CN218916245U - 一种沟槽形貌监控结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种沟槽形貌监控结构，包括沟槽形貌台阶监控仪，所述沟槽形貌台阶监控仪的内部的中间位置设有监测台，所述监测台的上方设有触针，所述沟槽形貌台阶监控仪设在固定底板的上方，所述固定底板的上方的后端设有支撑架，所述支撑架上设有高度调节滑套，所述高度调节滑套的前端设有悬空架，所述悬空架的前端设有方位调节盘，所述方位调节盘的内部设有环形轨道。该实用新型中在原有设备的基础的后端加装摄像头，且摄像头的高度、方位及角度均可调节，使摄像头使用具有较好的灵活性，通过摄像头可以将触针的位置以及沟槽的外形以画面的形式展示，使工作人员更直观的监控，增加监控的准确性。

Description

一种沟槽形貌监控结构

技术领域

本实用新型涉及沟槽形貌监控结构相关领域，具体为一种沟槽形貌监控结构。

背景技术

沟槽形貌监控主要是针对芯片上沟槽刻蚀的形貌进行测量，沟槽表面形貌测量的仪器为台阶仪，根据使用传感器的不同，接触式台阶测量可分为电感式、压电式和光电式三种，台阶仪测量精度较高、量程大、测量结果稳定可靠、重复性好，此外它还可以作为其它形貌测量技术的比对。

现有技术中对于沟槽形貌在测量的过程中，由于芯片上开槽的区域比较狭小，测量时，工作人员不能对触针测量的位置进行监控，若是测量位置不佳，不能够及时被发现，不方便对触针测量的位置进行定位。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种沟槽形貌监控结构，以解决上述背景技术中提出的由于芯片上开槽的区域比较狭小，测量时，工作人员不能对触针测量的位置进行监控，若是测量位置不佳，不能够及时被发现，不方便对触针测量的位置进行定位的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种沟槽形貌监控结构，包括沟槽形貌台阶监控仪，所述沟槽形貌台阶监控仪的内部的中间位置设有监测台，所述监测台的上方设有触针，所述沟槽形貌台阶监控仪设在固定底板的上方，所述固定底板的上方的后端设有支撑架，所述支撑架上设有高度调节滑套，所述高度调节滑套的前端设有悬空架，所述悬空架的前端设有方位调节盘，所述方位调节盘的内部设有环形轨道，所述环形轨道的内部的前端设有U型定位座，所述U型定位座的内部设有摄像头，所述固定底板的一侧设有支架，所述支架的一侧设有显示屏。

在进一步的实施例中，所述触针的输入端与传感器的输出端连接，且传感器与显示屏通过主控模块连接。

在进一步的实施例中，所述摄像头的输入端与视频服务器的输出端连接，且视频服务器与显示屏通过局域网连接。

在进一步的实施例中，所述悬空架与高度调节滑套通过卡块与卡槽连接，所述高度调节滑套与支撑架通过第二紧固螺栓固定连接，且卡块的横截面设为三角结构。

在进一步的实施例中，所述摄像头与U型定位座通过滑槽滑动连接，所述摄像头与滑槽通过第三紧固螺栓固定连接，且摄像头与第三紧固螺栓通过铰链铰接连接。

在进一步的实施例中，所述U型定位座与环形轨道的后端通过第一紧固螺栓固定连接，且环形轨道设为四分之三环形结构。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、该实用新型中在原有设备的基础的后端加装摄像头，且摄像头的高度、方位及角度均可调节，使摄像头使用具有较好的灵活性，通过摄像头可以将触针的位置以及沟槽的外形以画面的形式展示，使工作人员更直观的监控，增加监控的准确性，高度调节是通过高度调节滑套上下移动进行调节，方位调节是顺着环形轨道的路径进行移动，使摄像头位于正上方、左方位、右方位、斜右上、斜右下、斜左上、斜左下等方位进行调节，使摄像头位于所需的拍摄方向，角度是通过铰链进行上下调节，从而使摄像头位于最佳的拍摄角度，通过摄像头可以对触针所需的位置放大拍摄，更便于对触针的位置进行定位，工作人员可以通过显示屏对摄像头拍摄的画面进行观看，更加明确触针的工作方向，可以及时发现故障，提高触针测量的精准性。

附图说明

图1为本实用新型的一种沟槽形貌监控结构的结构示意图；

图2为本实用新型的一种沟槽形貌监控结构的侧视图；

图3为本实用新型的A部细节结构示意图；

图4为本实用新型的悬空架的拆分结构示意图；

图5为本实用新型的支撑架的后视图；

图6为本实用新型的支撑架的前视图；

图7为本实用新型的原理框图。

图中：1、支撑架；2、摄像头；3、方位调节盘；4、触针；5、沟槽形貌台阶监控仪；6、监测台；7、支架；8、显示屏；9、固定底板；10、第一紧固螺栓；11、悬空架；12、高度调节滑套；13、第二紧固螺栓；14、第三紧固螺栓；15、滑槽；16、U型定位座；17、卡块；18、卡槽；19、环形轨道；20、传感器；21、主控模块；22、视频服务器；23、局域网。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

请参阅图1-7，本实用新型提供的一种实施例：一种沟槽形貌监控结构，包括沟槽形貌台阶监控仪5，沟槽形貌台阶监控仪5的内部的中间位置设有监测台6，监测台6的上方设有触针4，沟槽形貌台阶监控仪5设在固定底板9的上方，固定底板9的上方的后端设有支撑架1，支撑架1上设有高度调节滑套12，高度调节滑套12的前端设有悬空架11，悬空架11的前端设有方位调节盘3，方位调节盘3的内部设有环形轨道19，环形轨道19的内部的前端设有U型定位座16，U型定位座16的内部设有摄像头2，固定底板9的一侧设有支架7，支架7的一侧设有显示屏8。

通过触针4用于对沟槽的形貌进行测量，通过固定底板9用于增加底部的稳固性，通过支撑架1用于将高度调节滑套12安装调节，通过高度调节滑套12用于对悬空架11的高度进行调节，通过方位调节盘3用于将摄像头2安装，通过U型定位座16用于将摄像头2安装，通过摄像头2用于将监控画面进行拍摄，通过支架7用于将显示屏8安装，通过显示屏8用于将监控的画面进行显示。

进一步，触针4的输入端与传感器20的输出端连接，且传感器20与显示屏8通过主控模块21连接。

进一步，摄像头2的输入端与视频服务器22的输出端连接，且视频服务器22与显示屏8通过局域网23连接。

进一步，悬空架11与高度调节滑套12通过卡块17与卡槽18连接，高度调节滑套12与支撑架1通过第二紧固螺栓13固定连接，且卡块17的横截面设为三角结构。

通过卡块17与卡槽18连接便于将悬空架11安装固定，通过第二紧固螺栓13用于将高度调节滑套12的位置进行固定。

进一步，摄像头2与U型定位座16通过滑槽15滑动连接，摄像头2与滑槽15通过第三紧固螺栓14固定连接，且摄像头2与第三紧固螺栓14通过铰链铰接连接。

通过滑槽15用于将摄像头2的前后位置进行调节，通过第三紧固螺栓14用于将摄像头2的安装位置进行固定，通过铰链用于将摄像头2的上下角度进行调节定位。

进一步，U型定位座16与环形轨道19的后端通过第一紧固螺栓10固定连接，且环形轨道19设为四分之三环形结构。

通过第一紧固螺栓10用于将U型定位座16的位置进行固定。

工作原理：使用时，将所需测量沟槽的工件放置在监测台6上，通过触针4对工件上的沟槽的形貌进行测量，通过传感器20将输出的信号经过测量的电桥之后，输出的信号与触针4的偏离平衡位置的位移成正比的调幅信号，由主控模块21转化，通过显示屏8显示，根据触针4工作的位置，通过高度调节滑套12将摄像头2移动至所需的高度，通过第二紧固螺栓13固定，再将U型定位座16顺着环形轨道19的路径滑动，使摄像头2移动至所需的方位，通过第一紧固螺栓10固定，再将摄像头2上下旋转至所需拍摄角度，通过摄像头2对沟槽测量的位置进行拍摄，通过视频服务器22将信息转化，通过局域网23将拍摄的画面传输至显示屏8上进行显示，便于对沟槽的外形以及触针4的位置进行监控。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (6)

1.一种沟槽形貌监控结构，包括沟槽形貌台阶监控仪(5)，其特征在于：所述沟槽形貌台阶监控仪(5)的内部的中间位置设有监测台(6)，所述监测台(6)的上方设有触针(4)，所述沟槽形貌台阶监控仪(5)设在固定底板(9)的上方，所述固定底板(9)的上方的后端设有支撑架(1)，所述支撑架(1)上设有高度调节滑套(12)，所述高度调节滑套(12)的前端设有悬空架(11)，所述悬空架(11)的前端设有方位调节盘(3)，所述方位调节盘(3)的内部设有环形轨道(19)，所述环形轨道(19)的内部的前端设有U型定位座(16)，所述U型定位座(16)的内部设有摄像头(2)，所述固定底板(9)的一侧设有支架(7)，所述支架(7)的一侧设有显示屏(8)。

2.根据权利要求1所述的一种沟槽形貌监控结构，其特征在于：所述触针(4)的输入端与传感器(20)的输出端连接，且传感器(20)与显示屏(8)通过主控模块(21)连接。

3.根据权利要求1所述的一种沟槽形貌监控结构，其特征在于：所述摄像头(2)的输入端与视频服务器(22)的输出端连接，且视频服务器(22)与显示屏(8)通过局域网(23)连接。

4.根据权利要求1所述的一种沟槽形貌监控结构，其特征在于：所述悬空架(11)与高度调节滑套(12)通过卡块(17)与卡槽(18)连接，所述高度调节滑套(12)与支撑架(1)通过第二紧固螺栓(13)固定连接，且卡块(17)的横截面设为三角结构。

5.根据权利要求1所述的一种沟槽形貌监控结构，其特征在于：所述摄像头(2)与U型定位座(16)通过滑槽(15)滑动连接，所述摄像头(2)与滑槽(15)通过第三紧固螺栓(14)固定连接，且摄像头(2)与第三紧固螺栓(14)通过铰链铰接连接。

6.根据权利要求1所述的一种沟槽形貌监控结构，其特征在于：所述U型定位座(16)与环形轨道(19)的后端通过第一紧固螺栓(10)固定连接，且环形轨道(19)设为四分之三环形结构。

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