CN218957694U - 一种定位装置 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种定位装置，该定位装置包括底座、支撑结构和多个定位组件。支撑结构的一端连接于底座，多个定位组件分布于支撑结构的周围，定位组件包括驱动件和接触件，驱动件的输出端与接触件连接。多个定位组件的驱动件联动设置，以使多个驱动件可选择性地同时驱动所连接的接触件靠近和远离支撑结构运动。当需要对支撑结构上的工件进行定位时，通过多个联动的驱动组件同时驱动多个接触件从支撑结构周围的多个方向靠近工件运动，并使多个接触件与工件的侧部接触，进而通过多个接触件从工件周围的多个方向实现对工件的定位。与现有技术中仅从工件相对两侧进行定位的方式相比，有利于提高对工件定位的精度。

Description

一种定位装置

技术领域

本申请涉及自动化设备技术领域，具体涉及一种定位装置。

背景技术

在自动化生产的过程中，经常需要对工件进行定位。例如，在对晶圆进行缺陷检测的前道工序中，需要对晶圆进行对位，使得晶圆处于正确的位置，以便对晶圆进行较为准确的缺陷检测。晶圆分为正常片晶圆以及铁环片晶圆，正常片晶圆为裸露的硅片，铁环片晶圆包括铁环框架(或者叫胶膜框架)、胶膜以及硅片，胶膜覆盖于铁环框架中间的圆孔，而硅片对应圆孔设置且粘合于胶膜的表面。现有的定位装置通常用于定位正常片晶圆，通过设置在正常片晶圆相对两侧的夹持柱来夹持和定位正常片晶圆，但这种定位装置在对铁环片晶圆进行定位时的精度有待提高。

实用新型内容

本实用新型的主要目的是提供一种能够提高铁环片晶圆定位精度的定位装置。

本申请实施例提供一种定位装置，包括：

底座；

支撑结构，所述支撑结构的一端连接于所述底座，另一端用于支撑工件；

多个定位组件，多个所述定位组件分布于所述支撑结构的周围，所述定位组件包括驱动件和接触件，所述驱动件的输出端与所述接触件连接；多个所述定位组件的驱动件联动设置，以使多个所述驱动件可选择性地同时驱动所连接的接触件靠近和远离所述支撑结构运动，以通过多个所述接触件从所述支撑结构的周围接触并定位所述支撑结构上的工件。

在一些的实施例中，所述驱动件配置为气缸，所述接触件连接于所述气缸的输出端，多个所述定位组件的气缸连接于同一个驱动气路，以实现多个所述气缸的联动设置。

在一些的实施例中，所述底座上设有多个挡板，所述挡板围绕所述支撑结构设置，以形成用于放置工件的收纳区域，所述定位组件设置在所述挡板上；所述挡板的一侧具有取放开口，所述取放开口用于供工件进出所述收纳区域。

在一些的实施例中，所述驱动件配置为气缸，所述接触件连接于所述气缸的输出端，所述收纳区域具有中心点；多个所述气缸相对经过所述中心点的轴线对称设置，或所述气缸的输出方向经过所述中心点。

在一些的实施例中，所述挡板包括与所述取放开口相对设置的第一挡板，以及位于所述第一挡板上相对两侧的第二挡板，所述第一挡板垂直于所述第二挡板；所述第一挡板上设置有两个气缸，所述第一挡板上的两个气缸相对经过所述中心点的轴线对称设置；所述第二挡板上设置有三个气缸，所述第二挡板上的两个气缸相对经过所述中心点的轴线对称设置，所述第二挡板上的另一个气缸的输出方向经过所述中心点。

在一些的实施例中，所述收纳区域具有中心点，所述支撑结构包括多个第一支撑柱，多个所述第一支撑柱围绕所述中心点的周围设置，且多个所述第一支撑柱均位于以所述中心点为圆心，以第一尺寸为直径的圆形上。

在一些的实施例中，所述支撑结构还包括多个第二支撑柱，多个所述第二支撑柱围绕所述中心点的周围设置，且多个所述第二支撑柱均位于以所述中心点为圆心，以第二尺寸为直径的圆形上；所述第二尺寸大于所述第一尺寸，所述第二支撑柱相对所述底座的高度大于所述第一支撑柱相对所述底座的高度。

在一些的实施例中，所述第一支撑柱和第二支撑柱均为四个，四个所述第一支撑柱和四个所述第二支撑柱均相对经过所述中心点的轴线对称设置。

在一些的实施例中，所述接触件远离驱动件的一端具有第一接触部，所述接触件靠近驱动件的一端具有第二接触部，所述第一接触部和第二接触部分别用于与不同尺寸的工件接触。

在一些的实施例中，所述接触件用于与所述工件接触的位置设有柔性防滑部。

依据上述实施例的定位装置，该定位装置包括底座、支撑结构和多个定位组件。支撑结构的一端连接于底座，另一端用于支撑工件。多个定位组件分布于支撑结构的周围，定位组件包括驱动件和接触件，驱动件的输出端与接触件连接。多个定位组件的驱动件联动设置，以使多个驱动件可选择性地同时驱动所连接的接触件靠近和远离支撑结构运动，以通过多个接触件从支撑结构的周围接触并定位支撑结构上的工件。当需要对支撑结构上的工件进行定位时，通过多个联动的驱动组件同时驱动多个接触件从支撑结构周围的多个方向靠近工件运动，并使多个接触件与工件的侧部接触，进而通过多个接触件从工件周围的多个方向实现对工件的定位。与现有技术中仅从工件相对两侧进行定位的方式相比，有利于提高对工件定位的精度。

附图说明

图1为本申请一种实施例中定位装置立体视角的结构示意图；

图2为本申请一种实施例中定位装置俯视视角的结构示意图；

图3为本申请一种实施例中定位装置正视视角的结构示意图；

附图标记：100、底座；200、支撑结构；210、第一支撑柱；220、第二支撑柱；300、定位组件；310、气缸；320、接触件；321、第一接触部；322、第二接触部；400、挡板；410、第一挡板；420、第二挡板。

具体实施方式

下面通过具体实施方式结合附图对本实用新型作进一步详细说明。其中不同实施方式中类似元件采用了相关联的类似的元件标号。在以下的实施方式中，很多细节描述是为了使得本申请能被更好的理解。然而，本领域技术人员可以毫不费力的认识到，其中部分特征在不同情况下是可以省略的，或者可以由其他元件、材料、方法所替代。在某些情况下，本申请相关的一些操作并没有在说明书中显示或者描述，这是为了避免本申请的核心部分被过多的描述所淹没，而对于本领域技术人员而言，详细描述这些相关操作并不是必要的，他们根据说明书中的描述以及本领域的一般技术知识即可完整了解相关操作。

另外，说明书中所描述的特点、操作或者特征可以以任意适当的方式结合形成各种实施方式。同时，方法描述中的各步骤或者动作也可以按照本领域技术人员所能显而易见的方式进行顺序调换或调整。因此，说明书和附图中的各种顺序只是为了清楚描述某一个实施例，并不意味着是必须的顺序，除非另有说明其中某个顺序是必须遵循的。

本文中为部件所编序号本身，例如“第一”、“第二”等，仅用于区分所描述的对象，不具有任何顺序或技术含义。而本申请所说“连接”、“联接”，如无特别说明，均包括直接和间接连接(联接)。

本实施提供一种定位装置。

请参考图1-3，该定位装置包括底座100、支撑结构200和多个定位组件300。

支撑结构200的一端连接于底座100，另一端用于支撑工件。多个定位组件300分布于支撑结构200的周围，定位组件300包括驱动件和接触件320，驱动件的输出端与接触件320连接。多个定位组件300的驱动件联动设置，以使多个驱动件可选择性地同时驱动所连接的接触件320靠近和远离支撑结构200运动，以通过多个接触件320从支撑结构200的周围接触并定位支撑结构200上的工件。

当需要对支撑结构200上的工件进行定位时，通过多个联动的驱动组件同时驱动多个接触件320从支撑结构200周围的多个方向靠近工件运动，并使多个接触件320与工件的侧部接触，进而通过多个接触件320从工件周围的多个方向实现对工件的定位。与现有技术中仅从工件相对两侧进行定位的方式相比，有利于提高对工件定位的精度。具体地，本申请中的工件可以是铁环片晶圆。

请参考图1-3，在一些的实施例中，驱动件配置为气缸310，接触件320连接于气缸310的输出端，多个定位组件300的气缸310连接于同一个驱动气路，以实现多个气缸310的联动设置。

由于通过同一个驱动气路驱动多个定位组件300的气缸310工作，实现了多个气缸310的联动设置，从而保证了驱动气路对每个气缸310通气的均匀性，进而有利于保证多个气缸310运动的一致性。在其他实施例中，驱动件也可以选用其他合适的结构，例如，驱动件可以配置为电机丝杆结构或电机驱动的齿轮齿条结构等。

请参考图1-3，在一些的实施例中，底座100上设有多个挡板400，挡板400围绕支撑结构200设置，以形成用于放置工件的收纳区域，定位组件300设置在挡板400上。挡板400的一侧具有取放开口，取放开口用于供工件进出收纳区域。

一方面，通过挡板400在底座100上围出用于放置工件的收纳区域，另一方面，挡板400还起到支撑定位组件300的作用。且由于挡板400的一侧具有取放开口，使得挡板400不会阻碍工件进出收纳区域的运动。

请参考图2，在一些的实施例中，驱动件配置为气缸310，接触件320连接于气缸310的输出端，收纳区域具有中心点C。多个气缸310相对经过中心点C的轴线对称设置，或气缸310的输出方向经过中心点C。

当气缸310相对经过中心点C的轴线对称设置时，气缸310作用于工件的作用力更加均匀，当气缸310的输出方向经过中心点C时，工件不易在气缸310作用力下发生偏转。在实际应用场景中，可以根据实际需求灵活选择上述任一种气缸310的排布方式，或者将两种排布方式结合使用。

请参考图2，在一些的实施例中，挡板400包括与取放开口相对设置的第一挡板410，以及位于第一挡板410上相对两侧的第二挡板420，第一挡板410垂直于第二挡板420。第一挡板410上设置有两个气缸310，第一挡板410上的两个气缸310相对经过中心点C的轴线对称设置。第二挡板420上设置有三个气缸310，第二挡板420上的两个气缸310相对经过中心点C的轴线对称设置，第二挡板420上的另一个气缸310的输出方向经过中心点C。

具体地，请参考图2，第一挡板410上的两个气缸310相对经过中心点轴线A对称设置，第二挡板420上的三个气缸310中，有两个气缸310相对经过中心点的轴线B对称设置，另一个气缸310的输出方向经过中心点。当工件为铁环片晶圆时，通过第一挡板410上的两个气缸310对铁环框架的切边部位进行定位，从而限制铁环框架的旋转自由度。需要说明的是，第二挡板420上的另一个气缸310的输出方向经过中心点C，可以理解为接触件320的运动路径的延长线经过中心点C。

请参考图1和2，在一些的实施例中，收纳区域具有中心点C，支撑结构200包括多个第一支撑柱210，多个第一支撑柱210围绕中心点C的周围设置，且多个第一支撑柱210均位于以中心点C为圆心，以第一尺寸为直径的圆形R1上。

可以通过第一支撑柱210支撑第一尺寸的工件，具体地，本实施例中的第一尺寸可以是8寸。请参考图1，由于第一支撑柱210围绕中心点C的周围排布在圆形R1上，便于从工件的四周为工件提供均匀的支撑力。

请参考图1和2，在一些的实施例中，支撑结构200还包括多个第二支撑柱220，多个第二支撑柱220围绕中心点C的周围设置，且多个第二支撑柱220均位于以中心点C为圆心，以第二尺寸为直径的圆形R2上。第二尺寸大于第一尺寸，第二支撑柱220相对底座100的高度大于第一支撑柱210相对底座100的高度。

可以通过第二支撑柱220支撑第二尺寸的工件，具体地，本实施例中的第二尺寸可以是12寸。一方面，由于支撑结构200包括第一支撑柱210和第二支撑柱220，使得支撑结构200可以同时兼容对第一尺寸和第二尺寸的工件的支撑。另一方面，由于第二支撑柱220相对底座100的高度大于第一支撑柱210相对底座100的高度，接触件320可以通过高度不同的第一接触部321和第二接触部322分别与第一尺寸和第二尺寸的工件接触，而不会发生相互干涉的问题。

请参考图1和2，在一些的实施例中，第一支撑柱210和第二支撑柱220均为四个，四个第一支撑柱210和四个第二支撑柱220均相对经过中心点C的轴线对称设置。

具体地，请参考图2，四个第一支撑和四个第二支撑柱220均相对经过中心点C的轴线A和轴线B对称设置。在其他实施例中，第一支撑柱210和第二支撑柱220的具体数量可以根据实际需求灵活设置，例如，可以五个、六个或其他合适的数量等等。

请参考图2和3，在一些的实施例中，接触件320远离驱动件的一端具有第一接触部321，接触件320靠近驱动件的一端具有第二接触部322，第一接触部321和第二接触部322分别用于与不同尺寸的工件接触。

本实施例中，接触件320呈“L”状，在实际的应用场景，根据支撑结构200上放置的工件尺寸的不同，通过第一接触部321接触第一尺寸的工件的侧部，通过第二接触部322接触第二尺寸的工件的侧部，以实现对支撑结构200上工件的定位。使得接触件320在定位不同尺寸的工件时行程都不会有较大变化，从而有利于保证定位的精度。具体地，请参考图3，第二接触部322的高度可以高于第一接触部321，通过高度不同的第一接触部321和第二接触部322分别与第一尺寸和第二尺寸的工件接触，可以防止第一接触部321和第二接触部322发生相互干涉的问题。请参考图1，在一些的实施例中，接触件320用于与工件接触的位置设有柔性防滑部(图中未示出)。

一方面，柔性防滑部可以避免刚性夹紧对工件(如铁环框架)造成的损伤，另一方面，柔性防滑部可以避免出现工件打滑导致对位失败的问题。具体地，柔性防滑部可以选用硅胶或橡胶等材质。

以上应用了具体个例对本实用新型进行阐述，只是用于帮助理解本实用新型，并不用以限制本实用新型。对于本实用新型所属技术领域的技术人员，依据本实用新型的思想，还可以做出若干简单推演、变形或替换。

Claims (10)

1.一种定位装置,其特征在于，包括：

底座；

支撑结构，所述支撑结构的一端连接于所述底座，另一端用于支撑工件；

多个定位组件，多个所述定位组件分布于所述支撑结构的周围，所述定位组件包括驱动件和接触件，所述驱动件的输出端与所述接触件连接；多个所述定位组件的驱动件联动设置，以使多个所述驱动件可选择性地同时驱动所连接的接触件靠近和远离所述支撑结构运动，以通过多个所述接触件从所述支撑结构的周围接触并定位所述支撑结构上的工件。

2.如权利要求1所述的定位装置，其特征在于，所述驱动件配置为气缸，所述接触件连接于所述气缸的输出端，多个所述定位组件的气缸连接于同一个驱动气路，以实现多个所述气缸的联动设置。

3.如权利要求1所述的定位装置，其特征在于，所述底座上设有多个挡板，所述挡板围绕所述支撑结构设置，以形成用于放置工件的收纳区域，所述定位组件设置在所述挡板上；所述挡板的一侧具有取放开口，所述取放开口用于供工件进出所述收纳区域。

4.如权利要求3所述的定位装置，其特征在于，所述驱动件配置为气缸，所述接触件连接于所述气缸的输出端，所述收纳区域具有中心点；多个所述气缸相对经过所述中心点的轴线对称设置，或所述气缸的输出方向经过所述中心点。

5.如权利要求4所述的定位装置，其特征在于，所述挡板包括与所述取放开口相对设置的第一挡板，以及位于所述第一挡板上相对两侧的第二挡板，所述第一挡板垂直于所述第二挡板；所述第一挡板上设置有两个气缸，所述第一挡板上的两个气缸相对经过所述中心点的轴线对称设置；所述第二挡板上设置有三个气缸，所述第二挡板上的两个气缸相对经过所述中心点的轴线对称设置，所述第二挡板上的另一个气缸的输出方向经过所述中心点。

6.如权利要求3所述的定位装置，其特征在于，所述收纳区域具有中心点，所述支撑结构包括多个第一支撑柱，多个所述第一支撑柱围绕所述中心点的周围设置，且多个所述第一支撑柱均位于以所述中心点为圆心，以第一尺寸为直径的圆形上。

7.如权利要求6所述的定位装置，其特征在于，所述支撑结构还包括多个第二支撑柱，多个所述第二支撑柱围绕所述中心点的周围设置，且多个所述第二支撑柱均位于以所述中心点为圆心，以第二尺寸为直径的圆形上；所述第二尺寸大于所述第一尺寸，所述第二支撑柱相对所述底座的高度大于所述第一支撑柱相对所述底座的高度。

8.如权利要求7所述的定位装置，其特征在于，所述第一支撑柱和第二支撑柱均为四个，四个所述第一支撑柱和四个所述第二支撑柱均相对经过所述中心点的轴线对称设置。

9.如权利要求1-8任一项所述的定位装置，其特征在于，所述接触件远离驱动件的一端具有第一接触部，所述接触件靠近驱动件的一端具有第二接触部，所述第一接触部和第二接触部分别用于与不同尺寸的工件接触。

10.如权利要求1-8任一项所述的定位装置，其特征在于，所述接触件用于与所述工件接触的位置设有柔性防滑部。

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