述限位套筒的上侧壁通过第一轴承与圆杆转动连接，所述圆筒和限位套筒之间还设置有弹性机构，所述圆筒的左右两侧下方分别固定设置有第一横板和第二横板，所述第一横板的表面开设有与激光开槽器竖直对齐的开槽孔，所述第二横板的下侧固定设置有标记激光灯，所述开槽孔与标记激光灯关于圆杆左右对称，所述圆杆的下端设置有对圆筒定位的定位机构。

优选的，所述弹性机构包括弹簧，所述弹簧固定设置在圆筒的上端并与圆杆活动套设，所述弹簧的上端与限位套筒的上内侧壁固定连接。

优选的，所述限位套筒的内侧壁开设有两个左右对称分布的限位滑槽，两个所述限位滑槽的内部均滑动设置有限位滑块，两个所述限位滑块均与圆筒的外圆侧壁上端固定连接。

优选的，所述圆筒的前侧两个外侧壁下方均固定设置有手持杆，两个所述手持杆前后对称分布。

优选的，所述定位机构包括圆板和两个定位块，所述圆板固定设置在圆杆的下端，两个所述定位块均固定设置在圆板的上表面并前后对称分布，所述圆筒的下端开设有两个前后对称分布的定位槽，两个所述定位块可分别滑动插入两个定位槽中。

优选的，所述移动机构包括电动滑轨和电动滑块，所述电动滑轨横向固定设置在顶板的下侧，所述电动滑块滑动设置在电动滑轨的下侧，所述移动板固定设置在电动滑块的下端。

优选的，所述夹持机构包括两个夹持板、两个移动块及双向螺纹杆，所述底板的上表面开设有横向设置的移动槽，两个所述移动块均滑动设置在移动槽中并左右对称分布，两个所述夹持板分别固定设置在两个移动块的上端，所述双向螺纹杆横向设置在移动槽中，两个所述移动块分别与双向螺纹杆的杆壁两端螺纹连接，所述双向螺纹杆的左右两端均通过第二轴承分别与移动槽的左右两侧转动连接，且双向螺纹杆的右端延伸至底板的外部并固定连接有旋钮。

本实用新型的技术效果和优点：

1、在需要将激光开槽器的发射端与硅片背面的开槽线对齐时，将硅片背面朝上并放置在底板上进行固定，将圆筒向上提起并进行转动，圆筒带动第一横板和第二横板转动，第一横板和第二横板转动，第二横板带动标记激光灯转动至激光开槽器的正下方并与激光开槽器竖直对齐，通过电动滑轨和电动滑块带动移动板和激光开槽器移动，移动板通过圆杆带动第一横板、第二横板和标记激光灯移动，能够使标记激光灯移动至与硅片背面的开槽线对齐，停止移动，再将圆筒向上提起并转动180度，从而能够将第一横板和第二横板位置对调，使第一横板上的开槽孔与激光开槽器竖直对齐，便于使用激光开槽器对硅片背面进行开槽，提高生产效率和生产质量。

附图说明

图1为本实用新型的正面剖面结构示意图；

图2为本实用新型的圆杆、圆筒和限位套筒的连接结构示意图；

图3为本实用新型的圆筒的立体结构示意图；

图4为本实用新型的圆板的俯视结构示意图；

图5为本实用新型的夹持机构的结构示意图。

图中：1、底板；2、顶板；3、激光开槽器；4、支撑板；5、移动板；6、圆杆；7、圆筒；8、限位套筒；9、第一横板；10、第二横板；11、标记激光灯；12、弹簧；13、限位滑块；14、手持杆；15、圆板；16、定位块；17、电动滑轨；18、电动滑块；19、夹持板；20、移动块；21、双向螺纹杆；22、旋钮。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型提供了如图1-5所示的一种用于硅片背面激光开槽线精准对应的装置，包括底板1、顶板2和激光开槽器3，顶板2横向设置在底板1的上方，且顶板2的下侧左右两端均通过支撑板4与底板1固定连接，底板1的表面设置有夹持机构，顶板2的下侧设置有移动机构，且顶板2的下侧通过移动机构安装有移动板5，激光开槽器3固定设置在移动板5的下侧，移动板5的下侧右端固定设置有竖直设置的圆杆6，圆杆6的杆壁下方活动套设有圆筒7，圆筒7的外侧上方滑动套设有限位套筒8，限位套筒8的上侧壁通过第一轴承与圆杆6转动连接，圆筒7和限位套筒8之间还设置有弹性机构，圆筒7的左右两侧下方分别固定设置有第一横板9和第二横板10，第一横板9的表面开设有与激光开槽器3竖直对齐的开槽孔，第二横板10的下侧固定设置有标记激光灯11，开槽孔与标记激光灯11关于圆杆6左右对称，圆杆6的下端设置有对圆筒7定位的定位机构。

如图2示，弹性机构包括弹簧12，弹簧12固定设置在圆筒7的上端并与圆杆6活动套设，弹簧12的上端与限位套筒8的上内侧壁固定连接。

如图2示，限位套筒8的内侧壁开设有两个左右对称分布的限位滑槽，两个限位滑槽的内部均滑动设置有限位滑块13，两个限位滑块13均与圆筒7的外圆侧壁上端固定连接，能够对圆筒7在限位套筒8内部竖直滑动进行导向，使圆筒7竖直滑动时更加稳定。

如图1和图3示，圆筒7的前侧两个外侧壁下方均固定设置有手持杆14，两个手持杆14前后对称分布，便于人们通过手持杆14将圆筒7向上提起。

如图2-图4示，定位机构包括圆板15和两个定位块16，圆板15固定设置在圆杆6的下端，两个定位块16均固定设置在圆板15的上表面并前后对称分布，圆筒7的下端开设有两个前后对称分布的定位槽，两个定位块16可分别滑动插入两个定位槽中。

在需要将圆筒7进行转动时，需要将圆筒7向上提起，使圆筒7下侧的两个定位槽与两个定位块16分离，才能对圆筒7进行转动，当转动完毕后，通过设置的弹簧12能够对圆筒7施加向下的弹力，使圆筒7向下移动，使圆筒7下端的两个定位槽与两个定位块16卡合，从而能够对圆筒7进行定位，避免在圆筒7自由转动。

如图1示，移动机构包括电动滑轨17和电动滑块18，电动滑轨17横向固定设置在顶板2的下侧，电动滑块18滑动设置在电动滑轨17的下侧，移动板5固定设置在电动滑块18的下端，便于带动激光开槽器3和圆杆6进行移动。

如图1和图5示，夹持机构包括两个夹持板19、两个移动块20及双向螺纹杆21，底板1的上表面开设有横向设置的移动槽，两个移动块20均滑动设置在移动槽中并左右对称分布，两个夹持板19分别固定设置在两个移动块20的上端，双向螺纹杆21横向设置在移动槽中，两个移动块20分别与双向螺纹杆21的杆壁两端螺纹连接，双向螺纹杆21的左右两端均通过第二轴承分别与移动槽的左右两侧转动连接，且双向螺纹杆21的右端延伸至底板1的外部并固定连接有旋钮22，将硅片背面朝上并放置在底板1上，转动旋钮22能够带动双向螺纹杆21转动，双向螺纹杆21转动带动两个移动块20相对移动，两个移动块20带动两个夹持板19相对移动，从而能够对硅片进行夹持固定。

本实用新型工作原理：

在需要将激光开槽器3的发射端与硅片背面的开槽线对齐时，将硅片背面朝上并放置在底板1上进行固定，将圆筒7向上提起并进行转动，圆筒7带动第一横板9和第二横板10转动，第一横板9和第二横板10转动，第二横板10带动标记激光灯11转动至激光开槽器3的正下方并与激光开槽器3竖直对齐，通过电动滑轨17和电动滑块18带动移动板5和激光开槽器3移动，移动板5通过圆杆6带动第一横板9、第二横板10和标记激光灯11移动，能够使标记激光灯11移动至与硅片背面的开槽线对齐，停止移动，再将圆筒7向上提起并转动180度，从而能够将第一横板9和第二横板10位置对调，使第一横板9上的开槽孔与激光开槽器3竖直对齐，便于使用激光开槽器3对硅片背面进行开槽，提高生产效率和生产质量。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种用于硅片背面激光开槽线精准对应的装置，其特征在于：包括底板(1)、顶板(2)和激光开槽器(3)，所述顶板(2)横向设置在底板(1)的上方，且顶板(2)的下侧左右两端均通过支撑板(4)与底板(1)固定连接，所述底板(1)的表面设置有夹持机构，所述顶板(2)的下侧设置有移动机构，且顶板(2)的下侧通过移动机构安装有移动板(5)，所述激光开槽器(3)固定设置在移动板(5)的下侧，所述移动板(5)的下侧右端固定设置有竖直设置的圆杆(6)，所述圆杆(6)的杆壁下方活动套设有圆筒(7)，所述圆筒(7)的外侧上方滑动套设有限位套筒(8)，所述限位套筒(8)的上侧壁通过第一轴承与圆杆(6)转动连接，所述圆筒(7)和限位套筒(8)之间还设置有弹性机构，所述圆筒(7)的左右两侧下方分别固定设置有第一横板(9)和第二横板(10)，所述第一横板(9)的表面开设有与激光开槽器(3)竖直对齐的开槽孔，所述第二横板(10)的下侧固定设置有标记激光灯(11)，所述开槽孔与标记激光灯(11)关于圆杆(6)左右对称，所述圆杆(6)的下端设置有对圆筒(7)定位的定位机构。

2.根据权利要求1所述的一种用于硅片背面激光开槽线精准对应的装置，其特征在于：所述弹性机构包括弹簧(12)，所述弹簧(12)固定设置在圆筒(7)的上端并与圆杆(6)活动套设，所述弹簧(12)的上端与限位套筒(8)的上内侧壁固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种用于硅片背面激光开槽线精准对应的装置，其特征在于：所述限位套筒(8)的内侧壁开设有两个左右对称分布的限位滑槽，两个所述限位滑槽的内部均滑动设置有限位滑块(13)，两个所述限位滑块(13)均与圆筒(7)的外圆侧壁上端固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种用于硅片背面激光开槽线精准对应的装置，其特征在于：所述圆筒(7)的前侧两个外侧壁下方均固定设置有手持杆(14)，两个所述手持杆(14)前后对称分布。

5.根据权利要求4所述的一种用于硅片背面激光开槽线精准对应的装置，其特征在于：所述定位机构包括圆板(15)和两个定位块(16)，所述圆板(15)固定设置在圆杆(6)的下端，两个所述定位块(16)均固定设置在圆板(15)的上表面并前后对称分布，所述圆筒(7)的下端开设有两个前后对称分布的定位槽，两个所述定位块(16)可分别滑动插入两个定位槽中。

6.根据权利要求5所述的一种用于硅片背面激光开槽线精准对应的装置，其特征在于：所述移动机构包括电动滑轨(17)和电动滑块(18)，所述电动滑轨(17)横向固定设置在顶板(2)的下侧，所述电动滑块(18)滑动设置在电动滑轨(17)的下侧，所述移动板(5)固定设置在电动滑块(18)的下端。

7.根据权利要求6所述的一种用于硅片背面激光开槽线精准对应的装置，其特征在于：所述夹持机构包括两个夹持板(19)、两个移动块(20)及双向螺纹杆(21)，所述底板(1)的上表面开设有横向设置的移动槽，两个所述移动块(20)均滑动设置在移动槽中并左右对称分布，两个所述夹持板(19)分别固定设置在两个移动块(20)的上端，所述双向螺纹杆(21)横向设置在移动槽中，两个所述移动块(20)分别与双向螺纹杆(21)的杆壁两端螺纹连接，所述双向螺纹杆(21)的左右两端均通过第二轴承分别与移动槽的左右两侧转动连接，且双向螺纹杆(21)的右端延伸至底板(1)的外部并固定连接有旋钮(22)。

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