CN218927438U - 一种晶圆抛光机冷却系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆抛光机冷却系统，属于冷却技术领域。该晶圆抛光机冷却系统包括：冷却座，所述冷却座沿中心朝外辐射有多根肋骨条，且所述肋骨条延伸止于所述冷却座的外边缘处，相邻两个所述肋骨条之间凹设有储液腔，所述冷却座的中心处贯通开设有冷却液进口，所述储液腔的底部贯通开设有冷却液出口；抛光盘密封罩设于所述冷却座上，所述抛光盘与所述冷却座之间形成冷却液的流道。冷却液从冷却座的中心流入，然后沿辐射方向流动最后从冷却液出口流出，抛光盘密封罩设在冷却座上，可以快速降低抛光盘的温度，便于抛光盘散热，有利于晶圆的批量化生产。

Description

一种晶圆抛光机冷却系统

技术领域

本实用新型涉及冷却技术领域，尤其涉及一种晶圆抛光机冷却系统。

背景技术

晶圆抛光机一般通过研磨来加工工件表面，提高晶圆表面的光洁度。

但是，现有的晶圆抛光机的抛光垫下面的抛光盘是没有水冷系统的，而在研磨抛光晶圆的过程中，如果长时间运行，摩擦产生的热量会导致抛光盘发热形变，进而影响晶圆良率，不利于晶圆的批量化生产。

为此，亟需提供一种晶圆抛光机冷却系统以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆抛光机冷却系统，降低抛光盘自身的温度，便于散热，有利于晶圆的批量化生产。

为实现上述目的，提供以下技术方案：

一种晶圆抛光机冷却系统，包括：

冷却座，所述冷却座沿中心朝外辐射有多根肋骨条，且所述肋骨条延伸止于所述冷却座的外边缘处，相邻两个所述肋骨条之间凹设有储液腔，所述冷却座的中心处贯通开设有冷却液进口，所述储液腔的底部贯通开设有冷却液出口；

抛光盘，密封罩设于所述冷却座上，所述抛光盘与所述冷却座之间形成冷却液的流道。

作为晶圆抛光机冷却系统的可选方案，所述储液腔的深度沿所述冷却座外边缘向内逐渐增大。

作为晶圆抛光机冷却系统的可选方案，所述冷却液出口设置于所述储液腔的最深处。

作为晶圆抛光机冷却系统的可选方案，所述晶圆抛光机冷却系统还包括进口导引槽，所述进口导引槽一端与所述储液腔连通，另一端与所述冷却液进口连通。

作为晶圆抛光机冷却系统的可选方案，每个所述储液腔沿所述冷却座的中心朝外延伸设置有分隔凸起，所述储液腔被分割为第一液腔和第二液腔，所述进口导引槽与所述第一液腔连通，所述冷却液出口设置于所述第二液腔，所述分隔凸起的顶面与所述肋骨条的顶面齐平。

作为晶圆抛光机冷却系统的可选方案，所述冷却座上设置有第一连接孔，所述抛光盘上设置有第二连接孔，所述冷却座通过紧固件穿过所述第一连接孔与所述第二连接孔连接。

作为晶圆抛光机冷却系统的可选方案，所述第一连接孔设置有多个，所述第二连接孔设置有多个，多个所述第一连接孔与多个所述第二连接孔一一对应设置。

作为晶圆抛光机冷却系统的可选方案，还包括传动转轴，所述冷却座远离所述抛光盘的一侧与所述传动转轴的输出端固接。

作为晶圆抛光机冷却系统的可选方案，还包括旋转驱动机构，所述旋转驱动机构通过传动齿轮与所述传动转轴传动连接。

作为晶圆抛光机冷却系统的可选方案，还包括冷却液输送管，所述传动转轴内部中空，所述冷却液输送管穿设于所述传动转轴内并伸出，且所述冷却液输送管的一端与所述冷却液进口连通，所述冷却液输送管的另一端与输送泵连通。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果：

本实用新型所提供的晶圆抛光机冷却系统，冷却座为肋骨中控样式，多根肋骨条沿冷却座的中心朝外辐射，且每两个肋骨条之间形成一个冷却单元，冷却单元凹设有储液腔，用来暂时储蓄冷却液，在冷却座的中心处贯通开设有冷却液进口，储液腔的底部贯通开设有冷却液出口，使冷却液从冷却座的中心流入，然后沿辐射方向流动最后从冷却液出口流出，抛光盘密封罩设在冷却座上，可以快速降低抛光盘的温度，便于抛光盘散热，有利于晶圆的批量化生产。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对本实用新型实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据本实用新型实施例的内容和这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例中晶圆抛光机冷却系统的爆炸示意图；

图2为本实用新型实施例中冷却座的结构示意图；

图3为图2中A处局部放大图。

附图标记：

1、冷却座；2、抛光盘；3、传动转轴；31、传动齿轮；4、冷却液输送管；

11、肋骨条；12、储液腔；121、第一液腔；122、第二液腔；13、冷却液进口；14、冷却液出口；15、进口导引槽；16、分隔凸起；17、第一连接孔；

21、第二连接孔。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

为了降低抛光盘自身的温度，便于散热，有利于晶圆的批量化生产，本实施例提供一种晶圆抛光机冷却系统，以下结合图1至图3对本实施例的具体内容进行详细描述。

如图1所示，晶圆抛光机冷却系统包括冷却座1、抛光盘2、传动转轴3、冷却液输送管4。

其中，冷却座1沿中心朝外辐射有多根肋骨条11，且肋骨条11延伸止于冷却座1的外边缘处，相邻两个肋骨条11之间形成冷却单元，冷却单元凹设有储液腔12，冷却座1的中心处贯通开设有冷却液进口13，储液腔12的底部贯通开设有冷却液出口14，抛光盘2密封罩设于冷却座1上，抛光盘2与冷却座1之间形成冷却液的流道。

简而言之，本实用新型所提供的晶圆抛光机冷却系统，多根肋骨条11沿冷却座1的中心朝外辐射，且每两个肋骨条11之间形成一个冷却单元，冷却单元凹设有储液腔12，用来暂时储蓄冷却液，在冷却座1的中心处贯通开设有冷却液进口13，储液腔12的底部贯通开设有冷却液出口14，使冷却液从冷却座1的中心流入，然后沿辐射方向流动最后从冷却液出口14流出，抛光盘2密封罩设在冷却座1上，可以快速降低抛光盘2的温度，便于抛光盘2散热，有利于晶圆的批量化生产。

进一步地，储液腔12的深度沿冷却座1外边缘向内逐渐增大，冷却液出口14设置于储液腔12的最深处，以使冷却液在储液腔12的流动的过程中，最终汇集到靠近冷却座1中心附近。使冷却液从冷却座1中心输入，最后在从冷却座1中心附近排出，减小液体输出通道的占用空间，结构紧凑。

进一步地，晶圆抛光机冷却系统还包括进口导引槽15，进口导引槽15一端与储液腔12连通，另一端与冷却液进口13连通。具体地，进口导引槽15沿冷却座1的中心朝外辐射并延伸止于储液腔12。

进一步地，每个储液腔12沿冷却座1的中心朝外延伸设置有分隔凸起16，储液腔12被分割为第一液腔121和第二液腔122，进口导引槽15与第一液腔121连通，冷却液出口14设置于第二液腔122，分隔凸起16的顶面与肋骨条11的顶面齐平。将储液腔12分割为第一液腔121和第二液腔122，冷却液先进入第一液腔121，然后在进入第二液腔122，延长了冷却液的流动长度，提高散热效果。

进一步地，冷却座1上设置有第一连接孔17，抛光盘2上设置有第二连接孔21，冷却座1通过紧固件穿过第一连接孔17与第二连接孔21连接。更进一步地，第一连接孔17设置有多个，第二连接孔21设置有多个，多个第一连接孔17与多个第二连接孔21一一对应设置，使冷却座1与抛光盘2之间稳定连接，密封贴合。

进一步地，晶圆抛光机冷却系统还包括传动转轴3，冷却座1远离抛光盘2的一侧与传动转轴3的输出端固接。更进一步地，晶圆抛光机冷却系统还包括旋转驱动机构，旋转驱动机构通过传动齿轮31与传动转轴3传动连接。旋转驱动机构带动抛光盘2转动，用于晶圆的研磨。

进一步地，晶圆抛光机冷却系统还包括冷却液输送管4和排液管，传动转轴3内部中空，冷却液输送管4穿设于传动转轴3内并伸出，且冷却液输送管4的一端与冷却液进口13连通，冷却液输送管4的另一端与输送泵连通。排液管一端与冷却液出口14连通，排液管另一端与循环收集箱连通。具体地，循环水箱与排液管之间增设换热器，进一步加快液体的散热。

本实施例中采用水作为冷却液，在其他实施例中，冷却液还可以采用油等作为散热介质，在此不做过多限制。

注意，上述仅为本实用新型的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本实用新型不限于这里所说的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本实用新型进行了较为详细的说明，但是本实用新型不仅仅限于以上实施例，在不脱离本实用新型构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本实用新型的范围由所附的权利要求范围决定。

Claims (10)

1.一种晶圆抛光机冷却系统，其特征在于，包括：

冷却座(1)，所述冷却座(1)沿中心朝外辐射有多根肋骨条(11)，且所述肋骨条(11)延伸止于所述冷却座(1)的外边缘处，相邻两个所述肋骨条(11)之间凹设有储液腔(12)，所述冷却座(1)的中心处贯通开设有冷却液进口(13)，所述储液腔(12)的底部贯通开设有冷却液出口(14)；

抛光盘(2)，密封罩设于所述冷却座(1)上，所述抛光盘(2)与所述冷却座(1)之间形成冷却液的流道。

2.根据权利要求1所述的晶圆抛光机冷却系统，其特征在于，所述储液腔(12)的深度沿所述冷却座(1)外边缘向内逐渐增大。

3.根据权利要求2所述的晶圆抛光机冷却系统，其特征在于，所述冷却液出口(14)设置于所述储液腔(12)的最深处。

4.根据权利要求3所述的晶圆抛光机冷却系统，其特征在于，所述晶圆抛光机冷却系统还包括进口导引槽(15)，所述进口导引槽(15)一端与所述储液腔(12)连通，另一端与所述冷却液进口(13)连通。

5.根据权利要求4所述的晶圆抛光机冷却系统，其特征在于，每个所述储液腔(12)沿所述冷却座(1)的中心朝外延伸设置有分隔凸起(16)，所述储液腔(12)被分割为第一液腔(121)和第二液腔(122)，所述进口导引槽(15)与所述第一液腔(121)连通，所述冷却液出口(14)设置于所述第二液腔(122)，所述分隔凸起(16)的顶面与所述肋骨条(11)的顶面齐平。

6.根据权利要求1所述的晶圆抛光机冷却系统，其特征在于，所述冷却座(1)上设置有第一连接孔(17)，所述抛光盘(2)上设置有第二连接孔(21)，所述冷却座(1)通过紧固件穿过所述第一连接孔(17)与所述第二连接孔(21)连接。

7.根据权利要求6所述的晶圆抛光机冷却系统，其特征在于，所述第一连接孔(17)设置有多个，所述第二连接孔(21)设置有多个，多个所述第一连接孔(17)与多个所述第二连接孔(21)一一对应设置。

8.根据权利要求1所述的晶圆抛光机冷却系统，其特征在于，还包括传动转轴(3)，所述冷却座(1)远离所述抛光盘(2)的一侧与所述传动转轴(3)的输出端固接。

9.根据权利要求8所述的晶圆抛光机冷却系统，其特征在于，还包括旋转驱动机构，所述旋转驱动机构通过传动齿轮(31)与所述传动转轴(3)传动连接。

10.根据权利要求8所述的晶圆抛光机冷却系统，其特征在于，还包括冷却液输送管(4)，所述传动转轴(3)内部中空，所述冷却液输送管(4)穿设于所述传动转轴(3)内并伸出，且所述冷却液输送管(4)的一端与所述冷却液进口(13)连通，所述冷却液输送管(4)的另一端与输送泵连通。

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