CN218896256U - 一种用于多色半导体的激光器合束模块 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种用于多色半导体的激光器合束模块，包括激光二极管、非球面准直镜、光束整形单元、双光楔组、合束镜组以及聚焦镜，激光二极管设置为相互并联的多个；非球面准直镜设置为相互并联多个，光束整形单元设置为相互并联的多个，双光楔组设置为相互并联的多个，合束镜组位于主光路，且设置为一组，聚焦镜设置为共用的一个；采用本实用新型所提供的用于多色半导体的激光器合束模块，能够根据实际需要实现不同精度的调节，且调节精度高，整体系统的稳定性好。

Description

一种用于多色半导体的激光器合束模块

技术领域

本实用新型涉及一种激光器合束模块，具体而言，涉及一种用于多色半导体的激光器合束模块。

背景技术

半导体激光器由于其不仅具有光电转换效率高，覆盖波长范围广、使用寿命长、能高速调制等优良的光学和电学性能，同时还有体积小、重量轻、价格便宜等特点，现在广泛地应用于各种生物医疗监测领域，尤其流式细胞分析领域。在流式细胞分析仪激光激发光路中，不同波长的激光光束从激光器发射后，在各自的子光路中经过一系列的光束整形后，多色激光束在主光路中分别通过二向色镜反射后合为一束，最后经过聚焦透镜，形成一个聚焦光斑，并入射到流动室内。

如图1所示，箭头方向为光束传播，多光路合束模块聚焦在同一个聚焦面上，在激光模块的实际使用过程中，需要调节其静态指向，即在聚焦面上建立坐标系，光束束腰能沿X和Y轴移动一定范围。传统方式是通过反射式和透射式，反射式就是将合柬镜安装在角度可调节的反射镜架上实现指向调节，而透射式就是通过一定长焦距的光学透镜，利用其光学偏心实现指向调节。但是无论上述哪种调节方式，不仅系统稳定性欠佳，且调节范围小，调节精度低，无法根据实际需要进行灵活调节。

实用新型内容

鉴于此，本实用新型提供了一种用于多色半导体的激光器合束模块，能够根据实际需要实现不同精度的调节，且调节精度高，整体系统的稳定性好。

本实用新型提供了一种用于多色半导体的激光器合束模块，包括激光二极管、非球面准直镜、光束整形单元、双光楔组、合束镜组以及聚焦镜，所述激光二极管设置为相互并联的多个，且具有不同波长；所述非球面准直镜设置为相互并联多个，所述光束整形单元设置为相互并联的多个，所述双光楔组设置为相互并联的多个，所述合束镜组位于主光路，且设置为一组，所述聚焦镜设置为共用的一个。

进一步地，每个所述激光二极管均固定在热沉上，所述热沉固定于底座上，热沉与底座之间设置有一用于控温的TEC制冷片，距离模块出光口最近的激光光路为通道一，向外分别为通道二、通道三，以此类推。

进一步地，所述非球面准直镜位于所述激光二极管的光束输出端。

进一步地，所述光束整形单元位于所述非球面准直镜的光线输出端，主要包括棱镜对和正负球面镜组成的望远镜。

进一步地，所述双光楔组由两个不平行的面组成。

进一步地，所述合束镜组包含多块二向色镜。

进一步地，所述聚焦镜位于所述模块出光口。

本实用新型所提供的一种用于多色半导体的激光器合束模块，主要包括激光二极管、非球面准直镜、光束整形单元、双光楔组、合束镜组以及聚焦镜，其中，激光二极管设置为相互并联的多个，且具有不同波长，用于提供光束；非球面准直镜设置为相互并联多个，用于将激光二极管的发散光进行准直，光束整形单元设置为相互并联的多个，可以将光束进行整形；双光楔组设置为相互并联的多个，用于将光束进行微调，合束镜组位于主光路，且设置为一组，用于辅助调节，聚焦镜设置为共用的一个，用于最后的光束聚焦；总的来说，该激光器合束模块，可以根据实际需求，更换激光二极管实现不同的波长激光输出，也可以更换聚焦镜实现不同的工作距要求，光楔的楔角可选，可以实现不同的调节精度，每一个子光路中可以同时使用光楔和长焦距透镜，就可以实现指向的进一步精确调节，因此能够根据实际需要实现不同精度的调节，且调节精度高，整体系统的稳定性好。

附图说明

通过阅读下文优选实施方式的详细描述，各种其他的优点和益处对于本领域普通技术人员将变得清楚明了。附图仅用于示出优选实施方式的目的，而并不认为是对本实用新型的限制。而且在整个附图中，用相同的参考符号表示相同的部件。在附图中：

图1为多激光集成模块指向调节示意图；

图2为本实用新型实施例提供的一种用于多色半导体的激光器合束模块的左视图；

图3为本实用新型实施例中激光二极管和热沉的固定示意图。

具体实施方式

下面将参照附图更详细地描述本公开的示例性实施例。虽然附图中显示了本公开的示例性实施例，然而应当理解，可以以各种形式实现本公开而不应被这里阐述的实施例所限制。相反，提供这些实施例是为了能够更透彻地理解本公开，并且能够将本公开的范围完整的传达给本领域的技术人员。

实施例一：

参见图2，图中示出了本实用新型实施例一提供的一种用于多色半导体的激光器合束模块，其包括激光二极管1、非球面准直镜2、光束整形单元3、双光楔组4、合束镜组5以及聚焦镜6，所述激光二极管1设置为相互并联的多个；所述非球面准直镜2设置为相互并联多个，所述光束整形单元3设置为相互并联的多个，所述双光楔组4设置为相互并联的多个，所述合束镜组5位于主光路，且设置为一组，所述聚焦镜6设置为共用的一个。

本实施例所提供的一种用于多色半导体的激光器合束模块，主要包括激光二极管1、非球面准直镜2、光束整形单元3、双光楔组4、合束镜组5以及聚焦镜6，其中，激光二极管1设置为相互并联的多个，且具有不同波长，用于提供光束；非球面准直镜2设置为相互并联多个，用于将激光二极管13的发散光进行准直，光束整形单元3设置为相互并联的多个，可以将光束进行整形；双光楔组4设置为相互并联的多个，用于将光束进行微调，合束镜组5位于主光路，且设置为一组，用于辅助调节，聚焦镜6设置为共用的一个，用于最后的光束聚焦；总的来说，该激光器合束模块，可以根据实际需求，更换激光二极管1实现不同的波长激光输出，也可以更换聚焦镜6实现不同的工作距要求，光楔的楔角可选，可以实现不同的调节精度，每一个子光路中可以同时使用光楔和长焦距透镜，就可以实现指向的进一步精确调节，因此能够根据实际需要实现不同精度的调节，且调节精度高，整体系统的稳定性好。

实施例二：

参见图3，图中示出了本实用新型实施例二提供的一种用于多色半导体的激光器合束模块，本实施例在上述实施例的基础上还进一步地做出了以下作为改进的技术方案：每个所述激光二极管1均固定在热沉71上，所述热沉71固定于底座72上，所述热沉71与所述底座72之间设置有一用于控温的TEC制冷片73；距离模块出光口8最近的激光光路为通道一91，向外分别为通道二92、通道三93，以此类推。

通过上述进一步的改进，使得本实施例相较于现有技术还具有以下优点：可以实现多个光路通道的光束准直、整形和聚焦，调节范围更广。

实施例三：

参见图2，图中示出了本实用新型实施例三提供的一种用于多色半导体的激光器合束模块，本实施例在上述实施例的基础上还进一步地做出了以下作为改进的技术方案：所述非球面准直镜2位于所述激光二极管1的光束输出端。

通过上述进一步的改进，使得本实施例相较于现有技术还具有以下优点：能够各自将激光二极管1的发散光准直。

实施例四：

参见图2，图中示出了本实用新型实施例四提供的一种用于多色半导体的激光器合束模块，本实施例在上述实施例的基础上还进一步地做出了以下作为改进的技术方案：所述光束整形单元3位于所述非球面准直镜2的光线输出端，主要包括棱镜对31和正负球面镜组成的望远镜32。

通过上述进一步的改进，使得本实施例相较于现有技术还具有以下优点：将光束整形成椭圆光斑，也可以调节合束光束的聚焦束腰位置。

实施例五：

参见图2，图中示出了本实用新型实施例五提供的一种用于多色半导体的激光器合束模块，本实施例在上述实施例的基础上还进一步地做出了以下作为改进的技术方案：所述双光楔组4由两个不平行的面组成。

通过上述进一步的改进，使得本实施例相较于现有技术还具有以下优点：可以实现小角度的偏转，两片光楔的组合可以用于光斑整形，还可以实现一定角度范围内的任意角度偏转。

实施例六：

参见图2，图中示出了本实用新型实施例六提供的一种用于多色半导体的激光器合束模块，本实施例在上述实施例的基础上还进一步地做出了以下作为改进的技术方案：所述合束镜组5包含多块二向色镜51。

通过上述进一步的改进，使得本实施例相较于现有技术还具有以下优点：每个二向色镜51能够反射来自各自子光路传输过来的椭圆光束，并透过后方通道反射过来的光束，例如：通道一91对应的二向色镜51能反射通道一91波长的光束而透射通道二92和通道三93的光束；最终每个通道的光束都能合束通过聚焦镜6，并且合束镜组5也可以辅助指向调节。

实施例七：

参见图2，图中示出了本实用新型实施例七提供的一种用于多色半导体的激光器合束模块，本实施例在上述实施例的基础上还进一步地做出了以下作为改进的技术方案：所述聚焦镜6位于所述模块出光口8。

通过上述进一步的改进，使得本实施例相较于现有技术还具有以下优点：聚焦镜6将多路光束进行聚焦，实现小尺寸光斑，供实际客户使用。

显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (7)

1.一种用于多色半导体的激光器合束模块，其特征在于，包括激光二极管(1)、非球面准直镜(2)、光束整形单元(3)、双光楔组(4)、合束镜组(5)以及聚焦镜(6)，所述激光二极管(1)设置为相互并联的多个；所述非球面准直镜(2)设置为相互并联多个，所述光束整形单元(3)设置为相互并联的多个，所述双光楔组(4)设置为相互并联的多个，所述合束镜组(5)位于主光路，且设置为一组，所述聚焦镜(6)设置为共用的一个。

2.根据权利要求1所述的一种用于多色半导体的激光器合束模块，其特征在于，每个所述激光二极管(1)均固定在热沉(71)上，所述热沉(71)固定于底座(72)上，所述热沉(71)与所述底座(72)之间设置有一用于控温的TEC制冷片(73)；距离模块出光口(8)最近的激光光路为通道一(91)，向外分别为通道二(92)、通道三(93)，以此类推。

3.根据权利要求2所述的一种用于多色半导体的激光器合束模块，其特征在于，所述非球面准直镜(2)位于所述激光二极管(1)的光束输出端。

4.根据权利要求3所述的一种用于多色半导体的激光器合束模块，其特征在于，所述光束整形单元(3)位于所述非球面准直镜(2)的光线输出端，主要包括棱镜对(31)和正负球面镜组成的望远镜(32)。

5.根据权利要求4所述的一种用于多色半导体的激光器合束模块，其特征在于，所述双光楔组(4)由两个不平行的面组成。

6.根据权利要求5所述的一种用于多色半导体的激光器合束模块，其特征在于，所述合束镜组(5)包含多块二向色镜(51)。

7.根据权利要求6所述的一种用于多色半导体的激光器合束模块，其特征在于，所述聚焦镜(6)位于所述模块出光口(8)。

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