CN218930246U - 一种带有边缘防护作用的塑料晶圆盒 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及晶圆盒技术领域，具体为一种带有边缘防护作用的塑料晶圆盒，包括盒体，盒体内设有若干个均匀分布的晶圆槽，晶圆槽内设有与其贴合的气囊，气囊的外侧设有与气囊配合的充气组件，且盒体的前端设有挡板，且盒体上设有与挡板相适配的孔，挡板的两侧设有凹槽，凹槽内设有第一弹簧，且第一弹簧的一端与凹槽的内壁固定连接，另一端设有凹槽相适配的挡块，本实用新型可以对晶圆盒内晶圆槽中的晶圆片进行固定防护，避免在对晶圆盒搬运过程中，晶圆盒内的晶圆片与盒体之间碰撞而导致晶圆片破碎的情况。

Description

一种带有边缘防护作用的塑料晶圆盒

技术领域

本实用新型涉及晶圆盒技术领域，具体为一种带有边缘防护作用的塑料晶圆盒。

背景技术

单晶硅圆片由普通硅砂提炼，经过溶解、提纯、蒸馏一系列措施制得多晶硅，多晶硅再经熔融、单晶晶核提拉制成具有一定晶体学取向的单晶硅棒，单晶硅棒经过抛光、切片之后,就成为了晶圆。晶圆属于易碎物品，因此，将晶圆移到下一个制程，需要将晶圆装进晶圆盒中。

而在对晶圆盒搬运的过程中会出现晃动，晶圆盒内的晶圆片便会与晶圆盒之间出现碰撞，容易对晶圆片造成损坏，致使其无法完成下一步制程_。

因此亟需设计一种带有边缘防护作用的塑料晶圆盒来解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种带有边缘防护作用的塑料晶圆盒，以解决上述背景技术中无法对搬运过程中的晶圆片进行很好保护的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种带有边缘防护作用的塑料晶圆盒，包括盒体，所述盒体内设有若干个均匀分布的晶圆槽，所述晶圆槽内设有与其贴合的气囊，所述气囊的外侧设有与气囊配合的充气组件，且所述盒体的前端设有挡板，且所述盒体上设有与挡板相适配的孔，所述挡板的两侧设有凹槽，所述凹槽内设有第一弹簧，且所述第一弹簧的一端与凹槽的内壁固定连接，另一端设有凹槽相适配的挡块。

优选的，与所述挡板两端接触的盒体上设有滑轨，且所述滑轨的中部设有与挡块配合固定的挡槽。

优选的，所述盒体的两侧设有与晶圆槽相对的通气槽，且所述气囊的进出气接口通过通气槽延伸至盒体的外侧，并与盒体进行固定。

优选的，所述充气组件包括压气管、气盒、横板和固定块，所述气盒设有两个，且两个所述气盒分别位于盒体的两侧，并与其固定连接，所述气盒的外侧的左右两侧均设有圆孔，且两个所述压气管的一端与圆孔固定连接，另一端分别与横板的两端固定连接，且所述气盒的外侧设有与其固定连接的固定块。

优选的，所述横板的上下两端均设有弹簧槽，且所述弹簧槽内设有第二弹簧，远离所述弹簧槽的一端设有限位块，且所述第二弹簧的一端与弹簧槽固定连接，另一端与限位块的一端固定连接，所述固定块上设有与限位块相适配的限位槽。

优选的，所述气囊与通气槽之间、压气管与气盒之间均为密闭设置。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该带有边缘防护作用的塑料晶圆盒可以对晶圆盒内晶圆槽中的晶圆片进行固定防护，避免在对晶圆盒搬运过程中，晶圆盒内的晶圆片与盒体之间碰撞而导致晶圆片破碎的情况。

(1)通过挡板卡合在盒体中，通过向上拉动挡板，挡板两侧的挡块随之受力挤压第一弹簧，挡块便会随着盒体上的滑轨向上移动，方便操作人员对晶圆槽内晶圆片的拿取。

(2)按压横板，横板带动压气管向着气盒方向压缩，将压气管和气盒内的气体通过通气槽内气囊的进出气接口进入到气囊内，使晶圆槽内的气囊膨胀，对气囊中的晶圆片进行固定防护。

附图说明

图1为本实用新型的结构整体示意图；

图2为本实用新型挡板与盒体的结构爆炸示意图；

图3为本实用新型气囊与盒体中的晶圆槽结构配合示意图；

图4为本实用新型充气组件与气囊的结构示意图；

图5为本实用新型充气组件结构示意图。

图中：1、盒体；2、晶圆槽；3、气囊；4、充气组件；5、挡板；6、第一弹簧；7、挡块；8、通气槽；9、压气管；10、气盒；11、横板；12、固定块；13、第二弹簧；14、限位块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-5，本实用新型提供的实施例：一种带有边缘防护作用的塑料晶圆盒，包括盒体1，盒体1内设有若干个均匀分布的晶圆槽2，晶圆槽2内设有与其贴合的气囊3，在气囊3与晶圆片接触的三面设置橡胶垫，避免晶圆片对气囊3造成损坏，气囊3的外侧设有与气囊3配合的充气组件4，且盒体1的前端设有挡板5，且盒体1上设有与挡板5相适配的孔，挡板5的两侧设有凹槽，凹槽内设有第一弹簧6，且第一弹簧6的一端与凹槽的内壁固定连接，另一端设有凹槽相适配的挡块7。

优选的，为了便于挡板5可以快速的对准位置，所以在与挡板5两端接触的盒体1上设有与挡块7宽度相适配的滑轨，且滑轨的中部设有与挡块7配合固定的挡槽，为了使挡块7可以与挡槽之间进行限位固定，所以将挡槽的深度设置大于滑轨的深度，将挡板5上的挡块7对准滑轨位置，向下按压挡板5，挡板5随之与挡块7在滑轨上向下移动，挡块7在滑轨上时，挡块7向内压缩第一弹簧6，向着凹槽内移动，当挡块7从滑轨上移动到挡槽位置后，第一弹簧6复位，带动挡块7进入到挡槽中，与挡槽配合，对挡板5位置进行固定。

优选的，盒体1的两侧设有与晶圆槽2相对的通气槽8，且气囊3的进出气接口通过通气槽8延伸至盒体1的外侧，并与盒体1进行固定，并通过设置密封垫进行密封。

优选的，为了使气囊3中可以进行充气膨胀，从而对气囊3中的晶圆片进行固定防护，所以在通气槽8的外侧设置充气组件4，充气组件4包括压气管9、气盒10、横板11和固定块12，气盒10设有两个，且两个气盒10分别位于盒体1的两侧，并与其固定连接，气盒10的外侧的左右两侧均设有圆孔，且两个压气管9的一端与圆孔固定连接，另一端分别与横板11的两端固定连接，为了使压气管9在通过挡板5压缩后可以进行自我复位，对气囊3中的空气进行抽取，所以在压气管9中安装压缩弹簧，压缩弹簧的一端和盒体1固定连接，另一端和挡板5固定连接，且气盒10的外侧设有与其固定连接的固定块12，按压横板11，横板11两端与其固定连接的压气管9随之向着气盒10的方向压缩，而压气管9内的压缩弹簧随之受力压缩，并通过压缩，将压气管9和气盒10内的空气通过通气槽8延伸至气盒10内的气囊3进出气接口，压进到气囊3中，气囊3随之膨胀，对晶圆片的三面进行固定。

优选的，为了避免在搬运过程中，横板11和压气管9因压缩弹簧的恢复力和气囊3中高压气体向着气盒10移动的压力而复位的情况，所以在横板11的上下两端均设有弹簧槽，且弹簧槽内设有第二弹簧13，远离弹簧槽的一端设有限位块14，且第二弹簧13的一端与弹簧槽固定连接，另一端与限位块14的一端固定连接，固定块12上设有与限位块14相适配的限位槽，当横板11带动压气管9移动到气盒10外表面时，限位块14随之与固定块12接触，限位块14随之受力压缩第二弹簧13，从而向着弹簧槽内移动，到限位块14移动到固定块12内的限位槽中时，第二弹簧13随之不受力，进而带动限位块14进行复位，限位块14随之与限位槽进行配合，对横板11进行固定。

优选的，气囊3与通气槽8之间、压气管9与气盒10之间均为密闭设置。

工作原理：将圆晶片放入到圆晶槽内的气囊3上，按压横板11，横板11带动压气管9向着气盒10移动，压缩弹簧随之受力压缩，压气管9和气盒10内的气体随之被压缩到气囊3中，气囊3随之膨胀，并对晶圆片进行限位防护，当横板11移动直至横板11上的限位块14与固定块12接触后，限位块14随之压缩第二弹簧13，并向着弹簧槽内移动，直至限位块14移动到固定块12内的限位槽中，第二弹簧13随之带动限位块14进行复位，限位块14与固定块12配合对横板11进行固定。

当搬运结束后，需要拿取晶圆槽2内的晶圆片时，按压固定块12两侧的限位块14，限位块14压缩第二弹簧13，限位块14随之向着弹簧槽内移动，限位块14随之离开固定块12内的限位槽，并通过压缩弹簧和气囊3中的气体向气盒10移动的压力，将气囊3中的气体抽入到压气管9和气盒10中，随之向上拉动挡板5，挡块7随之受力压缩第一弹簧6，向着凹槽内移动，直至挡块7位于滑轨中向上移动，将挡板5拿出，对靠近挡板5的晶圆片依次拿取。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨再将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (6)

1.一种带有边缘防护作用的塑料晶圆盒，包括盒体(1)，其特征在于：所述盒体(1)内设有若干个均匀分布的晶圆槽(2)，所述晶圆槽(2)内设有与其贴合的气囊(3)，所述气囊(3)的外侧设有与气囊(3)配合的充气组件(4)，且所述盒体(1)的前端设有挡板(5)，且所述盒体(1)上设有与挡板(5)相适配的孔，所述挡板(5)的两侧设有凹槽，所述凹槽内设有第一弹簧(6)，且所述第一弹簧(6)的一端与凹槽的内壁固定连接，另一端设有凹槽相适配的挡块(7)。

2.根据权利要求1所述的一种带有边缘防护作用的塑料晶圆盒，其特征在于：与所述挡板(5)两端接触的盒体(1)上设有滑轨，且所述滑轨的中部设有与挡块(7)配合固定的挡槽。

3.根据权利要求1所述的一种带有边缘防护作用的塑料晶圆盒，其特征在于：所述盒体(1)的两侧设有与晶圆槽(2)相对的通气槽(8)，且所述气囊(3)的进出气接口通过通气槽(8)延伸至盒体(1)的外侧，并与盒体(1)进行固定。

4.根据权利要求1所述的一种带有边缘防护作用的塑料晶圆盒，其特征在于：所述充气组件(4)包括压气管(9)、气盒(10)、横板(11)和固定块(12)，所述气盒(10)设有两个，且两个所述气盒(10)分别位于盒体(1)的两侧，并与其固定连接，所述气盒(10)的外侧的左右两侧均设有圆孔，且两个所述压气管(9)的一端与圆孔固定连接，另一端分别与横板(11)的两端固定连接，且所述气盒(10)的外侧设有与其固定连接的固定块(12)。

5.根据权利要求4所述的一种带有边缘防护作用的塑料晶圆盒，其特征在于：所述横板(11)的上下两端均设有弹簧槽，且所述弹簧槽内设有第二弹簧(13)，远离所述弹簧槽的一端设有限位块(14)，且所述第二弹簧(13)的一端与弹簧槽固定连接，另一端与限位块(14)的一端固定连接，所述固定块(12)上设有与限位块(14)相适配的限位槽。

6.根据权利要求4所述的一种带有边缘防护作用的塑料晶圆盒，其特征在于：所述气囊(3)与通气槽(8)之间、压气管(9)与气盒(10)之间均为密闭设置。

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