CN218863370U - 一种进料对接阀、单晶炉及单晶生产线 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及单晶制造技术领域，具体涉及一种进料对接阀、单晶炉及单晶生产线。该进料对接阀包括：阀体，具有供进料管插接的阀口；抵接限位机构，设置于所述阀体上，并且所述抵接限位机构沿所述阀口的周向设置，适于与所述进料管抵接；防尘机构，设置于所述阀体上，适于遮盖所述阀口。本实用新型设置的抵接限位机构能够对插接于阀口内的进料管进行抵接，确保进料管插接的稳定性、避免进料过程中进料管脱落，设置的防尘机构能够在未使用时对阀口进行遮盖，起到防尘保护作用，因此，本实施例的进料对接阀能够完成对进料管的对接，且对接操作方便、省力，同时确保了进料过程中进料管对接的可靠性、稳定性。

Description

一种进料对接阀、单晶炉及单晶生产线

技术领域

本实用新型涉及单晶制造设备技术领域，具体涉及一种进料对接阀、单晶炉及单晶生产线。

背景技术

目前，单晶硅行业竞争激烈，而如何降低硅片成本成了行业的主要研发方向。单晶炉主室加料时多采用外部加料器与单晶炉加料口对接，且加料过程由人工进行对接固定。

该对接方式对接时间长、耗费人力，且其对接可靠性难以保证。

实用新型内容

因此，本实用新型要解决的技术问题在于克服现有技术的单晶加料器对接单晶炉费时费力、可靠性差的缺陷，从而提供一种可实现快速对接、可靠性好的进料对接阀、单晶炉及单晶生产线。

为了解决上述问题，本实用新型提供了一种进料对接阀，包括：阀体，具有供进料管插接的阀口；抵接限位机构，设置于所述阀体上，并且所述抵接限位机构沿所述阀口的周向设置，适于与所述进料管抵接；防尘机构，设置于所述阀体上，适于遮盖所述阀口。

可选的，所述抵接限位机构包括：抵接驱动部，设置于所述阀体上；抵接部，与所述抵接驱动部传动连接，所述抵接驱动部能够驱动所述抵接部靠近或远离所述阀口的中心运动。

可选的，所述抵接驱动部为旋转升降气缸，以驱动所述抵接部靠近或远离所述阀口的中心旋转以及驱动所述抵接部沿垂直于所述阀体的方向升降。

可选的，所述抵接限位机构沿所述阀口的周向间隔设置有多个。

可选的，所述防尘机构包括：驱动组件，设置于所述阀体上；防尘盖，与所述驱动组件传动连接，所述驱动组件能够驱动所述防尘盖盖设于所述阀口或驱动所述防尘盖远离所述阀口。

可选的，所述驱动组件包括旋转驱动部，所述旋转驱动部与所述防尘盖传动连接，以驱动所述防尘盖靠近或远离所述阀口转动。

可选的，所述驱动组件还包括直线驱动部，所述直线驱动部设置于所述阀体上，所述直线驱动部与所述旋转驱动部传动连接，以驱动所述旋转驱动部沿垂直于所述阀体的方向直线移动，进而带动所述防尘盖远离或靠近所述阀口直线移动。

可选的，所述旋转驱动部为旋转气缸，所述直线驱动部为滑台气缸，所述旋转气缸滑动连接在所述滑台气缸上。

本实用新型还提供了一种单晶炉，包括：炉体，具有进料口；本实用新型的进料对接阀，所述阀体固定设置于所述炉体的外壁，并且所述阀口与所述进料口对应连通。

本实用新型还提供了一种单晶生产线，其包括：加料装置，具有所述进料管；本实用新型的单晶炉，所述进料管适于插接于所述阀口和所述进料口内。

本实用新型具有以下优点：

1、本实用新型的进料对接阀，设置的抵接限位机构能够对插接于阀口内的进料管进行抵接，从而实现进料管的快速对接、确保进料管插接的稳定性、避免进料过程中进料管脱落，设置的防尘机构能够在未使用时对阀口进行遮盖，起到防尘保护作用，因此，本实施例的进料对接阀能够完成对进料管的对接，且对接操作方便、省力，同时确保了进料过程中进料管对接的可靠性、稳定性。

2、本实用新型的进料对接阀，抵接限位机构包括抵接驱动部和抵接部，抵接驱动部设置于阀体上，抵接部与抵接驱动部传动连接，抵接驱动部能够驱动抵接部靠近或远离阀口的中心运动。当进料管插接于阀口内，抵接驱动部驱动抵接部靠近阀口的中心运动，以使抵接部抵接于进料管的法兰上，当进料管需要从阀口内取出时，抵接驱动部驱动抵接部远离阀口的中心运动，以使抵接部与进料管分离，便于进料管取出。

3、本实用新型的进料对接阀，抵接驱动部为旋转升降气缸，以驱动抵接部靠近或远离阀口的中心旋转以及驱动抵接部沿垂直于阀体的方向升降。通过旋转升降气缸来驱动抵接部旋转及升降，使得抵接部抵接或分离于进料管的法兰上，实现对进料管的自动对接或松开，操作便捷、省力。

4、本实用新型的进料对接阀，防尘机构包括驱动组件和防尘盖，驱动组件设置于阀体上，防尘盖与驱动组件传动连接，驱动组件能够驱动防尘盖盖设于阀口或驱动防尘盖远离阀口。按此设置，在进料管自阀口取出后，驱动组件驱动防尘盖盖设于阀口，实现对阀口的密封防尘，在需要加料时，驱动组件驱动防尘盖远离阀口运动，从而将阀口打开便于进料管对接。

5、本实用新型的进料对接阀，驱动组件包括旋转驱动部，旋转驱动部与防尘盖传动连接，以驱动防尘盖靠近或远离阀口转动。在进料管自阀口取出后，旋转驱动部驱动防尘盖靠近阀口转动，直至防尘盖盖设于阀口，在需要加料时，旋转驱动部驱动防尘盖远离阀口转动，从而将阀口打开。旋转驱动部为旋转气缸，通过旋转气缸来驱动防尘盖靠近或远离阀口转动，设置简单、操作方便。

6、本实用新型的进料对接阀，驱动组件还包括直线驱动部，直线驱动部设置于阀体上，直线驱动部与旋转驱动部传动连接，以驱动旋转驱动部沿垂直于阀体的方向直线移动，进而带动防尘盖远离或靠近阀口直线移动。按此设置，在进料管自阀口取出后，直线驱动部先驱动旋转驱动部垂直于阀体的方向直线移动，以带动防尘盖远离阀口直线移动，然后旋转驱动部再驱动防尘盖靠近阀口转动，直至防尘盖与阀口相对，接着直线驱动部驱动旋转驱动部垂直于阀体的方向直线移动，进而带动防尘盖靠近阀口直线移动，使得防尘盖与阀口对接密封；反之，在需要加料时，直线驱动部先驱动旋转驱动部及防尘盖远离阀口直线移动，直至防尘盖与阀口分离，然后旋转驱动部再驱动防尘盖远离阀口转动，即可将防尘盖打开。

7、本实用新型的单晶炉，其包括炉体和本实施例的进料对接阀，炉体具有进料口，阀体固定设置于炉体的外壁，并且阀口与进料口对应连通。该单晶炉能够在进料时完成对进料管的对接，且对接操作方便、省力，同时确保了进料过程中进料管对接的可靠性、稳定性。

8、本实用新型的单晶生产线，其包括加料装置和本实用新型的单晶炉，加料装置具有进料管，进料管适于插接于阀口和进料口内。本实用新型的单晶生产线能够在进料时完成对加料装置的对接，且对接操作方便、省力，同时确保了进料过程中加料装置对接的可靠性、稳定性。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1示出了本实用新型实施例的进料对接阀的第一角度的结构示意图；

图2示出了本实用新型实施例的进料对接阀的第二角度的结构示意图；

图3示出了本实用新型实施例的单晶炉的结构示意图。

附图标记说明：

1、阀体；11、阀口；2、抵接限位机构；21、抵接驱动部；22、抵接部；3、防尘机构；31、驱动组件；311、旋转驱动部；312、直线驱动部；32、防尘盖；100、炉体。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

此外，下面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

如图1和图2所示，本实用新型实施例公开了一种进料对接阀，包括阀体1、抵接限位机构2和防尘机构3，其中，阀体1具有供进料管插接的阀口11，抵接限位机构2设置于阀体1上，并且抵接限位机构2沿阀口11的周向设置，适于与进料管抵接，防尘机构3设置于阀体1上，适于遮盖阀口11。

本实施例的进料对接阀，设置的抵接限位机构2能够对插接于阀口11内的进料管进行抵接，从而实现进料管的快速对接、确保进料管插接的稳定性、避免进料过程中进料管脱落，设置的防尘机构3能够在未使用时对阀口11进行遮盖，起到防尘保护作用，因此，本实施例的进料对接阀能够完成对进料管的对接，且对接操作方便、省力，同时确保了进料过程中进料管对接的可靠性、稳定性。

需要说明的是，本实施例的进料对接阀可固定设置在单晶炉或其他冶炼室的进料口处，使阀口11与进料口对应，需加料时，将进料管通过进料对接阀插接于进料口处，并通过抵接限位机构2进行限位固定，就实现了进料管与进料口的自动对接，在无需加料时，可通过防尘机构3对阀口11进行遮盖，以对阀口11及进料口进行密封防尘。

本实施例中，进料管外周设有法兰，法兰与抵接限位机构2配合，从而实现对进料管的抵接限位。

下面结合说明书附图，对该进料对接阀的结构进行详细介绍。

本实施例中，阀体1为平板，阀口11为贯穿平板开设的圆形通孔。此处可以理解的是，进料管也为圆形管，以便于与阀口11的形状相适配。

抵接限位机构2包括抵接驱动部21和抵接部22，其中，抵接驱动部21设置于阀体1上，抵接部22与抵接驱动部21传动连接，抵接驱动部21能够驱动抵接部22靠近或远离阀口11的中心运动。按此设置，当进料管插接于阀口11内，抵接驱动部21驱动抵接部22靠近阀口11的中心运动，以使抵接部22抵接于进料管的法兰上，当进料管需要从阀口11内取出时，抵接驱动部21驱动抵接部22远离阀口11的中心运动，以使抵接部22与进料管分离，便于进料管取出。

具体的，抵接驱动部21为旋转升降气缸，以驱动抵接部22靠近或远离阀口11的中心旋转以及驱动抵接部22沿垂直于阀体1的方向升降。通过旋转升降气缸来驱动抵接部22旋转及升降，使得抵接部22抵接或分离于进料管的法兰上，实现对进料管的自动对接或松开。

由于旋转升降气缸的结构为现有技术，本实施例不再展开赘述。

抵接部22为抵接杆，抵接杆与旋转升降气缸的输出端传动连接。

接限位机构沿阀口11的周向间隔设置有多个，以对进料管的周向进行抵接限位，提升对进料管对接的稳定性。本实施例中，接限位机构设有四个，沿阀口11的周向均匀分布。

防尘机构3包括驱动组件31和防尘盖32，其中，驱动组件31设置于阀体1上，防尘盖32与驱动组件31传动连接，驱动组件31能够驱动防尘盖32盖设于阀口11或驱动防尘盖32远离阀口11。按此设置，在进料管自阀口11取出后，驱动组件31驱动防尘盖32盖设于阀口11，实现对阀口11的密封防尘，在需要加料时，驱动组件31驱动防尘盖32远离阀口11运动，从而将阀口11打开便于进料管对接。

本实施例中，驱动组件31包括旋转驱动部311，旋转驱动部311与防尘盖32传动连接，以驱动防尘盖32靠近或远离阀口11转动。在进料管自阀口11取出后，旋转驱动部311驱动防尘盖32靠近阀口11转动，直至防尘盖32盖设于阀口11，在需要加料时，旋转驱动部311驱动防尘盖32远离阀口11转动，从而将阀口11打开。旋转驱动部311为旋转气缸，通过旋转气缸来驱动防尘盖32靠近或远离阀口11转动，设置简单、操作方便。

此外，在一些实施例中，驱动组件31还包括直线驱动部312，直线驱动部312设置于阀体1上，直线驱动部312与旋转驱动部311传动连接，以驱动旋转驱动部311沿垂直于阀体1的方向直线移动，进而带动防尘盖32远离或靠近阀口11直线移动。

按此设置，在进料管自阀口11取出后，直线驱动部312先驱动旋转驱动部311垂直于阀体1的方向直线移动，以带动防尘盖32远离阀口11直线移动，然后旋转驱动部311再驱动防尘盖32靠近阀口11转动，直至防尘盖32与阀口11相对，接着直线驱动部312驱动旋转驱动部311垂直于阀体1的方向直线移动，进而带动防尘盖32靠近阀口11直线移动，使得防尘盖32与阀口11对接密封；反之，在需要加料时，直线驱动部312先驱动旋转驱动部311及防尘盖32远离阀口11直线移动，直至防尘盖32与阀口11分离，然后旋转驱动部311再驱动防尘盖32远离阀口11转动，即可将阀口11打开。

相比于仅设置旋转驱动部311驱动防尘盖32转动的方式，此处进一步设置直线驱动部312与旋转驱动部311的配合，既可以实现防尘盖32与阀口11的无缝配合，增强防尘效果，且也避免了防尘盖32与阀口11卡滞，确保防尘机构3的正常运行。

可以理解的是，防尘盖32每次的转动角度不小于90°，以将阀口11完全大口，便于进料管插接至阀口11内。优选的，防尘盖32每次旋转180°。

本实施例中，直线驱动部312为滑台气缸，旋转驱动部311滑动连接在滑台气缸上。具体的，滑台气缸设置在阀体1的侧面，且垂直于阀口11所在的阀体1的表面，旋转气缸滑动连接在滑台气缸上，以在滑台气缸的驱动下沿垂直于阀口11所在的阀体1表面的方向往复移动。

具体的，防尘盖32的连接部与旋转驱动部311连接，防尘盖32的盖设部为圆形，以与阀口11的形状相适配。为确保密封防尘效果，防尘盖32的盖设部的面积大于阀口11的横截面大小，以使盖设部完全能够将阀口11盖设密封。

为便于理解本实施例的进料对接阀，现对其使用过程作如下介绍：

在需要加料时，直线驱动部312先驱动旋转驱动部311及防尘盖32远离阀口11直线移动，直至防尘盖32与阀口11分离，然后旋转驱动部311再驱动防尘盖32远离阀口11转动180°，即可将阀口11完全打开，然后将进料管插接至阀口11内，抵接驱动部21驱动抵接部22朝向阀口11的中心运动，使抵接部22抵接在进料管的法兰上，实现对进料管的对接限位固定，确保进料过程中进料管对接稳定性；

在进料管需从阀口11取出时，抵接驱动部21驱动抵接部22远离阀口11的中心运动，使抵接部22与进料管的法兰分离，将进料管自阀口11取出，直线驱动部312先驱动旋转驱动部311及防尘盖32远离阀口11直线移动，然后旋转驱动部311再驱动防尘盖32靠近阀口11转动，直至防尘盖32与阀口11相对，接着直线驱动部312驱动旋转驱动部311及防尘盖32靠近阀口11直线移动，使得防尘盖32与阀口11抵接，从而实现对阀口11的密封防尘。

如图3所示，本实施例还公开了一种单晶炉，其包括炉体100和本实施例的进料对接阀，炉体100具有进料口，阀体1固定设置于炉体100的外壁，并且阀口11与进料口对应连通。本实施例的单晶炉能够在进料时完成对进料管的对接，且对接操作方便、省力，同时确保了进料过程中进料管对接的可靠性、稳定性。

本实施例还公开了一种单晶生产线，其包括加料装置和本实施例的单晶炉，加料装置具有上述的进料管，进料管适于插接于阀口和进料口内。本实施例的单晶生产线能够在进料时完成对加料装置的对接，且对接操作方便、省力，同时确保了进料过程中加料装置对接的可靠性、稳定性。

此外，需要说明的是，在其他实施例中，抵接驱动部21还可设为旋转电机、电机与丝杠配合的结构形式；直线驱动部312也可设为电机与丝杠配合的形式；还可将进料对接阀应用于其他需要对接加料的使用场景中，均不以本实施的方案为限。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。

Claims (10)

1.一种进料对接阀，其特征在于，包括：

阀体(1)，具有供进料管插接的阀口(11)；

抵接限位机构(2)，设置于所述阀体(1)上，并且所述抵接限位机构(2)沿所述阀口(11)的周向设置，适于与所述进料管抵接；

防尘机构(3)，设置于所述阀体(1)上，适于遮盖所述阀口(11)。

2.根据权利要求1所述的进料对接阀，其特征在于，所述抵接限位机构(2)包括：

抵接驱动部(21)，设置于所述阀体(1)上；

抵接部(22)，与所述抵接驱动部(21)传动连接，所述抵接驱动部(21)能够驱动所述抵接部(22)靠近或远离所述阀口(11)的中心运动。

3.根据权利要求2所述的进料对接阀，其特征在于，所述抵接驱动部(21)为旋转升降气缸，以驱动所述抵接部(22)靠近或远离所述阀口(11)的中心旋转以及驱动所述抵接部(22)沿垂直于所述阀体(1)的方向升降。

4.根据权利要求1所述的进料对接阀，其特征在于，所述抵接限位机构(2)沿所述阀口(11)的周向间隔设置有多个。

5.根据权利要求1至4中的任一项所述的进料对接阀，其特征在于，所述防尘机构(3)包括：

驱动组件(31)，设置于所述阀体(1)上；

防尘盖(32)，与所述驱动组件(31)传动连接，所述驱动组件(31)能够驱动所述防尘盖(32)盖设于所述阀口(11)或驱动所述防尘盖(32)远离所述阀口(11)。

6.根据权利要求5所述的进料对接阀，其特征在于，所述驱动组件(31)包括旋转驱动部(311)，所述旋转驱动部(311)与所述防尘盖(32)传动连接，以驱动所述防尘盖(32)靠近或远离所述阀口(11)转动。

7.根据权利要求6所述的进料对接阀，其特征在于，所述驱动组件(31)还包括直线驱动部(312)，所述直线驱动部(312)设置于所述阀体(1)上，所述直线驱动部(312)与所述旋转驱动部(311)传动连接，以驱动所述旋转驱动部(311)沿垂直于所述阀体(1)的方向直线移动，进而带动所述防尘盖(32)远离或靠近所述阀口(11)直线移动。

8.根据权利要求7所述的进料对接阀，其特征在于，所述旋转驱动部(311)为旋转气缸，所述直线驱动部(312)为滑台气缸，所述旋转气缸滑动连接在所述滑台气缸上。

9.一种单晶炉，其特征在于，包括：

炉体(100)，具有进料口；

如权利要求1至8中的任一项所述的进料对接阀，所述阀体(1)固定设置于所述炉体(100)的外壁，并且所述阀口(11)与所述进料口对应连通。

10.一种单晶生产线，其特征在于，包括：

加料装置，具有所述进料管；

如权利要求9所述的单晶炉，所述进料管适于插接于所述阀口(11)和所述进料口内。

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