CN218788364U - 等离子清洗载具 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了等离子清洗载具，包括凸型底座，所述凸型底座的顶部卡接有与凸型底座配合使用的凹型载板，所述凹型载板底部的左右两侧均开设有燕尾槽，所述燕尾槽的内腔滑动连接有燕尾块，所述燕尾块的顶部固定连接有螺杆，本实用新型通过设置凸型底座、凹型载板、燕尾槽、燕尾块、螺杆、矩形板、L型夹板和限位螺母，能够方便对晶圆进行固定限位，同时，燕尾槽、燕尾块、螺杆、矩形板和限位螺母的设置，能够方便L型夹板左右移动，从而达到对不同尺寸大小的晶圆进行固定限位的效果，通过设置以上结构，具备载具在使用时，能够提供固定效果的优点，解决了原有载具在使用时，固定效果较差的问题，从而能够满足客户的需求。

Description

等离子清洗载具

技术领域

本实用新型涉及等离子清洗载具技术领域，具体为等离子清洗载具。

背景技术

在晶圆生产加工时，需要使用到等离子清洗机对其进行清洗，而现有的等离子清洗载具无法有效的对晶圆起到固定作用，易出现晃动的情况，从而让晶圆在清洗加工中出现瑕疵、甚至损坏，所以存在固定效果较差的缺陷，同时，无法满足客户的需求，为此我们提出等离子清洗载具，解决以上提出的问题。

实用新型内容

针对现有技术中存在的问题，本实用新型的目的在于提供等离子清洗载具，具备载具在使用时，能够提供固定效果的优点，解决了原有载具在使用时，固定效果较差的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：等离子清洗载具，包括凸型底座，所述凸型底座的顶部卡接有与凸型底座配合使用的凹型载板，所述凹型载板底部的左右两侧均开设有燕尾槽，所述燕尾槽的内腔滑动连接有燕尾块，所述燕尾块的顶部固定连接有螺杆，所述螺杆的顶部贯穿凹型载板且延伸至凹型载板的外侧，所述凹型载板的外表面套设有矩形板，所述矩形板的一侧固定连接有L型夹板，所述螺杆的外表面螺纹连接有限位螺母，所述燕尾块的顶部并位于螺杆的外侧固定连接有定位筒，所述定位筒的内表面滑动连接有导向杆，所述导向杆的顶部贯穿定位筒且与矩形板固定连接。

优选的，所述限位螺母的底部固定连接有橡胶垫，所述橡胶垫的外表面与矩形板的连接处紧密贴合。

优选的，所述L型夹板的内表面设置有防滑垫，所述防滑垫和L型夹板的连接处粘接。

优选的，所述导向杆左右两侧的底部均固定连接有限位板，所述定位筒内腔的左右两侧均开设有与限位板配合使用的限位槽，所述限位板的外表面与限位槽的内表面滑动连接。

优选的，所述燕尾槽的顶部开设有移动槽，所述螺杆位于移动槽的内腔。

优选的，所述凹型载板的顶部的四角均开设有螺纹孔，所述限位螺母顶部的左右两侧均固定连接有驱动块。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

本实用新型通过设置凸型底座、凹型载板、燕尾槽、燕尾块、螺杆、矩形板、L型夹板和限位螺母，能够方便对晶圆进行固定限位，同时，燕尾槽、燕尾块、螺杆、矩形板和限位螺母的设置，能够方便L型夹板左右移动，从而达到对不同尺寸大小的晶圆进行固定限位的效果，通过设置以上结构，具备载具在使用时，能够提供固定效果的优点，解决了原有载具在使用时，固定效果较差的问题，从而能够满足客户的需求。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型凹型载板结构的剖视图；

图3为本实用新型图2结构的A处放大图；

图4为本实用新型图2结构的B处放大图；

图5为本实用新型燕尾块和螺杆结构的连接立体图。

图中：1、凸型底座；2、凹型载板；3、燕尾槽；4、燕尾块；5、螺杆；6、矩形板；7、L型夹板；8、限位螺母；9、定位筒；10、导向杆；11、橡胶垫；12、防滑垫；13、限位板；14、限位槽；15、移动槽；16、螺纹孔；17、驱动块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“顶/底端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“套设/接”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

请参阅图1-5，等离子清洗载具，包括凸型底座1，凸型底座1的顶部卡接有与凸型底座1配合使用的凹型载板2，凹型载板2的尺寸比设备清洗腔室小，能够很好的放入清洗腔室，不会对腔室造成刮伤，凹型载板2底部的左右两侧均开设有燕尾槽3，燕尾槽3的内腔滑动连接有燕尾块4，燕尾块4的顶部固定连接有螺杆5，螺杆5的顶部贯穿凹型载板2且延伸至凹型载板2的外侧，凹型载板2的外表面套设有矩形板6，矩形板6的一侧固定连接有L型夹板7，螺杆5的外表面螺纹连接有限位螺母8，燕尾块4的顶部并位于螺杆5的外侧固定连接有定位筒9，定位筒9的内表面滑动连接有导向杆10，导向杆10的顶部贯穿定位筒9且与矩形板6固定连接，通过设置凸型底座1、凹型载板2、燕尾槽3、燕尾块4、螺杆5、矩形板6、L型夹板7和限位螺母8，能够方便对晶圆进行固定限位，同时，燕尾槽3、燕尾块4、螺杆5、矩形板6和限位螺母8的设置，能够方便L型夹板7左右移动，从而达到对不同尺寸大小的晶圆进行固定限位的效果，通过设置以上结构，具备载具在使用时，能够提供固定效果的优点，解决了原有载具在使用时，固定效果较差的问题，从而能够满足客户的需求。

具体的，限位螺母8的底部固定连接有橡胶垫11，橡胶垫11的外表面与矩形板6的连接处紧密贴合，通过设置橡胶垫11，能够增大限位螺母8和矩形板6的摩擦。

具体的，L型夹板7的内表面设置有防滑垫12，防滑垫12和L型夹板7的连接处粘接，通过设置防滑垫12，能够增大L型夹板7与晶圆的摩擦，同时，对其进行防护。

具体的，导向杆10左右两侧的底部均固定连接有限位板13，定位筒9内腔的左右两侧均开设有与限位板13配合使用的限位槽14，限位板13的外表面与限位槽14的内表面滑动连接，通过设置限位板13和限位槽14，能够对导向杆10进行限位。

具体的，燕尾槽3的顶部开设有移动槽15，螺杆5位于移动槽15的内腔，通过设置移动槽15，能够方便螺杆5移动。

具体的，凹型载板2的顶部的四角均开设有螺纹孔16，限位螺母8顶部的左右两侧均固定连接有驱动块17，通过设置螺纹孔16，能够收取凹型载板2时，装入螺丝，方便凹型载板2脱离凸型底座1，从而方便凹型载板2的取出，通过设置驱动块17，能够方便限位螺母8转动。

使用时，将晶圆放置在凹型载板2顶部的中心处，接着，依次移动螺杆5，使得螺杆5带动燕尾块4在燕尾槽3的内表面滑动移动，同时，工作人员向上移动矩形板6，使得矩形板6带动导向杆10向上移动，以及，矩形板6带动L型夹板7向上移动，当矩形板6带动L型夹板7移动到晶圆的上方，同时，防滑垫12的一侧与晶圆接触时，松开矩形板6，使得矩形板6在重力作用下带动防滑垫12向下移动与晶圆再次接触，接着，工作人员转动驱动块17，使得驱动块17带动限位螺母8在螺杆5的外表面螺纹转动向下移动，同时，限位螺母8带动橡胶垫11向下移动挤压矩形板6，使得矩形板6带动L型夹板7和防滑垫12对晶圆进行压持，从而使得晶圆收到向下的压力和左右的夹持，从而能够对晶圆进行固定限位，接着，移动凹型载板2，使得凹型载板2进入清洗腔室与凸型底座1卡接，从而方便对晶圆进行清洗，避免出现晃动，该装置操作简单，便于使用，从而能够满足客户的需求。

本申请文件中使用到的标准零件均可以从市场上购买，而且根据说明书和附图的记载均可以进行订制，各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓、铆钉、焊接等常规手段，机械、零件和设备均采用现有技术中常规的型号，控制方式是通过控制器来自动控制，控制器的控制电路通过本领域的技术人员简单编程即可实现，属于本领域的公知常识，并且本申请文主要用来保护机械装置，所以本申请文不再详细解释控制方式和电路连接。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.等离子清洗载具，包括凸型底座(1)，其特征在于：所述凸型底座(1)的顶部卡接有与凸型底座(1)配合使用的凹型载板(2)，所述凹型载板(2)底部的左右两侧均开设有燕尾槽(3)，所述燕尾槽(3)的内腔滑动连接有燕尾块(4)，所述燕尾块(4)的顶部固定连接有螺杆(5)，所述螺杆(5)的顶部贯穿凹型载板(2)且延伸至凹型载板(2)的外侧，所述凹型载板(2)的外表面套设有矩形板(6)，所述矩形板(6)的一侧固定连接有L型夹板(7)，所述螺杆(5)的外表面螺纹连接有限位螺母(8)，所述燕尾块(4)的顶部并位于螺杆(5)的外侧固定连接有定位筒(9)，所述定位筒(9)的内表面滑动连接有导向杆(10)，所述导向杆(10)的顶部贯穿定位筒(9)且与矩形板(6)固定连接。

2.根据权利要求1所述的等离子清洗载具，其特征在于：所述限位螺母(8)的底部固定连接有橡胶垫(11)，所述橡胶垫(11)的外表面与矩形板(6)的连接处紧密贴合。

3.根据权利要求1所述的等离子清洗载具，其特征在于：所述L型夹板(7)的内表面设置有防滑垫(12)，所述防滑垫(12)和L型夹板(7)的连接处粘接。

4.根据权利要求1所述的等离子清洗载具，其特征在于：所述导向杆(10)左右两侧的底部均固定连接有限位板(13)，所述定位筒(9)内腔的左右两侧均开设有与限位板(13)配合使用的限位槽(14)，所述限位板(13)的外表面与限位槽(14)的内表面滑动连接。

5.根据权利要求1所述的等离子清洗载具，其特征在于：所述燕尾槽(3)的顶部开设有移动槽(15)，所述螺杆(5)位于移动槽(15)的内腔。

6.根据权利要求1所述的等离子清洗载具，其特征在于：所述凹型载板(2)的顶部的四角均开设有螺纹孔(16)，所述限位螺母(8)顶部的左右两侧均固定连接有驱动块(17)。

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