CN218910602U - 一种便于更换电加热模块的晶体生长炉 - Google Patents

一种便于更换电加热模块的晶体生长炉 Download PDF

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CN218910602U CN202320119863.5U CN202320119863U CN218910602U CN 218910602 U CN218910602 U CN 218910602U CN 202320119863 U CN202320119863 U CN 202320119863U CN 218910602 U CN218910602 U CN 218910602U
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China
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electric heating
heating module
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ceramic fiber
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何军舫
王军勇
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Boyu Semiconductor Vessel Craftwork Technology Co ltd
Boyu Zhaoyang Semiconductor Technology Co ltd
Boyu Tianjin Semiconductor Material Co ltd
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Boyu Semiconductor Vessel Craftwork Technology Co ltd
Boyu Zhaoyang Semiconductor Technology Co ltd
Boyu Tianjin Semiconductor Material Co ltd
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Abstract

本申请公开了一种便于更换电加热模块的晶体生长炉,包括生长炉主体及固定销;生长炉主体包括电加热模块、陶瓷纤维毯及纤维棉圈;电加热模块及陶瓷纤维毯均设置为圆筒状;电加热模块的外围沿轴线方向可拆卸的套设有陶瓷纤维毯;电加热模块与陶瓷纤维毯轴线重合;电加热模块与陶瓷纤维毯的顶端及底端均共同可拆卸的设置有纤维棉圈;加热模块包括模块拼接体;模块拼接体的顶面及底面分别设置为第一拼接面及第二拼接面;第一拼接面与第二拼接面相匹配的设置;模块拼接体沿生长炉主体的轴线方向上下拼接设置有多个。本申请的便于更换电加热模块的晶体生长炉拼接高效、使用寿命长、稳定牢靠不漏温。

Description

一种便于更换电加热模块的晶体生长炉
技术领域
本申请涉及晶体生长技术领域,尤其涉及一种便于更换电加热模块的晶体生长炉。
背景技术
陶瓷纤维电加热模块是以陶瓷纤维为原材料,通过吸滤、强化、烘干、整修等工艺加工制成的,具有重量轻、耐高温、热容小、热稳定性好、导热率低、比热小等特性的一种耐火隔热加热模块。将电阻丝嵌入到耐火材料中,形成集发热和隔热的一体炉膛,有更好的隔热性能、结构强度以及耐骤冷骤热,可以作为各种加热器耐热保温的炉衬材料。
目前多数晶体生长炉中的最内层保温层采用真空吸附的电加热模块,升温快、保温好,但是电阻丝和电加热模块是有一定寿命的,若某处炉丝发生熔断或者电加热模块发生破损等异常,整个炉膛都会随之报废,给生产工作带来了较为麻烦的问题,同时也增加了设备费用,所以需要一种便于更换电加热模块的晶体生长炉,电加热模块分为多个模块拼接体,可以对应温区单独替换模块拼接体,方便炉体检修更换,有效延长炉体使用年限。
发明内容
鉴于现有技术中的上述缺陷或不足,期望提供一种拼接高效、使用寿命长、稳定牢靠不漏温的便于更换电加热模块的晶体生长炉。
本申请提供的一种便于更换电加热模块的晶体生长炉,包括生长炉主体及固定销;
生长炉主体包括电加热模块、陶瓷纤维毯及纤维棉圈;电加热模块及陶瓷纤维毯均设置为圆筒状;电加热模块的外围沿轴线方向可拆卸的套设有陶瓷纤维毯;电加热模块与陶瓷纤维毯轴线重合;电加热模块与陶瓷纤维毯的顶端及底端均共同可拆卸的设置有纤维棉圈;
电加热模块包括模块拼接体;模块拼接体的顶面及底面分别设置为第一拼接面及第二拼接面;第一拼接面与第二拼接面相匹配的设置;模块拼接体沿生长炉主体的轴线方向上下拼接设置有多个。
优选的,第一拼接面包括第一凹槽及第一凸起;第二拼接面包括第二凸起及第二凹槽;第一凹槽与第二凸起相匹配的设置;第一凸起与第二凹槽相匹配的设置;第一凹槽的顶面、第一凸起的顶面、第二凸起的底面及第二凹槽的底面均倾斜设置,且倾斜角度相同,且倾斜角度范围为120~150°。
优选的,模块拼接体的顶端外壁及底端外壁相互匹配的均固定开设有销孔;销孔的轴线方向与第一凹槽的顶面垂直。
优选的,上下对应的两个销孔内可拆卸的设置有固定销,用于固定上下拼接的两个模块拼接体。
相对于现有技术而言,本申请的有益效果是:
本申请通过设置模块拼接体,电加热模块由多个模块拼接体上下拼接组成,每个模块拼接体中均设置有电阻丝,可实现电加热模块损坏、老化部分的可拆卸更换,可对应单独温区实现模块拼接体的更换,具有更换拼接高效、可长期使用的优点,且模块拼接体上的第一拼接面及第二拼接面的形状均呈现闪电状,拼接时无缝隙,相互咬合稳定性高,拼接起来简单方便,配合固定销增加拼接后的稳定性,使生长炉主体在开合时不会由于重力或者震动导致模块拼接体的松动错位,炉膛与外界没有直入直出的缝隙,避免了拼接处的漏温问题。
应当理解,发明内容部分中所描述的内容并非旨在限定本申请的实施例的关键或重要特征,亦非用于限制本申请的范围。本申请的其它特征将通过以下的描述变得容易理解。
附图说明
通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述,本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显:
图1为本申请实施例提供的一种便于更换电加热模块的晶体生长炉的结构示意图;
图2为本申请实施例提供的一种便于更换电加热模块的晶体生长炉的电加热模块的结构示意图。
图中标号:1、生长炉主体;2、固定销;
11、电加热模块;12、陶瓷纤维毯;13、纤维棉圈;14、模块拼接体;
21、第一拼接面;22、第二拼接面;23、第一凹槽;24、第一凸起;25、第二凸起;26、第二凹槽;27、销孔。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是,此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关申请,而非对该申请的限定。另外还需要说明的是,为了便于描述,附图中仅示出了与申请相关的部分。
需要说明的是,在不冲突的情况下,本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。
请参考图1、图2,本申请的实施例提供了一种便于更换电加热模块的晶体生长炉,包括生长炉主体1及固定销2;
生长炉主体1包括电加热模块11、陶瓷纤维毯12及纤维棉圈13;电加热模块11及陶瓷纤维毯12均设置为圆筒状;电加热模块11的外围沿轴线方向可拆卸的套设有陶瓷纤维毯12;电加热模块11与陶瓷纤维毯12轴线重合;电加热模块11与陶瓷纤维毯12的顶端及底端均共同可拆卸的设置有纤维棉圈13;
电加热模块11包括模块拼接体14;模块拼接体14的顶面及底面分别设置为第一拼接面21及第二拼接面22;第一拼接面21与第二拼接面22相匹配的设置;模块拼接体14沿生长炉主体1的轴线方向上下拼接设置有多个。
在该实施例中,电加热模块11由多个模块拼接体14上下拼接组成,每个模块拼接体14中均设置有电阻丝,可实现电加热模块11损坏、老化部分的可拆卸更换,可对应单独温区实现模块拼接体14的更换,具有更换拼接高效、可长期使用的优点,且模块拼接体14上的第一拼接面21及第二拼接面22的形状均呈现闪电状,拼接时无缝隙,相互咬合稳定性高,拼接起来简单方便,配合固定销2增加拼接后的稳定性,使生长炉主体1在开合时不会由于重力或者震动导致模块拼接体14的松动错位,炉膛与外界没有直入直出的缝隙,避免了拼接处的漏温问题。
在一优选的实施例中,第一拼接面21包括第一凹槽23及第一凸起24;第二拼接面22包括第二凸起25及第二凹槽26;第一凹槽23与第二凸起25相匹配的设置;第一凸起24与第二凹槽26相匹配的设置;第一凹槽23的顶面、第一凸起24的顶面、第二凸起25的底面及第二凹槽26的底面均倾斜设置,且倾斜角度相同,且倾斜角度范围为120~150°。
在一优选的实施例中,模块拼接体14的顶端外壁及底端外壁相互匹配的均固定开设有销孔27;销孔27的轴线方向与第一凹槽23的顶面垂直。
在一优选的实施例中,上下对应的两个销孔27内可拆卸的设置有固定销2,用于固定上下拼接的两个模块拼接体14。
请参考图1、图2,在该实施例中,模块拼接体14上的第一拼接面21与第二拼接面22相互匹配的设置,可以在相邻的两个模块拼接体14拼接时互相咬合,第一拼接面21及第二拼接面22均设计成台阶错位的样式,倾斜角度为120~150°,第一拼接面21及第二拼接面22的形状均呈现闪电状,拼接时无缝隙,且相互咬合稳定性高,拼接起来简单方便。
上下对应的两个销孔27在相邻的两个模块拼接体14拼接时呈现一个完整的圆柱孔,相邻的两个模块拼接体14拼接后在圆柱孔内插入圆柱状的固定销2完成两个模块拼接体14的拼接固定。
固定销2插入后与第一拼接面21及第二拼接面22均垂直,使第一拼接面21及第二拼接面22咬合稳定,拼接紧凑,这种拼接固定方式使生长炉主体1开合时不会由于重力或者震动导致模块拼接体14的松动错位,同时炉膛与外界没有直入直出的缝隙,在一定程度上避免了拼接处的漏温问题。
在一优选的实施例中,所述固定销2由耐高温材料制成。
在本说明书的描述中,术语“连接”、“安装”、“固定”等均应做广义理解,例如,“连接”可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
在本说明书的描述中,术语“一个实施例”、“一些实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或特点包含于本申请的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或实例。而且,描述的具体特征、结构、材料或特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
以上仅为本申请的优选实施例而已,并不用于限制本申请,对于本领域的技术人员来说,本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (4)

1.一种便于更换电加热模块的晶体生长炉,其特征在于,包括生长炉主体及固定销;
所述生长炉主体包括电加热模块、陶瓷纤维毯及纤维棉圈;所述电加热模块及所述陶瓷纤维毯均设置为圆筒状;所述电加热模块的外围沿轴线方向可拆卸的套设有所述陶瓷纤维毯;所述电加热模块与所述陶瓷纤维毯轴线重合;所述电加热模块与所述陶瓷纤维毯的顶端及底端均共同可拆卸的设置有所述纤维棉圈;
所述电加热模块包括模块拼接体;所述模块拼接体的顶面及底面分别设置为第一拼接面及第二拼接面;所述第一拼接面与所述第二拼接面相匹配的设置;所述模块拼接体沿所述生长炉主体的轴线方向上下拼接设置有多个。
2.根据权利要求1所述的便于更换电加热模块的晶体生长炉,其特征在于,所述第一拼接面包括第一凹槽及第一凸起;所述第二拼接面包括第二凸起及第二凹槽;所述第一凹槽与所述第二凸起相匹配的设置;所述第一凸起与所述第二凹槽相匹配的设置;所述第一凹槽的顶面、所述第一凸起的顶面、所述第二凸起的底面及所述第二凹槽的底面均倾斜设置,且倾斜角度相同,且倾斜角度范围为120~150°。
3.根据权利要求2所述的便于更换电加热模块的晶体生长炉,其特征在于,所述模块拼接体的顶端外壁及底端外壁相互匹配的均固定开设有销孔;所述销孔的轴线方向与所述第一凹槽的顶面垂直。
4.根据权利要求3所述的便于更换电加热模块的晶体生长炉,其特征在于,上下对应的两个所述销孔内可拆卸的设置有所述固定销,用于固定上下拼接的两个所述模块拼接体。
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