CN218902400U - 一种外延片镀膜装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及镀膜装置技术领域，具体涉及一种外延片镀膜装置，包括箱体、镀膜机构和冷却组件，冷却组件包括风机、冷风管、出风板和干燥板，箱体对镀膜机构和冷却组件提供安装条件，镀膜机构用于对箱体内的外延片镀膜，冷却组件对镀膜后的外延片吹风，提高镀膜效率，具体的，通过风机往冷风管内吹风，冷风管将风制冷后吹入出风板，出风板再将冷风吹出作用于箱体内镀膜的外延片，使得外延片快速冷却，提高了外延片镀膜的效率，干燥板的设置，用于干燥冷风管内的风，防止吹入潮湿的冷风引起镀膜后的外延片气泡，影响镀膜效果，解决现有镀膜装置镀膜后自然冷却，消耗时间长，降低镀膜效率的问题。

Description

一种外延片镀膜装置

技术领域

本实用新型涉及镀膜装置技术领域，尤其涉及一种外延片镀膜装置。

背景技术

目前市面上现有的外延片镀膜设备，在喷射镀膜过程中，固定喷枪喷蛇镀膜稳定性较差，喷射镀膜不均匀，加工效率差。

现有技术CN215964334U提供了半导体生产用镀膜设备，包括箱体和镀膜喷射机构，镀膜喷射机构设置在箱体内，镀膜喷射机构包括五号固定板、六号固定板、三号电机、三号连接杆、固定架和喷射头，五号固定板下端连接有六号固定板，六号固定板上表面连接有三号电机，三号连接杆设置于五号固定板一侧，三号连接杆下端连接有固定架，固定架内部接有喷射头，该装置通过五号固定板和六号固定板对三号电机提供安装条件，打开三号电机，带动三号连接杆和固定架转动，从而带动喷射头转动，实现对半导体片进行均匀喷洒镀膜。

但上述技术外延片镀膜后通过自然冷却的方式进行冷却，自然冷却消耗时间长，将大大提高镀膜消耗时间，降低镀膜的效率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种外延片镀膜装置，旨在解决现有镀膜装置镀膜后自然冷却，消耗时间长，降低镀膜效率的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种外延片镀膜装置，包括箱体、镀膜机构和冷却组件，所述镀膜机构设置于所述箱体内，所述冷却组件包括风机、冷风管、出风板和干燥板；所述出风板与所述箱体固定连接，且位于所述箱体内，所述冷风管与所述出风板连通，并贯穿所述箱体，所述风机与所述冷风管固定连接，且位于远离所述出风板一侧，所述干燥板与所述冷风管滑动连接，并贯穿所述冷风管。

其中，所述冷风管包括导管和制冷片，所述导管分别与所述出风板和所述风机连通，且位于所述出风板和所述风机之间，所述制冷片与所述导管固定连接，并贯穿所述导管。

其中，所述出风板包括导风板和出气嘴，所述导风板与所述箱体固定连接，且位于所述箱体内，所述出气嘴与所述导风板连通，且位于靠近所述镀膜机构一侧。

其中，所述冷却组件还包括防尘网和连接架，所述连接架设置于所述风机一侧，所述防尘网与所述连接架拆卸连接，且位于远离所述风机一侧。

其中，所述连接架还包括安装架和转动夹，所述安装架与所述风机固定连接，且位于所述风机一侧，所述转动夹与所述安装架转动连接，且位于远离所述风机一侧。

本实用新型的一种外延片镀膜装置，所述箱体对所述镀膜机构和所述冷却组件提供安装条件，所述镀膜机构用于对所述箱体内的外延片镀膜，所述冷却组件对镀膜后的外延片吹风，提高镀膜效率，具体的，通过所述风机往所述冷风管内吹风，所述冷风管将风制冷后吹入所述出风板，所述出风板再将冷风吹出作用于所述箱体内镀膜的外延片，使得外延片快速冷却，提高了外延片镀膜的效率，所述干燥板的设置，用于干燥所述冷风管内的风，防止吹入潮湿的冷风引起镀膜后的外延片气泡，影响镀膜效果，解决现有镀膜装置镀膜后自然冷却，消耗时间长，降低镀膜效率的问题。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。

图1是本实用新型一种外延片镀膜装置第一实施例的结构示意图。

图2是本实用新型一种外延片镀膜装置第二实施例的结构示意图。

图3是本实用新型一种外延片镀膜装置第二实施例沿导管方向的剖视图。

101-箱体、102-镀膜机构、103-风机、104-干燥板、105-导管、106-制冷片、107-导风板、108-出气嘴、201-防尘网、202-安装架、203-转动夹。

具体实施方式

本申请第一实施例为：

请参阅图1，图1是本实用新型的结构示意图，包括箱体101、镀膜机构102和冷却组件，所述冷却组件包括风机103、冷风管、出风板和干燥板104，所述冷风管包括导管105和制冷片106，所述出风板包括导风板107和出气嘴108，通过前述方案解决现有镀膜装置镀膜后自然冷却，消耗时间长，降低镀膜效率的问题，可以理解的是，前述方案可以用于半导体生成场景，还可以避免灰尘和潮湿空气对镀膜外延片造成影响的问题。

针对本具体实施方式，所述镀膜机构102设置于所述箱体101内，所述箱体101对所述镀膜机构102和所述冷却组件提供安装条件，所述镀膜喷射机构包括一号固定板、二号固定板、一号电机、螺纹杆、三号固定板、一号连接块、一号连接杆、三号连接杆、一号弹簧、二号弹簧、夹板、三号弹簧、四号固定板、一号连接板、一号齿牙、二号电机、转盘、二号齿牙、五号固定板、六号固定板、三号电机、三号连接杆、固定架和喷射头，具体的，通过一号电机转动，从而带动三号固定板左右移动，当三号固定板向右移动到玻璃门时，把外延片放到两夹板中间，然后再通过一号电机转动把外延片移动到所述箱体101底部中间位置，然后打开三号电机，带动固定架转动，从而带动喷射头转动，从而实现对外延片进行喷洒镀膜。通过打开二号电机，从而带动两个一号连接板循环上下移动，从而带动四号固定上下移动，从而带动喷射头循环上下来回移动，从而对外延片进行全方位喷射镀膜。

其中，所述出风板与所述箱体101固定连接，且位于所述箱体101内，所述冷风管与所述出风板连通，并贯穿所述箱体101，所述风机103与所述冷风管固定连接，且位于远离所述出风板一侧，所述干燥板104与所述冷风管滑动连接，并贯穿所述冷风管，通过所述风机103往所述冷风管内吹风，所述冷风管将风制冷后吹入所述出风板，所述出风板再将冷风吹出作用于所述箱体101内镀膜的外延片，使得外延片快速冷却，提高了外延片镀膜的效率，所述干燥板104的设置，用于干燥所述冷风管内的风，防止吹入潮湿的冷风引起镀膜后的外延片气泡，影响镀膜效果。

其次，所述导管105分别与所述出风板和所述风机103连通，且位于所述出风板和所述风机103之间，所述制冷片106与所述导管105固定连接，并贯穿所述导管105，所述制冷片106为半导体制冷片，为现有市面上的常用技术，用于制冷所述导管105内的风，所述导管105将冷风吹入所述出风板。

同时，所述导风板107与所述箱体101固定连接，且位于所述箱体101内，所述出气嘴108与所述导风板107连通，且位于靠近所述镀膜机构102一侧，所述导风板107将所述冷风分别导入若干所述出气嘴108内，经所述出气嘴108均匀吹出，使得所述箱体101内的外延片快速均匀的冷却。

所述冷却组件运作时，通过所述风机103往所述导管105内吹风，所述制冷片106将风制冷，所述干燥板104将冷风干燥处理，最后通过所述导管105导入所述导风板107内，所述导风板107将所述冷风分别导入若干所述出气嘴108内，经所述出气嘴108均匀吹出，使得所述箱体101内的外延片快速均匀的冷却，提高了外延片镀膜的效率。

本申请第二实施例为：

在第一实施例的基础上，请参阅图2-图3，图2是本实用新型的结构示意图，图3是本实用新型沿导管方向的剖视图，本实施例的所述冷却组件还包括防尘网201和连接架，所述连接架还包括安装架202和转动夹203。

针对本具体实施方式，所述连接架设置于所述风机103一侧，所述防尘网201与所述连接架拆卸连接，且位于远离所述风机103一侧，所述连接架对所述防尘网201提供安装条件，所述防尘网201的设置，避免所述风机103吸入外界灰尘，防止灰尘随着冷风吹入所述箱体101，影响镀膜后外延片的质量。

其中，所述安装架202与所述风机103固定连接，且位于所述风机103一侧，所述转动夹203与所述安装架202转动连接，且位于远离所述风机103一侧，所述安装架202对所述转动夹203和所述防尘网201提供安装条件，所述转动夹203用于夹持固定所述防尘网201，便于所述防尘网201的更换。

更换所述防尘网201时，打开所述转动夹203将原先的所述防尘网201取下，并更换新的所述防尘网201，再次转动所述转动夹203，将新的所述防尘网201夹持固定，即完成所述防尘网201的更换。

以上所揭露的仅为本申请一种或多种较佳实施例而已，不能以此来限定本申请之权利范围，本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例的全部或部分流程，并依本申请权利要求所作的等同变化，仍属于本申请所涵盖的范围。

Claims (5)

1.一种外延片镀膜装置，包括箱体和镀膜机构，所述镀膜机构设置于所述箱体内，其特征在于，

还包括冷却组件，所述冷却组件包括风机、冷风管、出风板和干燥板；

所述出风板与所述箱体固定连接，且位于所述箱体内，所述冷风管与所述出风板连通，并贯穿所述箱体，所述风机与所述冷风管固定连接，且位于远离所述出风板一侧，所述干燥板与所述冷风管滑动连接，并贯穿所述冷风管。

2.如权利要求1所述的一种外延片镀膜装置，其特征在于，

所述冷风管包括导管和制冷片，所述导管分别与所述出风板和所述风机连通，且位于所述出风板和所述风机之间，所述制冷片与所述导管固定连接，并贯穿所述导管。

3.如权利要求2所述的一种外延片镀膜装置，其特征在于，

所述出风板包括导风板和出气嘴，所述导风板与所述箱体固定连接，且位于所述箱体内，所述出气嘴与所述导风板连通，且位于靠近所述镀膜机构一侧。

4.如权利要求3所述的一种外延片镀膜装置，其特征在于，

所述冷却组件还包括防尘网和连接架，所述连接架设置于所述风机一侧，所述防尘网与所述连接架拆卸连接，且位于远离所述风机一侧。

5.如权利要求4所述的一种外延片镀膜装置，其特征在于，

所述连接架还包括安装架和转动夹，所述安装架与所述风机固定连接，且位于所述风机一侧，所述转动夹与所述安装架转动连接，且位于远离所述风机一侧。

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