CN218890391U - 带有溢流功能的喷射引混装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种带有溢流功能的喷射引混装置，包含：收缩段、引气段、扩散段、去离子水入口以及气液混合出口；收缩段的内部设有收缩流道；引气段的内部设有引气腔，引气段上设有气体入口，气体入口与引气腔连通，引气腔的一端与收缩流道的一端连通；扩散段的内部设有扩散流道，扩散段上设有气液溢流口，气液溢流口与扩散流道连通，扩散流道的一端与引气腔的另一端连通；去离子水入口与收缩流道的另一端连通；气液混合出口与扩散流道的另一端连通。本实用新型利用高压去离子水作为工作流体，使得高压流体在收缩流道处流通截面变小的过程中产生高速射流来引射高浓度的臭氧气体，达到引入臭氧气体和对气液混合的目的。

Description

带有溢流功能的喷射引混装置

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，特别涉及一种带有溢流功能的喷射引混装置。

背景技术

目前在水中较高效率地引入臭氧气体的方法主要有以下两种：

一是使用气液混合泵，气液混合泵的吸入口可以利用负压作用吸入臭氧气体，高速旋转的泵叶轮将液体与臭氧气体混合搅拌。由于泵内的加压混合，臭氧气体在液体中充分溶解，溶解效率高。

二是采用文丘里射流器，其主要利用文丘里效应。当流体流过截面缩小的管道时，依据伯努利定理，该截面位置流速会升高，并在高速流动的流体附近产生低压区，从而产生吸附作用，引入臭氧气体。

以上两种方案存在的缺点：

虽然利用气液混合泵是一种很好的在液体中引入臭氧的方法，但是由于泵的叶轮一直在做旋转运动，势必会因为摩擦导致泵壳内产生粉末并最终污染水体。目前市场上的气液混合泵不满足于半导体行业对输送去离子水、引入臭氧气体时不发生二次污染的需求，所以不能采用现有的气液混合泵作为半导体行业中引入、溶解臭氧气体的方案。

传统的文丘里射流器通常包含一个吸入口、一个工作流体入口和一个工作流体出口，当工作流体停止流动或出口被封闭后，臭氧气体也在吸入口随即停止流动。此种情形导致通过吸入口的臭氧气体不能独立于工作流体进行流动。

实用新型内容

根据本实用新型实施例，提供了一种带有溢流功能的喷射引混装置，包含：收缩段、引气段、扩散段、去离子水入口以及气液混合出口；

收缩段的内部设有收缩流道；

引气段的内部设有引气腔，引气段上设有气体入口，气体入口与引气腔连通，引气腔的一端与收缩流道的一端连通，引气腔用于提供气液混合的场所；

扩散段的内部设有扩散流道，扩散段上设有气液溢流口，气液溢流口与扩散流道连通，扩散流道的一端与引气腔的另一端连通；

去离子水入口与收缩流道的另一端连通，用于去离子水的输入；

气液混合出口与扩散流道的另一端连通，用于气液混合物的输出。

进一步，去离子水入口、气液混合出口、气液溢流口以及气体入口的端部均设有扩口。

进一步，去离子水入口、气液混合出口、气液溢流口以及气体入口的材质均为PFA材料。

进一步，收缩段、引气段以及扩散段的材质均为PTFE材料。

进一步，收缩段、引气段以及扩散段按顺序以锥形螺纹连接。

进一步，收缩段、引气段以及扩散段一体成型。

根据本实用新型实施例的带有溢流功能的喷射引混装置，利用高压去离子水作为工作流体，使得高压流体在收缩流道处流通截面变小的过程中产生高速射流来引射高浓度的臭氧气体，达到引入臭氧气体和对气液混合的目的；同时，当高压去离子水流体停止流通后，臭氧气体还可以在该装置中设置的气液溢流口中继续流通，不会受到高压去离子水流体启停的影响。

要理解的是，前面的一般描述和下面的详细描述两者都是示例性的，并 且意图在于提供要求保护的技术的进一步说明。

附图说明

图1为根据本实用新型实施例带有溢流功能的喷射引混装置的立体结构示意图。

图2为根据本实用新型实施例带有溢流功能的喷射引混装置的主视剖视结构示意图。

图3为根据本实用新型实施例带有溢流功能的喷射引混装置的收缩段的主视剖视结构示意图。

图4为根据本实用新型实施例带有溢流功能的喷射引混装置的引气段的主视剖视结构示意图。

图5为根据本实用新型实施例带有溢流功能的喷射引混装置的扩散段的主视剖视结构示意图。

具体实施方式

以下将结合附图，详细描述本实用新型的优选实施例，对本实用新型做进一步阐述。

首先，将结合图1~5描述根据本实用新型实施例的带有溢流功能的喷射引混装置，用于在水中较高频率地引入臭氧气体，其应用场景很广。

如图1~5所示，本实用新型实施例的带有溢流功能的喷射引混装置，具有收缩段1、引气段2、扩散段3、去离子水入口4以及气液混合出口5。

具体地，如图1~3所示，收缩段1的内部设有收缩流道11，用于减小流通截面，增加去离子水的流速。

具体地，如图1~2、4所示，引气段2的内部设有引气腔21，引气段2上设有气体入口22，气体入口22与引气腔21连通，引气腔21的一端与收缩流道11的一端连通，引气腔21用于提供气液混合的场所，气体入口22用于臭氧气体的输入，并让臭氧气体与去离子水在引气腔21内混合形成气液混合物。

具体地，如图1~2、5所示，扩散段3的内部设有扩散流道31，扩散段3上设有气液溢流口32，气液溢流口32与扩散流道31连通，扩散流道31的一端与引气腔21的另一端连通，主要用于、气、液进一步混合后分流。通过气液溢流口32的设置，当高压去离子水流体停止流通后，臭氧气体还可以在气液溢流口32中继续流通，不会受到高压去离子水流体启停的影响。

具体地，如图1~2所示，去离子水入口4与收缩流道11的另一端连通，用于去离子水的输入。

具体地，如图1~2所示，气液混合出口5与扩散流道31的另一端连通，用于气液混合物的输出。

进一步，如图1~2所示，在本实施例中，去离子水入口4、气液混合出口5、气液溢流口32以及气体入口22的端部均设有扩口，扩口可采用Flare形式，方便与外部的管路管道进行连接。去离子水入口4、气液混合出口5、气液溢流口32以及气体入口22的材质均为PFA材料，耐磨防腐。

进一步，如图1~2所示，在本实施例中，收缩段1、引气段2以及扩散段3的材质均为PTFE材料，不会产生粉末、污染水体。

进一步，如图1~2所示，在本实施例中，收缩段1、引气段2以及扩散段3按顺序以锥形螺纹连接，在保证水密性和气密性的前提下，既避免了采用一体成型时高昂的模具制作费用，又能实现三者不同规格参数的快速组装，满足各种对去离子水流量和臭氧气体流量的需求。

进一步，在本实施例中，收缩段1、引气段2以及扩散段3一体成型，可以增强整体的牢固性和可靠性，密封性能更好。

使用时，用户可以根据对流量的要求，选择含有一定规格收缩流道11的收缩段1，去离子水从外部的管路系统中的上游由去离子水入口4进入到收缩段1的收缩流道11内，去离子水通过收缩流道11后，流速被加快，去离子水以较高的速度进入到引气段2的引气腔21的前端，导致引气腔21的腔体气压降低，自带一定压力的臭氧气体更容易通过气体入口22进入到引气腔21内与去离子水汇合，并产生臭氧气体与去离子水的气液混合物，臭氧气体与去离子水在引气腔21内初步混合后，会被输送到扩散流道31内，在此区域气液混合更加的充分，主要的气液混合物通过气液混合出口5流出，少部分的气液混合物通过气液溢流口32流出。气液混合出口5与气液溢流口32之间相互独立工作，互不干扰，当外部的管路系统中与气液混合出口5连接的下游通道关闭，或者停止供应高压去离子水时，臭氧气体仍然可以通过气液溢流口32进入到管路系统中的下游部件。

以上，参照图1~5描述了根据本实用新型实施例的带有溢流功能的喷射引混装置，利用高压去离子水作为工作流体，使得高压流体在收缩流道11处流通截面变小的过程中产生高速射流来引射高浓度的臭氧气体，达到引入臭氧气体和对气液混合的目的；同时，当高压去离子水流体停止流通后，臭氧气体还可以在该装置中设置的气液溢流口32中继续流通，不会受到高压去离子水流体启停的影响。

需要说明的是，在本说明书中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包含……”限定的要素，并不排除在包括要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

尽管本实用新型的内容已经通过上述优选实施例作了详细介绍，但应当认识到上述的描述不应被认为是对本实用新型的限制。在本领域技术人员阅读了上述内容后，对于本实用新型的多种修改和替代都将是显而易见的。因此，本实用新型的保护范围应由所附的权利要求来限定。

Claims (6)

1.一种带有溢流功能的喷射引混装置，其特征在于，包含：收缩段、引气段、扩散段、去离子水入口以及气液混合出口；

所述收缩段的内部设有收缩流道；

所述引气段的内部设有引气腔，所述引气段上设有气体入口，所述气体入口与所述引气腔连通，所述引气腔的一端与所述收缩流道的一端连通，所述引气腔用于提供气液混合的场所；

所述扩散段的内部设有扩散流道，所述扩散段上设有气液溢流口，所述气液溢流口与所述扩散流道连通，所述扩散流道的一端与所述引气腔的另一端连通；

所述去离子水入口与所述收缩流道的另一端连通，用于去离子水的输入；

所述气液混合出口与所述扩散流道的另一端连通，用于气液混合物的输出。

2.如权利要求1所述带有溢流功能的喷射引混装置，其特征在于，所述去离子水入口、所述气液混合出口、所述气液溢流口以及所述气体入口的端部均设有扩口。

3.如权利要求1或2所述带有溢流功能的喷射引混装置，其特征在于，所述去离子水入口、所述气液混合出口、所述气液溢流口以及所述气体入口的材质均为PFA材料。

4.如权利要求1所述带有溢流功能的喷射引混装置，其特征在于，所述收缩段、所述引气段以及所述扩散段的材质均为PTFE材料。

5.如权利要求1所述带有溢流功能的喷射引混装置，其特征在于，所述收缩段、所述引气段以及所述扩散段按顺序以锥形螺纹连接。

6.如权利要求1所述带有溢流功能的喷射引混装置，其特征在于，所述收缩段、所述引气段以及所述扩散段一体成型。

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