CN218784724U - 一种氯硅烷废气雾化处理装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种氯硅烷废气雾化处理装置，涉及氯硅烷废气处理技术领域，包括过滤箱、过滤板、第一连接管、净化箱、第二连接管以及雾化塔，所述过滤板安装于过滤箱内，所述第一连接管一端贯通连接过滤箱的一侧，所述第一连接管的另一侧贯通连接净化箱的顶部，所述第二连接管一侧贯通连接净化箱，所述第二连接管另一端贯通连接雾化塔，所述雾化塔顶部设有排出口。本实用新型，通过漩涡器的启动，能够将氯硅烷废气产生涡流，从而能够降低气体速度，提高处理效果，氯硅烷废气穿过缓冲板继续向上移动，随后洗涤水通过供水管输入至环形管内，再通过环形管输入至雾化喷头内，即可通过雾化喷头将洗涤水进行雾化，并对氯硅烷废气进行清洗处理。

Description

一种氯硅烷废气雾化处理装置

技术领域

本实用新型涉及氯硅烷废气处理技术领域，尤其涉及一种氯硅烷废气雾化处理装置。

背景技术

经检索CN205973823U公开了一种同时处理氯硅烷残液和废气的装置，属于多晶硅行业的资源化利用技术领域。本实用新型所述装置包括残液储罐、残液输送泵、废气缓冲罐、风机、文丘里雾化器、塔底液封槽、循环泵、水解吸收塔、气相回流管，残液储罐通过残液输送泵与文丘里雾化器的进液管连通，废气缓冲罐通过风机与文丘里雾化器连通；文丘里雾化器放大段出口与水解吸收塔连通，水解吸收塔的下部设有塔底液封槽，塔底液封槽的上部通过气相回流管与水解吸收塔中部连通；塔底液封槽的下部通过循环泵与水解吸收塔连通。本实用新型所述装置实现了氯硅烷残液和废气同时处理，并保证了后续产出二氧化硅的性能，且烷残液和废气处理仅需一套塔，减少了氯硅烷残液和废气分开处理装置的建设成本和运行成本。

上述技术方案中仅通过文丘里雾化器对氯硅烷气体进行处理，处理结构单一，难以将氯硅烷内的有害气体进行充分净化，导致净化效果不佳，不利于排放至大气中。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种氯硅烷废气雾化处理装置，通过漩涡器的启动，能够将氯硅烷废气产生涡流，从而能够降低气体速度，提高处理效果，氯硅烷废气穿过缓冲板继续向上移动，随后洗涤水通过供水管输入至环形管内，再通过环形管输入至雾化喷头内，即可通过雾化喷头将洗涤水进行雾化，并对氯硅烷废气进行清洗处理。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种氯硅烷废气雾化处理装置，包括过滤箱、过滤板、第一连接管、净化箱、第二连接管以及雾化塔，所述过滤板安装于过滤箱内，所述第一连接管一端贯通连接过滤箱的一侧，所述第一连接管的另一侧贯通连接净化箱的顶部，所述第二连接管一侧贯通连接净化箱，所述第二连接管另一端贯通连接雾化塔，所述雾化塔顶部设有排出口，所述雾化塔底部设有连接口，连接口顶部安装有漩涡器，所述漩涡器顶部设有缓冲板，所述缓冲板顶部设有呈并列式分布的两组环形管，所述环形管底部贯通连接呈环形方式分布的雾化喷头，所述雾化喷头一侧贯通连接供水管一端，所述供水管另一端延伸至过滤箱外部，且与供水箱贯通连接，所述环形管顶部分别设有处理板。

在进行使用时，当氯硅烷废气通过雾化塔底部的连接口进入雾化塔内部后，通过漩涡器的启动，能够将氯硅烷废气产生涡流，从而能够降低气体速度，提高处理效果，氯硅烷废气穿过缓冲板继续向上移动，随后洗涤水通过供水管输入至环形管内，再通过环形管输入至雾化喷头内，即可通过雾化喷头将洗涤水进行雾化，并对氯硅烷废气进行清洗处理，同时，氯硅烷废气可贯穿处理板，处理板能够对氯硅烷废气中最后残留的有害气体进行再次吸附处理，进一步提高处理效果。

本实用新型进一步设置为，所述过滤箱一侧设有第一进气口，三组所述过滤板呈并列式分布，所述过滤板一侧安装设有过滤器。

氯硅烷废气通过第一进气口进入过滤箱内，随后过滤板以及过滤器可对氯硅烷废气中的杂物以及颗粒进行吸附，从而便于下一步工作。

本实用新型进一步设置为，所述净化箱顶部固定连接第二进气口，所述第二进气口顶部贯通连接第一连接管一端，所述净化箱一侧固定连接出气口，所述净化箱内安装有呈并列式分布的净化板，所述净化板内设有透气孔，所述净化板材质为沸石。

在进行使用时，氯硅烷废气通过第一连接管进入净化箱内，净化板可对氯硅烷废气中有机气体进行吸附，从而使废气得到净化。

本实用新型的有益效果为：

1、该氯硅烷废气雾化处理装置，通过雾化塔以及处理板的设置，氯硅烷废气通过雾化塔底部的连接口进入雾化塔内部后，通过漩涡器的启动，能够将氯硅烷废气产生涡流，从而能够降低气体速度，提高处理效果，氯硅烷废气穿过缓冲板继续向上移动，随后洗涤水通过供水管输入至环形管内，再通过环形管输入至雾化喷头内，即可通过雾化喷头将洗涤水进行雾化，并对氯硅烷废气进行清洗处理，同时，氯硅烷废气可贯穿处理板，处理板能够对氯硅烷废气中最后残留的有害气体进行再次吸附处理，进一步提高处理效果。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种氯硅烷废气雾化处理装置的立体结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种氯硅烷废气雾化处理装置的过滤板立体结构示意图；

图3为本实用新型提出的一种氯硅烷废气雾化处理装置的净化箱立体结构示意图；

图4为本实用新型提出的一种氯硅烷废气雾化处理装置的雾化塔结构示意图。

图中：1、过滤箱；2、过滤板；3、第一连接管；4、净化箱；5、第二连接管；6、雾化塔；7、处理板；101、第一进气口；201、过滤器；401、第二进气口；402、出气口；403、净化板；601、漩涡器；602、缓冲板；603、环形管；604、雾化喷头；605、供水管。

具体实施方式

下面结合具体实施方式对本专利的技术方案作进一步详细地说明。

下面详细描述本专利的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本专利，而不能理解为对本专利的限制。

在本专利的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利的限制。

在本专利的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“设置”应做广义理解，例如，可以是固定相连、设置，也可以是可拆卸连接、设置，或一体地连接、设置。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本专利中的具体含义。

参照图1-4，一种氯硅烷废气雾化处理装置，包括过滤箱1、过滤板2、第一连接管3、净化箱4、第二连接管5以及雾化塔6，过滤板2安装于过滤箱1内，第一连接管3一端贯通连接过滤箱1的一侧，第一连接管3的另一侧贯通连接净化箱4的顶部，第二连接管5一侧贯通连接净化箱4，第二连接管5另一端贯通连接雾化塔6，雾化塔6顶部设有排出口，雾化塔6底部设有连接口，连接口顶部安装有漩涡器601，漩涡器601顶部设有缓冲板602，缓冲板602顶部设有呈并列式分布的两组环形管603，环形管603底部贯通连接呈环形方式分布的雾化喷头604，雾化喷头604一侧贯通连接供水管605一端，供水管605另一端延伸至过滤箱1外部，且与供水箱贯通连接。

具体的，环形管603顶部分别设有处理板7。

具体的，过滤箱1一侧设有第一进气口101。

具体的，三组过滤板2呈并列式分布，过滤板2一侧安装设有过滤器201。

具体的，净化箱4顶部固定连接第二进气口401，第二进气口401顶部贯通连接第一连接管3一端，净化箱4一侧固定连接出气口402。

具体的，净化箱4内安装有呈并列式分布的净化板403，净化板403内设有透气孔。

具体的，净化板403材质为沸石。

工作原理：氯硅烷废气通过第一进气口101进入过滤箱1内，随后过滤板2以及过滤器201可对氯硅烷废气中的杂物以及颗粒进行吸附，从而便于下一步工作，氯硅烷废气通过第一连接管3进入净化箱4内，净化板403可对氯硅烷废气中有机气体进行吸附，从而使废气得到净化，净化后的氯硅烷废气通过第二连接管5进入雾化塔6内，当氯硅烷废气通过雾化塔6底部的连接口进入雾化塔6内部后，通过漩涡器601的启动，能够将氯硅烷废气产生涡流，从而能够降低气体速度，提高处理效果，氯硅烷废气穿过缓冲板602继续向上移动，随后洗涤水通过供水管605输入至环形管603内，再通过环形管603输入至雾化喷头604内，即可通过雾化喷头604将洗涤水进行雾化，并对氯硅烷废气进行清洗处理，同时，氯硅烷废气可贯穿处理板7，处理板7能够对氯硅烷废气中最后残留的有害气体进行再次吸附处理，进一步提高处理效果，处理后的氯硅烷废气即可通过排出口排出。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种氯硅烷废气雾化处理装置，包括过滤箱(1)、过滤板(2)、第一连接管(3)、净化箱(4)、第二连接管(5)以及雾化塔(6)，其特征在于，所述过滤板(2)安装于过滤箱(1)内，所述第一连接管(3)一端贯通连接过滤箱(1)的一侧，所述第一连接管(3)的另一侧贯通连接净化箱(4)的顶部，所述第二连接管(5)一侧贯通连接净化箱(4)，所述第二连接管(5)另一端贯通连接雾化塔(6)，所述雾化塔(6)顶部设有排出口，所述雾化塔(6)底部设有连接口，连接口顶部安装有漩涡器(601)，所述漩涡器(601)顶部设有缓冲板(602)，所述缓冲板(602)顶部设有呈并列式分布的两组环形管(603)，所述环形管(603)底部贯通连接呈环形方式分布的雾化喷头(604)，所述雾化喷头(604)一侧贯通连接供水管(605)一端，所述供水管(605)另一端延伸至过滤箱(1)外部，且与供水箱贯通连接。

2.根据权利要求1所述的一种氯硅烷废气雾化处理装置，其特征在于，所述环形管(603)顶部分别设有处理板(7)。

3.根据权利要求1所述的一种氯硅烷废气雾化处理装置，其特征在于，所述过滤箱(1)一侧设有第一进气口(101)。

4.根据权利要求1所述的一种氯硅烷废气雾化处理装置，其特征在于，三组所述过滤板(2)呈并列式分布，所述过滤板(2)一侧安装设有过滤器(201)。

5.根据权利要求1所述的一种氯硅烷废气雾化处理装置，其特征在于，所述净化箱(4)顶部固定连接第二进气口(401)，所述第二进气口(401)顶部贯通连接第一连接管(3)一端，所述净化箱(4)一侧固定连接出气口(402)。

6.根据权利要求1所述的一种氯硅烷废气雾化处理装置，其特征在于，所述净化箱(4)内安装有呈并列式分布的净化板(403)，所述净化板(403)内设有透气孔。

7.根据权利要求6所述的一种氯硅烷废气雾化处理装置，其特征在于，所述净化板(403)材质为沸石。

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