CN218902309U - 一种生产半导体用镀膜装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种生产半导体用镀膜装置，包括镀膜箱，所述镀膜箱的内部设置有辅助机构，所述镀膜箱的一侧设置有镀膜机构，所述辅助机构的一侧设置有搅拌机构，所述镀膜箱的内底部设置有支撑机构，所述辅助机构包括两个旋转轴，所述旋转轴转动连接在所述镀膜箱的两内壁，两个所述旋转轴伸入所述镀膜箱内部的一端固定连接有电动推杆，所述电动推杆的另一端固定连接有夹紧块。有益效果在于：设置了辅助机构，辅助机构包括旋转轴，通过旋转轴驱动半导体的转动，使镀膜更加均匀；辅助机构包括电动推杆，通过电动推杆使夹紧块将半导体夹紧，保证旋转过程的稳定性；设置了搅拌机构，通过搅拌机构对涂覆液进行搅拌，使其成分均匀，保证镀膜质量。

Description

一种生产半导体用镀膜装置

技术领域

本实用新型涉及半导体生产领域，特别是涉及一种生产半导体用镀膜装置。

背景技术

锗、硅、硒、砷化镓及许多金属氧化物和金属硫化物等物体，它们的导电能力介于导体和绝缘体之间，叫做半导体，在半导体的生产过程中需要进行镀膜，镀膜的作用主要有：1、让物体表面长时间处于一种崭新的状态；2、让物体表面不会轻易受到外界物质的污染或者影响；3、在清理物体表面时可以轻松的把物体表面的一些污质清理掉。

经检索中国专利公开号为CN212596713U公开了一种半导体生产用镀膜装置，涉及半导体技术领域，包括底板和半导体，所述底板顶面开设有圆槽，所述圆槽内放置有所述半导体，所述底板上设置有圆管，所述圆管外侧设置有限位机构，所述圆管上方设置有固定管，所述固定管内侧开设有环形槽一，所述环形槽一开设在所述固定管下端，所述固定管内设置有筒体，所述筒体转动设置在所述固定管内，所述筒体内设置有涂覆液，所述筒体内设置有活塞，所述活塞顶部固定设置有竖杆，所述竖杆顶端贯穿所述筒体并向上延伸，所述筒体底部设置有多个孔洞，所述筒体底面设置有涂抹柔软垫。

上述专利解决了现有的镀膜装置在对半导体进行镀膜时，容易发生偏移，影响了镀膜效果的问题，但是在镀膜的过程中镀膜不均匀。

实用新型内容

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种生产半导体用镀膜装置。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的：

一种生产半导体用镀膜装置，包括镀膜箱，所述镀膜箱的内部设置有辅助机构，所述镀膜箱的一侧设置有镀膜机构，所述辅助机构的一侧设置有搅拌机构，所述镀膜箱的内底部设置有支撑机构，所述辅助机构包括两个旋转轴，所述旋转轴转动连接在所述镀膜箱的两内壁，两个所述旋转轴伸入所述镀膜箱内部的一端固定连接有电动推杆，所述电动推杆的另一端固定连接有夹紧块，所述镀膜箱的一侧固定连接有电机，所述电机的输出端通过联轴器连接有所述旋转轴。

优选的，所述镀膜机构包括涂覆液储存箱，所述涂覆液储存箱固定连接在所述镀膜箱的一侧，所述涂覆液储存箱的内底壁固定连接有泵体，所述泵体的出口端固定连接有管道，所述管道的另一端固定连接有喷头，所述喷头固定连接在所述镀膜箱的内顶壁。

优选的，所述搅拌机构包括搅拌杆，所述搅拌杆转动连接在所述涂覆液储存箱的顶部，所述搅拌杆的顶部固定连接有从动锥齿轮，所述旋转轴远离所述电机的一端伸出所述镀膜箱并固定连接有主动锥齿轮，所述主动锥齿轮与所述从动锥齿轮啮合，所述搅拌杆的底部伸入所述涂覆液储存箱内部，所述搅拌杆上固定连接有位于所述涂覆液储存箱内部的螺旋搅拌叶。

优选的，所述镀膜箱的前侧一端铰接有开合门，所述开合门的前侧设置有玻璃窗，所述开合门的前侧固定连接有位于所述玻璃窗一侧的把手。

优选的，所述支撑机构包括液压缸，所述液压缸固定连接在所述镀膜箱的内底壁，所述液压缸的顶部固定连接有载物台。

优选的，所述镀膜箱的内顶壁固定连接有限位管，所述限位管的前侧设置有透明块，所述喷头位于所述限位管内，所述旋转轴转动连接在所述限位管的管壁且所述电动推杆位于所述限位管内。

有益效果在于：设置了辅助机构，辅助机构包括旋转轴，通过旋转轴驱动半导体的转动，使镀膜更加均匀；辅助机构包括电动推杆，通过电动推杆使夹紧块将半导体夹紧，保证旋转过程的稳定性；设置了搅拌机构，通过搅拌机构对涂覆液进行搅拌，使其成分均匀，保证镀膜质量。

本实用新型的附加技术特征及其优点将在下面的描述内容中阐述地更加明显，或通过本实用新型的具体实践可以了解到。

附图说明

附图是用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本实用新型，但并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1是本实用新型所述一种生产半导体用镀膜装置的示意图；

图2是本实用新型所述一种生产半导体用镀膜装置的内部结构示意图；

图3是本实用新型所述一种生产半导体用镀膜装置的内部结构前视图；

图4是本实用新型所述一种生产半导体用镀膜装置的上视图；

图5是本实用新型所述一种生产半导体用镀膜装置的右视图。

附图标记说明如下：1、镀膜箱；101、开合门；1011、玻璃窗；1012、把手；2、辅助机构；201、电机；202、旋转轴；203、电动推杆；204、夹紧块；3、镀膜机构；301、涂覆液储存箱；302、泵体；303、管道；304、喷头；4、搅拌机构；401、主动锥齿轮；402、搅拌杆；403、从动锥齿轮；404、螺旋搅拌叶；5、支撑机构；501、液压缸；502、载物台；6、限位管；601、透明块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

下面结合附图对本实用新型作进一步说明：

实施例

如图1-图5所示，一种生产半导体用镀膜装置，包括镀膜箱1，镀膜箱1的内部设置有辅助机构2，镀膜箱1的一侧设置有镀膜机构3，辅助机构2的一侧设置有搅拌机构4，镀膜箱1的内底部设置有支撑机构5，辅助机构2包括两个旋转轴202，旋转轴202转动连接在镀膜箱1的两内壁，两个旋转轴202伸入镀膜箱1内部的一端固定连接有电动推杆203，电动推杆203的另一端固定连接有夹紧块204，镀膜箱1的一侧螺栓连接有电机201，电机201的输出端通过联轴器连接有旋转轴202，启动电机201，电机201驱动旋转轴202转动，旋转轴202驱动电动推杆203转动，电动推杆203驱动夹紧块204带着半导体元件转动。

在本实施例中，镀膜机构3包括涂覆液储存箱301，涂覆液储存箱301螺栓连接在镀膜箱1的一侧，涂覆液储存箱301的内底壁螺栓连接有泵体302，泵体302的出口端固定连接有管道303，管道303的另一端固定连接有喷头304，喷头304固定连接在镀膜箱1的内顶壁，在泵体302的作用下将涂覆液储存箱301中的涂覆液经管道303输送至喷头304，然后对旋转中的半导体进行均匀镀膜。

在本实施例中，搅拌机构4包括搅拌杆402，搅拌杆402通过轴承转动连接在涂覆液储存箱301的顶部，搅拌杆402的顶部固定连接有从动锥齿轮403，旋转轴202远离电机201的一端伸出镀膜箱1并固定连接有主动锥齿轮401，主动锥齿轮401与从动锥齿轮403啮合，搅拌杆402的底部伸入涂覆液储存箱301内部，搅拌杆402上固定连接有位于涂覆液储存箱301内部的螺旋搅拌叶404，旋转轴202转动的同时驱动主动锥齿轮401转动，主动锥齿轮401与从动锥齿轮403啮合从而驱动从动锥齿轮403转动，从动锥齿轮403驱动搅拌杆402转动，搅拌杆402驱动螺旋搅拌叶404转动，对涂覆液储存箱301中的涂覆液进行搅拌，防止时间过长涂覆液出现沉淀成分不均匀，影响镀膜质量。

在本实施例中，镀膜箱1的前侧一端铰接有开合门101，开合门101的前侧设置有玻璃窗1011，开合门101的前侧焊接有位于玻璃窗1011一侧的把手1012，通过玻璃窗1011便于随时观察镀膜箱1中的情况。

在本实施例中，支撑机构5包括液压缸501，液压缸501固定连接在镀膜箱1的内底壁，液压缸501的顶部固定连接有载物台502。

在本实施例中，镀膜箱1的内顶壁固定连接有限位管6，限位管6的前侧设置有透明块601，喷头304位于限位管6内，旋转轴202转动连接在限位管6的管壁且电动推杆203位于限位管6内，通过透明块601将载物台502升到合适的位置保证能将半导体夹紧。

工作原理：在本实用新型中，首先通过把手1012打开开合门101，将半导体元件放在载物台502的顶部中间，通过液压缸501使载物台502上升到限位管6内部，通过透明块601观察使半导体元件处于两个夹紧块204之间，通过控制电动推杆203使夹紧块204将半导体元件夹紧，将载物台502下降至限位管6的下方，启动电机201，电机201驱动旋转轴202转动，旋转轴202驱动电动推杆203转动，电动推杆203驱动夹紧块204带着半导体元件转动，在泵体302的作用下将涂覆液储存箱301中的涂覆液经管道303输送至喷头304，然后对旋转中的半导体进行均匀镀膜，旋转轴202转动的同时驱动主动锥齿轮401转动，主动锥齿轮401与从动锥齿轮403啮合从而驱动从动锥齿轮403转动，从动锥齿轮403驱动搅拌杆402转动，搅拌杆402驱动螺旋搅拌叶404转动，对涂覆液储存箱301中的涂覆液进行搅拌，防止时间过长涂覆液出现沉淀成分不均匀，影响镀膜质量，镀膜结束后，将载物台502上升至半导体下方，控制电动推杆203使夹紧块204将半导体松开放在载物台502上，使载物台502下降，打开开合门101取出镀膜后的半导体即可。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护的范围由所附的权利要求书及其效物界定。

Claims (6)

1.一种生产半导体用镀膜装置，包括镀膜箱(1)，其特征在于：所述镀膜箱(1)的内部设置有辅助机构(2)，所述镀膜箱(1)的一侧设置有镀膜机构(3)，所述辅助机构(2)的一侧设置有搅拌机构(4)，所述镀膜箱(1)的内底部设置有支撑机构(5)，所述辅助机构(2)包括两个旋转轴(202)，所述旋转轴(202)转动连接在所述镀膜箱(1)的两内壁，两个所述旋转轴(202)伸入所述镀膜箱(1)内部的一端固定连接有电动推杆(203)，所述电动推杆(203)的另一端固定连接有夹紧块(204)，所述镀膜箱(1)的一侧固定连接有电机(201)，所述电机(201)的输出端通过联轴器连接有所述旋转轴(202)。

2.根据权利要求1所述的一种生产半导体用镀膜装置，其特征在于：所述镀膜机构(3)包括涂覆液储存箱(301)，所述涂覆液储存箱(301)固定连接在所述镀膜箱(1)的一侧，所述涂覆液储存箱(301)的内底壁固定连接有泵体(302)，所述泵体(302)的出口端固定连接有管道(303)，所述管道(303)的另一端固定连接有喷头(304)，所述喷头(304)固定连接在所述镀膜箱(1)的内顶壁。

3.根据权利要求2所述的一种生产半导体用镀膜装置，其特征在于：所述搅拌机构(4)包括搅拌杆(402)，所述搅拌杆(402)转动连接在所述涂覆液储存箱(301)的顶部，所述搅拌杆(402)的顶部固定连接有从动锥齿轮(403)，所述旋转轴(202)远离所述电机(201)的一端伸出所述镀膜箱(1)并固定连接有主动锥齿轮(401)，所述主动锥齿轮(401)与所述从动锥齿轮(403)啮合，所述搅拌杆(402)的底部伸入所述涂覆液储存箱(301)内部，所述搅拌杆(402)上固定连接有位于所述涂覆液储存箱(301)内部的螺旋搅拌叶(404)。

4.根据权利要求1所述的一种生产半导体用镀膜装置，其特征在于：所述镀膜箱(1)的前侧一端铰接有开合门(101)，所述开合门(101)的前侧设置有玻璃窗(1011)，所述开合门(101)的前侧固定连接有位于所述玻璃窗(1011)一侧的把手(1012)。

5.根据权利要求1所述的一种生产半导体用镀膜装置，其特征在于：所述支撑机构(5)包括液压缸(501)，所述液压缸(501)固定连接在所述镀膜箱(1)的内底壁，所述液压缸(501)的顶部固定连接有载物台(502)。

6.根据权利要求2所述的一种生产半导体用镀膜装置，其特征在于：所述镀膜箱(1)的内顶壁固定连接有限位管(6)，所述限位管(6)的前侧设置有透明块(601)，所述喷头(304)位于所述限位管(6)内，所述旋转轴(202)转动连接在所述限位管(6)的管壁且所述电动推杆(203)位于所述限位管(6)内。

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