CN218971418U - 一种涡旋盘及真空泵 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及真空泵领域,具体是一种涡旋盘及真空泵,包括彼此配合安装的静涡旋盘以及动涡旋盘,静涡旋盘的轮廓曲线包括依次连接的第一内涡旋型线、第一齿端修正型线以及第一外涡旋型线;动涡旋盘的轮廓曲线包括依次连接第二内涡旋型线、第二齿端修正型线以及第二外涡旋型线;所述第一内涡旋型线与第二外涡旋型线啮合,第一外涡旋型线与第二内涡旋型线啮合,第一齿端修正型线与第二齿端修正型线啮合;本实用新型通过对静涡旋盘和动涡旋盘型线的合理优化,保证了涡旋真空泵工作抽气时无余隙产生,大幅提高了真空泵的抽气真空度,同时降低了型线的加工难度。
Description
技术领域
本实用新型涉及真空泵领域,具体是一种涡旋盘及真空泵。
背景技术
涡旋真空泵是目前一种较为新颖的干式真空泵,因其无油清洁、抽速范围宽、能耗低、结构简单易于维护、工作可靠性高寿命长等诸多优点,已被广泛应用于半导体、科学仪器、机械设备、医疗设备等行业。
涡旋真空泵的工作腔如专利CN103133346A所示,由一对涡旋盘副构成,即一个静涡旋盘和一个动涡旋盘。动涡旋盘作偏心安装,静涡旋盘与动涡旋盘围合形成月牙形腔体,随着动涡旋盘转动,月牙形腔体不断向里旋转压缩,最后从中间排出至出气口。动涡旋盘连续运转,气体不断从进气口进入,由出气口排出,从而形成真空。受动涡旋盘和静涡旋盘的型线设计影响,涡旋真空泵工作抽气时存在较大余隙,影响真空泵的抽气真空度,因此亟待解决。
发明内容
为了避免和克服现有技术中存在的技术问题,本实用新型提供了一种涡旋盘及真空泵。本实用新型通过对动涡旋盘和静涡旋盘型线的优化,大幅提高了真空泵的抽气真空度。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
一种涡旋盘,包括彼此配合安装的静涡旋盘以及动涡旋盘,静涡旋盘的轮廓曲线包括依次连接的第一内涡旋型线、第一齿端修正型线以及第一外涡旋型线;动涡旋盘的轮廓曲线包括依次连接第二内涡旋型线、第二齿端修正型线以及第二外涡旋型线;所述第一内涡旋型线与第二外涡旋型线啮合,第一外涡旋型线与第二内涡旋型线啮合,第一齿端修正型线与第二齿端修正型线啮合;
第一内涡旋型线、第一外涡旋型线、第二内涡旋型线以及第二外涡旋型线均为圆的渐开线,第一齿端修正型线以及第二齿端修正型线为圆弧线;所述第一齿端修正型线的两端分别与第一内涡旋型线以及第一外涡旋型线相切,第二齿端修正型线的两端分别与第二内涡旋型线以及第二外涡旋型线相切。
作为本实用新型进一步的方案:以涡旋盘的排气口为圆心建立直角坐标系,第一外涡旋型线的型线方程如下:
X1=15.35/2π×cos(t1-3.5×π/15.35+π/2)+t1×15.35/2π×sin(t1-3.5×π/15.35+π/2)
Y1=15.35/2π×sin(t1-3.5×π/15.35+π/2)-t1×15.35/2π×cos(t1-3.5×π/15.35+π/2)
其中,X1为第一外涡旋型线的型线横坐标;
Y1为第一外涡旋型线的型线纵坐标;
t1∈[0,50],t1为第一外涡旋型线的展角;
第一内涡旋型线的型线方程如下:
X2=15.35/2π×cos(t2+3.5×π/15.35+π/2)+t2×15.35/2π×sin(t2+3.5×π/15.35+π/2)
Y2=15.35/2π×sin(t2+3.5×π/15.35+π/2)-t2×15.35/2π×cos(t2+3.5×π/15.35+π/2)
其中,X2为第一内涡旋型线的型线横坐标;
Y2为第一内涡旋型线的型线纵坐标;
t2∈[0,50],t2为第一内涡旋型线的展角;
第一齿端修正型线的型线方程如下:
X3=-3.32+5.925×cosβ1
Y3=-7.63+5.925×sinβ1
其中,X3为第一齿端修正型线的型线横坐标;
Y3为第一齿端修正型线的型线纵坐标;
β1∈[-1.683,1.459],β1为第一齿端修正型线的起止角度;
第二外涡旋型线的型线方程如下:
X4=-[15.35/2π×cos(t3-3.5×π/15.35+π/2)+t3×15.35/2π×sin(t3-3.5×π/15.35+π/2)]
Y4=15.35/2π×sin(t3-3.5×π/15.35+π/2)-t3×15.35/2π×cos(t3-3.5×π/15.35+π/2)
其中,X4为第二外涡旋型线的型线横坐标;
Y4为第二外涡旋型线的型线纵坐标;
t3∈[0,50],t3为第二外涡旋型线的展角;
第二内涡旋型线的型线方程如下:
X5=-[15.35/2π×cos(t4+3.5×π/15.35+π/2)+t4×15.35/2π×sin(t4+3.5×π/15.35+π/2)]
Y5=15.35/2π×sin(t4+3.5×π/15.35+π/2)-t4×15.35/2π×cos(t4+3.5×π/15.35+π/2)
其中,X5为第二内涡旋型线的型线横坐标;
Y5为第二内涡旋型线的型线纵坐标;
t4∈[0,50],t4为第二内涡旋型线的展角;
第二齿端修正型线的型线方程如下:
X6=--2.1+1.75×cosβ2
Y6=-3.76+1.75×sinβ2
其中,X6为第二齿端修正型线的型线横坐标;
Y6为第二齿端修正型线的型线纵坐标;
β2∈[-1.692,1.351],β2为第二齿端修正型线的起止角度。
一种真空泵,具有所述的一种涡旋盘。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
1、本实用新型通过对静涡旋盘和动涡旋盘型线的合理优化,保证了涡旋真空泵工作抽气时无余隙产生,大幅提高了真空泵的抽气真空度,同时降低了型线的加工难度。
附图说明
图1为本实用新型中涡旋盘的结构示意图。
图2为本实用新型中静涡旋盘的结构示意图。
图3为本实用新型中动涡旋盘的结构示意图。
图中:
1、静涡旋盘;11、第一内涡旋型线;
12、第一外涡旋型线;13、第一齿端修正型线;
2、动涡旋盘;21、第二内涡旋型线;
22、第二外涡旋型线;23、第二齿端修正型线;
3、排气口。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1~3,本实用新型实施例中,一种涡旋盘及真空泵,包括静涡旋盘1以及偏心安装的动涡旋盘2,静涡旋盘1的轮廓曲线包括依次连接的第一内涡旋型线11、第一齿端修正型线13以及第一外涡旋型线12;动涡旋盘2的轮廓曲线包括依次连接第二内涡旋型线21、第二齿端修正型线23以及第二外涡旋型线22。
以涡旋盘的排气口3为圆心建立直角坐标系,第一外涡旋型线12的型线方程如下:
X1=15.35/2π×cos(t1-3.5×π/15.35+π/2)+t1×15.35/2π×sin(t1-3.5×π/15.35+π/2)
Y1=15.35/2π×sin(t1-3.5×π/15.35+π/2)-t1×15.35/2π×cos(t1-3.5×π/15.35+π/2)
其中,X1为第一外涡旋型线12的型线横坐标;
Y1为第一外涡旋型线12的型线纵坐标;
t1∈[0,50],t1为第一外涡旋型线12的展角。
第一内涡旋型线11的型线方程如下:
X2=15.35/2π×cos(t2+3.5×π/15.35+π/2)+t2×15.35/2π×sin(t2+3.5×π/15.35+π/2)
Y2=15.35/2π×sin(t2+3.5×π/15.35+π/2)-t2×15.35/2π×cos(t2+3.5×π/15.35+π/2)
其中,X2为第一内涡旋型线11的型线横坐标;
Y2为第一内涡旋型线11的型线纵坐标;
t2∈[0,50],t2为第一内涡旋型线11的展角。
第一齿端修正型线13的型线方程如下:
X3=-3.32+5.925×cosβ1
Y3=-7.63+5.925×sinβ1
其中,X3为第一齿端修正型线13的型线横坐标;
Y3为第一齿端修正型线13的型线纵坐标;
β1∈[-1.683,1.459],β1为第一齿端修正型线13的起止角度。
第二外涡旋型线22的型线方程如下:
X4=-[15.35/2π×cos(t3-3.5×π/15.35+π/2)+t3×15.35/2π×sin(t3-3.5×π/15.35+π/2)]
Y4=15.35/2π×sin(t3-3.5×π/15.35+π/2)-t3×15.35/2π×cos(t3-3.5×π/15.35+π/2)
其中,X4为第二外涡旋型线22的型线横坐标;
Y4为第二外涡旋型线22的型线纵坐标;
t3∈[0,50],t3为第二外涡旋型线22的展角。
第二内涡旋型线21的型线方程如下:
X5=-[15.35/2π×cos(t4+3.5×π/15.35+π/2)+t4×15.35/2π×sin(t4+3.5×π/15.35+π/2)]
Y5=15.35/2π×sin(t4+3.5×π/15.35+π/2)-t4×15.35/2π×cos(t4+3.5×π/15.35+π/2)
其中,X5为第二内涡旋型线21的型线横坐标;
Y5为第二内涡旋型线21的型线纵坐标;
t4∈[0,50],t4为第二内涡旋型线21的展角。
第二齿端修正型线23的型线方程如下:
X6=--2.1+1.75×cosβ2
Y6=-3.76+1.75×sinβ2
其中,X6为第二齿端修正型线23的型线横坐标;
Y6为第二齿端修正型线23的型线纵坐标;
β2∈[-1.692,1.351],β2为第二齿端修正型线23的起止角度。
第一内涡旋型线11与第二外涡旋型线22工作时处于啮合状态,第一外涡旋型线12与第二内涡旋型线21工作时处于啮合状态啮合,第一齿端修正型线13与第二齿端修正型线23工作时处于啮合状态啮合。
第一内涡旋型线11、第一外涡旋型线12、第二内涡旋型线21以及第二外涡旋型线22均为圆的渐开线,第一齿端修正型线13以及第二齿端修正型线23均为圆弧线;
第一齿端修正型线13的两端分别与第一内涡旋型线11以及第一外涡旋型线12相切,第二齿端修正型线23的两端分别与第二内涡旋型线21以及第二外涡旋型线22相切。
以上结合具体实施例描述了本申请的基本原理,但是,需要指出的是,在本申请中提及的优点、优势、效果等仅是示例而非限制,不能认为这些优点、优势、效果等是本申请的各个实施例必须具备的。另外,上述公开的具体细节仅是为了示例的作用和便于理解的作用,而非限制,上述细节并不限制本申请为必须采用上述具体的细节来实现。
本申请中涉及的器件、装置、设备、系统的方框图仅作为例示性的例子并且不意图要求或暗示必须按照方框图示出的方式进行连接、布置、配置。如本领域技术人员将认识到的,可以按任意方式连接、布置、配置这些器件、装置、设备、系统。诸如“包括”、“包含”、“具有”等等的词语是开放性词汇,指“包括但不限于”,且可与其互换使用。这里所使用的词汇“或”和“和”指词汇“和/或”,且可与其互换使用,除非上下文明确指示不是如此。这里所使用的词汇“诸如”指词组“诸如但不限于”,且可与其互换使用。
还需要指出的是,在本申请的装置、设备和方法中,各部件或各步骤是可以分解和/或重新组合的。这些分解和/或重新组合应视为本申请的等效方案。
提供所公开的方面的以上描述以使本领域的任何技术人员能够做出或者使用本申请。对这些方面的各种修改对于本领域技术人员而言是非常显而易见的,并且在此定义的一般原理可以应用于其他方面而不脱离本申请的范围。因此,本申请不意图被限制到在此示出的方面,而是按照与在此公开的原理和新颖的特征一致的最宽范围。
为了例示和描述的目的已经给出了以上描述。此外,此描述不意图将本申请的实施例限制到在此公开的形式。尽管以上已经讨论了多个示例方面和实施例,但是本领域技术人员将认识到其某些变型、修改、改变、添加和子组合。
Claims (3)
1.一种涡旋盘,其特征在于,包括彼此配合安装的静涡旋盘(1)以及动涡旋盘(2),静涡旋盘(1)的轮廓曲线包括依次连接的第一内涡旋型线(11)、第一齿端修正型线(13)以及第一外涡旋型线(12);动涡旋盘(2)的轮廓曲线包括依次连接第二内涡旋型线(21)、第二齿端修正型线(23)以及第二外涡旋型线(22);所述第一内涡旋型线(11)与第二外涡旋型线(22)啮合,第一外涡旋型线(12)与第二内涡旋型线(21)啮合,第一齿端修正型线(13)与第二齿端修正型线(23)啮合;
第一内涡旋型线(11)、第一外涡旋型线(12)、第二内涡旋型线(21)以及第二外涡旋型线(22)均为圆的渐开线,第一齿端修正型线(13)以及第二齿端修正型线(23)为圆弧线;所述第一齿端修正型线(13)的两端分别与第一内涡旋型线(11)以及第一外涡旋型线(12)相切,第二齿端修正型线(23)的两端分别与第二内涡旋型线(21)以及第二外涡旋型线(22)相切。
2.根据权利要求1所述的一种涡旋盘,其特征在于,以涡旋盘的排气口(3)为圆心建立直角坐标系,第一外涡旋型线(12)的型线方程如下:
X1=15.35/2π×cos(t1-3.5×π/15.35+π/2)+t1×15.35/2π×sin(t1-3.5×π/15.35+π/2)
Y1=15.35/2π×sin(t1-3.5×π/15.35+π/2)-t1×15.35/2π×cos(t1-3.5×π/15.35+π/2)
其中,X1为第一外涡旋型线(12)的型线横坐标;
Y1为第一外涡旋型线(12)的型线纵坐标;
t1∈[0,50],t1为第一外涡旋型线(12)的展角;
第一内涡旋型线(11)的型线方程如下:
X2=15.35/2π×cos(t2+3.5×π/15.35+π/2)+t2×15.35/2π×sin(t2+3.5×π/15.35+π/2)
Y2=15.35/2π×sin(t2+3.5×π/15.35+π/2)-t2×15.35/2π×cos(t2+3.5×π/15.35+π/2)
其中,X2为第一内涡旋型线(11)的型线横坐标;
Y2为第一内涡旋型线(11)的型线纵坐标;
t2∈[0,50],t2为第一内涡旋型线(11)的展角;
第一齿端修正型线(13)的型线方程如下:
X3=-3.32+5.925×cosβ1
Y3=-7.63+5.925×sinβ1
其中,X3为第一齿端修正型线(13)的型线横坐标;
Y3为第一齿端修正型线(13)的型线纵坐标;
β1∈[-1.683,1.459],β1为第一齿端修正型线(13)的起止角度;
第二外涡旋型线(22)的型线方程如下:
X4=-[15.35/2π×cos(t3-3.5×π/15.35+π/2)+t3×15.35/2π×sin(t3-3.5×π/15.35+π/2)]
Y4=15.35/2π×sin(t3-3.5×π/15.35+π/2)-t3×15.35/2π×cos(t3-3.5×π/15.35+π/2)
其中,X4为第二外涡旋型线(22)的型线横坐标;
Y4为第二外涡旋型线(22)的型线纵坐标;
t3∈[0,50],t3为第二外涡旋型线(22)的展角;
第二内涡旋型线(21)的型线方程如下:
X5=-[15.35/2π×cos(t4+3.5×π/15.35+π/2)+t4×15.35/2π×sin(t4+3.5×π/15.35+π/2)]Y5=15.35/2π×sin(t4+3.5×π/15.35+π/2)-t4×15.35/2π×cos(t4+3.5×π/15.35+π/2)
其中,X5为第二内涡旋型线(21)的型线横坐标;
Y5为第二内涡旋型线(21)的型线纵坐标;
t4∈[0,50],t4为第二内涡旋型线(21)的展角;
第二齿端修正型线(23)的型线方程如下:
X6=--2.1+1.75×cosβ2
Y6=-3.76+1.75×sinβ2
其中,X6为第二齿端修正型线(23)的型线横坐标;
Y6为第二齿端修正型线(23)的型线纵坐标;
β2∈[-1.692,1.351],β2为第二齿端修正型线(23)的起止角度。
3.一种真空泵,其特征在于,具有如权利要求1或2所述的一种涡旋盘。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202223361473.3U CN218971418U (zh) | 2022-12-13 | 2022-12-13 | 一种涡旋盘及真空泵 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202223361473.3U CN218971418U (zh) | 2022-12-13 | 2022-12-13 | 一种涡旋盘及真空泵 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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CN218971418U true CN218971418U (zh) | 2023-05-05 |
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ID=86165760
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202223361473.3U Active CN218971418U (zh) | 2022-12-13 | 2022-12-13 | 一种涡旋盘及真空泵 |
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2022
- 2022-12-13 CN CN202223361473.3U patent/CN218971418U/zh active Active
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