CN218753182U - 一种料座翻转输送机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种料座翻转输送机构，包括：料座翻转机构、料座顶升机构和料座传输机构，所述料座翻转机构和所述料座顶升机构均连接于所述料座传输机构；所述料座翻转机构被设置为将放置在所述料座翻转机构上的料座翻转设定角度；所述料座顶升机构用于承托经翻转设定角度后的所述料座至所述料座传输机构；所述料座传输机构被设置为传输所述料座。本实用新型的有益效果是本方案结构简单，通过料座翻转机构、料座顶升机构和料座传输机构的设置，实现了料座的自动翻转，通过翻转角度传感器和水平检测传感器调整料座放置角度，保证了料座的翻转角度和水平角度，可防止料座运输到位后放置倾斜。

Description

一种料座翻转输送机构

技术领域

本实用新型属于半导体行业领域，尤其是涉及一种料座翻转输送机构。

背景技术

硅片生产时，需要将硅棒线切割成硅片，需要先在设备的料座上粘接一层符合性能要求的树脂或者塑料板材，再将硅棒粘接在板材上，最后再将粘接好的料座放置到设备里进行切割加工，切割后需要将粘接硅棒所用的料座和料板进行水煮分离；在进行料座与料板分离之前，需要将粘接好的料座与料板运输至待定位置；目前在运输的过程中，对于粘棒料座的运输，会造成一端料座与运输结构接触，另一端料板与运输结构接触，使得整体被倾斜运输，运输不平稳，同时也并不利于运输至下一工序的抓取作业。

实用新型内容

本实用新型要解决的问题是提供一种料座翻转输送机构，尤其适合双插头脱胶插片清洗中使用，解决背景技术中提到的上述问题。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种料座翻转输送机构，包括：料座翻转机构、料座顶升机构和料座传输机构，所述料座翻转机构和所述料座顶升机构均连接于所述料座传输机构；

所述料座翻转机构被设置为将放置在所述料座翻转机构上的料座翻转设定角度；所述料座顶升机构用于承托经翻转设定角度后的所述料座至所述料座传输机构；所述料座传输机构被设置为传输所述料座。

进一步的，所述料座翻转机构包括：料座翻转组件，所述料座翻转组件包括：翻转动力单元、旋转杆、料座支撑平台、翻转组件连接架，所述旋转杆的两端各通过一个所述翻转组件连接架连接于所述料座传输机构；

所述旋转杆的一侧设置有所述翻转动力单元，用于带动所述旋转杆旋转；所述料座支撑平台连接于所述旋转杆，用于带动放置于所述料座支撑平台上的所述料座随所述旋转杆旋转设定角度。

进一步的，所述料座支撑平台设置于一对所述连接架之间的所述旋转杆上；所述旋转杆伸出所述翻转组件连接架的任一一端连接于所述翻转动力单元；所述设定角度为180°。

进一步的，所述料座翻转机构还包括：料座旋压组件，所述料座旋压组件包括料座旋压气缸和连接于所述料座旋压气缸上的旋压杆，所述料座旋压组件成对设置于所述料座支撑平台上，用于固定所述料座。

进一步的，所述料座翻转组件还包括：料座翻转角度检测传感器，所述旋转杆伸出所述翻转组件连接架的另一侧设置有所述料座翻转角度检测传感器，用于监测所述旋转杆的旋转角度。

进一步的，所述料座支撑平台上成对设置有限位件，一对所述限位件之间被设置于放置所述料座；

所述料座支撑平台上还设置有重物检测传感器，用于检测所述料座支撑平台上是否放置有所述料座，并将结果反馈给所述料座旋压组件。

进一步的，所述料座顶升机构包括：料座升降气缸、顶升杆、顶升平台和顶升机构连接架，所述料座升降气缸的可伸缩端和所述顶升杆的可伸缩端均设置于所述顶升平台放置所述料座相反的一侧；

所述顶升杆设置有多个，多个所述顶升杆的另一端连接于连接平板；所述料座升降气缸的本体通过所述顶升机构连接架连接于所述料座传输机构。

进一步的，所述料座传输机构包括：主架体、料座运输动力单元和传输单元，所述料座运输动力单元用于驱动所述传输单元运转；所述料座运输动力单元和所述传输单元设置于所述主架体的上端面；

所述传输单元的一侧设置于所述料座翻转机构的下方，用于运输所述料座。

进一步的，所述料座传输机构上还设置有挡板，所述挡板设置于所述传输单元远离所述料座翻转机构的一侧，所述挡板上设置有料座水平检测传感器，用于检测经所述料座传输机构传输过来的所述料座是否水平。

进一步的，所述料座顶升机构设置于所述料座翻转机构的下方，用于承托经翻转设定角度的所述料座放置于所述料座传输机构上传输；

所述料座翻转机构和所述料座顶升机构均连接于所述主架体上。

由于采用上述技术方案，具有以下有益效果：

本方案结构简单，通过料座翻转机构、料座顶升机构和料座传输机构的设置，实现了料座的自动翻转，通过翻转角度传感器和水平检测传感器调整料座放置角度，保证了料座的翻转角度和水平角度，可防止料座运输到位后放置倾斜。通过本装置实现了料座的自动翻转和运输，降低了劳动力，提高了效率，节省了人工成本，同时实现了自动化、信息化、智能化。

附图说明

图1是本实用新型一种实施例的整体结构示意图；

图2是本实用新型一种实施例中拆除部分架体的结构示意图；

图3是本实用新型一种实施例的左视图；

图4是本实用新型一种实施例的主视图。

图中：

10、料座翻转机构 20、料座顶升机构 30、料座传输机构

11、料座翻转组件 12、料座旋压组件 111、旋转动力单元

112、旋转杆 113、料座支撑平台 114、翻转组件连接

115、料座翻转角度检测 116、重物检测传感器 架

传感器 121、料座旋压气缸 122、旋压杆

21、料座升降气缸 22、顶升杆 23、顶升平台

24、顶升机构连接架 31、主架体 32、料座运输动力

33、传输单元 34、料座水平检测传 单元

感器

具体实施方式

下面结合实施例和附图对本实用新型作进一步说明：

在本实用新型的一种实施例中，如图1所示，一种料座翻转输送机构，包括：料座翻转机构10、料座顶升机构20和料座传输机构30，在本实施例中，料座翻转机构10和料座顶升机构20均连接于料座传输机构30；工作过程中，将料座放置于料座翻转机构10上并固定，通过料座翻转机构10带动料座翻转设定角度，经料座翻转机构10翻转设定角度后的料座被料座顶升机构20承托，并将料座移动放置于料座传输机构30上向下一工序运输。

具体的，料座翻转机构10包括：料座翻转组件11和料座旋压组件12，料座翻转组件11包括：翻转动力单元111、旋转杆112、料座支撑平台113 和翻转组件连接架114，其中旋转杆112的两端均架设在翻转组件连接架114 上，旋转杆112的两端各通过一个翻转组件连接架114连接于料座传输机构 30；其中旋转杆112的的一侧设置有翻转动力单元111，通过翻转动力单元带动旋转杆112旋转；同样的，料座支撑平台113也连接于旋转杆112，用于带动放置于料座支撑平台113上的料座随旋转杆112旋转设定角度。

在本实施例中，翻转动力单元111可以为料座翻转电机，通过料座翻转电机驱动旋转杆112旋转进而带动料座旋转设定角度；在本实施例中其设定角度为180°，将来料的倒置的料座翻转180°后正向向下一工序传输。

同时，料座支撑平台113设置于一对翻转组件连接架114之间的旋转杆 112上，在本实施例中，料座支撑平台113上设置有放置料座的支撑台和设置在支撑台下方套设于旋转杆112上的套装件，在本实施例中，支撑台即为一个放置平面，放置料座的支撑台上成对设置有第一限位件，第一限位件沿料座支撑平台113的长度方向设置，该第一限位件上带有凸起结构，一对第一限位件的凸起结构之间放置料座，通过凸起结构限定料座的放置位置；同时在料座支撑平台113上还设置有重物检测传感器116，本实施例中，重物检测传感器116设置在料座支撑平台113的底部，通过重物检测传感器116 检测料座支撑平台113上是否放置有料座，并将结果反馈给料座旋压组件 12，便于料座旋压组件12可以动作来夹持或者松开料座。

在本实施例中，在旋转杆112伸出翻转结构连接架114的任意一端连接有翻转动力单元111，在旋转杆112伸出翻转结构连接架114的另一端设置有料座翻转角度检测传感器115，通过该料座翻转角度检测传感器115监测旋转杆112的旋转角度，保证了料座的翻转角度和水平角度，可防止料座在后续的运输以及运输到位后放置倾斜。

在本实施例中，共对称设置有一对翻转结构连接架114，位于料座翻转机构10一侧的翻转结构连接架114包括呈“L”型架体以及旋转杆支撑座，旋转杆112穿过旋转杆支撑座上的开孔后伸出端连接料座翻转角度检测传感器115；同样的，位于料座翻转结构10另一侧的翻转结构连接架114对称设置。

在本实施例中，料座旋压组件12包括料座旋压气缸121和连接于料座旋压气缸121上的旋压杆122，其中料座旋压组件12成对设置于料座支撑平台113上；在本实施例中，沿料座支撑平台113长度方向的两侧各设置有一对料座旋压组件12，旋压杆122与料座接触部分设置有开槽，通过开槽来定位和稳固固定料座；在工作过程中，倒置来料的料座以及粘接在料座上的树脂板被放置在一对限位件的凸起结构之间，通过料座旋压气缸121驱动旋压杆122移动至接触并固定好料座。

具体的，料座顶升机构20包括：料座升降气缸21、顶升杆22、顶升平台23和顶升机构连接架24，料座升降气缸21的可伸缩端和顶升杆22的可伸缩端均设置于顶升平台23放置料座相反的一侧，通过升降气缸21和顶升杆22推动顶升平台23承托经翻转后的料座；本实施例中，设置有多个顶升杆22，多个顶升杆22的另一端均连接于连接平板，实现多个顶升杆22的同步运动；料座升降气缸21的本体通过顶升机构连接架24连接于料座传输机构30。

在本实施例中，共设置有4个顶升杆22，沿料座升降气缸21的两侧对称各设置有两个，使得对顶升平台23的支撑更加均匀；同时顶升平台23放置料座的一侧同样沿顶升平台23的长度方向设置的第二限位件，该结构与第一限位件结构相似，如图几所示，对放置在顶升平台23上的料座起到限位的作用。料座升降气缸21的本体通过顶升机构连接架24连接于料座传输机构30，顶升连接架24上同样开设有可供顶杆杆22穿过的孔；料座顶升机构20整体通过顶升机构连接架24连接于料座传输机构；可以想到，顶升机构连接架24仅起到连接作用，并不限定于本实施例中提到的结构。

具体的，料座传输机构30包括：主架体31、料座运输动力单元32、传输单元33和料座水平检测传感器34，在本实施例中，主架体31为由多个支撑杆连接成的底座架体结构，料座运输动力单元32和传输单元33设置于主架体31的上端面；料座翻转机构10和料座顶升机构20均连接于主架体 31上。可以想到，主架体31可以根据实际需求进行设计，并不限于本实施例中的形状和结构，起到支撑作用的架体结构均可。

传输单元33的一侧设置于料座翻转机构10的下方，通过料座运输动力单元32驱动传输单元33运转，从而运输料座。传输单元33远离料座翻转机构的一侧设置有挡板，挡板上设置有料座水平检测传感器34，通过料座水平检测传感器34检测经料座传输机构传输过来的料座是否水平，保证了料座的水平角度，可防止料座在运输到位后放置倾斜。

在本实施例中，如图几所示，料座运输动力单元32为料座运输电机，传输单元可以但不限于链传动，例如本实施例中采用链条传输机构；可以想到，作为可替换方案没传输单元还可以采用带传动。为了实现整体的翻转和运输料座的工作过程，料座顶升机构20设置于料座翻转机构10的下方，料座顶升结构20靠近传输单元33的一侧设置，将倒置的料座经料座翻转机构 10翻转设定角度后被料座顶升机构20承托后放置于所述料座传输机构上传输。

本实用新型的一种实施例的工作过程：料座放到机构上后，首先料座旋压气缸121夹紧料座使料座固定住，翻转动力单元111开始翻转至料座翻转角度检测传感器115有信号，然后料座升降气缸21带动顶升平台23升到位，料座旋压气缸121松夹，料座被放置在顶升平台23上后，料座升降气缸21 带动顶升平台23开始下降，至于传输单元33上。最后料座运输动力单元 32带动传输单元33运转运送料座至挡板处，挡板处有两个料座水平检测传感器34检测料座放置是否水平，完成运输。

以上对本实用新型的实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。

Claims (10)

1.一种料座翻转输送机构，其特征在于，包括：料座翻转机构、料座顶升机构和料座传输机构，所述料座翻转机构和所述料座顶升机构均连接于所述料座传输机构；

所述料座翻转机构被设置为将放置在所述料座翻转机构上的料座翻转设定角度；所述料座顶升机构用于承托经翻转设定角度后的所述料座至所述料座传输机构；所述料座传输机构被设置为传输所述料座。

2.根据权利要求1所述的一种料座翻转输送机构，其特征在于：所述料座翻转机构包括：料座翻转组件，所述料座翻转组件包括：翻转动力单元、旋转杆、料座支撑平台、翻转组件连接架，所述旋转杆的两端各通过一个所述翻转组件连接架连接于所述料座传输机构；

所述旋转杆的一侧设置有所述翻转动力单元，用于带动所述旋转杆旋转；所述料座支撑平台连接于所述旋转杆，用于带动放置于所述料座支撑平台上的所述料座随所述旋转杆旋转设定角度。

3.根据权利要求2所述的一种料座翻转输送机构，其特征在于：所述料座支撑平台设置于一对所述连接架之间的所述旋转杆上；所述旋转杆伸出所述翻转组件连接架的任一一端连接于所述翻转动力单元；所述设定角度为180°。

4.根据权利要求2所述的一种料座翻转输送机构，其特征在于，所述料座翻转机构还包括：料座旋压组件，所述料座旋压组件包括料座旋压气缸和连接于所述料座旋压气缸上的旋压杆，所述料座旋压组件成对设置于所述料座支撑平台上，用于固定所述料座。

5.根据权利要求4所述的一种料座翻转输送机构，其特征在于，所述料座翻转组件还包括：料座翻转角度检测传感器，所述旋转杆伸出所述翻转组件连接架的另一侧设置有所述料座翻转角度检测传感器，用于监测所述旋转杆的旋转角度。

6.根据权利要求4所述的一种料座翻转输送机构，其特征在于，所述料座支撑平台上成对设置有限位件，一对所述限位件之间被设置于放置所述料座；

所述料座支撑平台上还设置有重物检测传感器，用于检测所述料座支撑平台上是否放置有所述料座，并将结果反馈给所述料座旋压组件。

7.根据权利要求1所述的一种料座翻转输送机构，其特征在于：所述料座顶升机构包括：料座升降气缸、顶升杆、顶升平台和顶升机构连接架，所述料座升降气缸的可伸缩端和所述顶升杆的可伸缩端均设置于所述顶升平台放置所述料座相反的一侧；

所述顶升杆设置有多个，多个所述顶升杆的另一端连接于连接平板；所述料座升降气缸的本体通过所述顶升机构连接架连接于所述料座传输机构。

8.根据权利要求1所述的一种料座翻转输送机构，其特征在于：所述料座传输机构包括：主架体、料座运输动力单元和传输单元，所述料座运输动力单元用于驱动所述传输单元运转；所述料座运输动力单元和所述传输单元设置于所述主架体的上端面；

所述传输单元的一侧设置于所述料座翻转机构的下方，用于运输所述料座。

9.根据权利要求8所述的一种料座翻转输送机构，其特征在于：所述料座传输机构上还设置有挡板，所述挡板设置于所述传输单元远离所述料座翻转机构的一侧，所述挡板上设置有料座水平检测传感器，用于检测经所述料座传输机构传输过来的所述料座是否水平。

10.根据权利要求8所述的一种料座翻转输送机构，其特征在于，所述料座顶升机构设置于所述料座翻转机构的下方，用于承托经翻转设定角度的所述料座放置于所述料座传输机构上传输；

所述料座翻转机构和所述料座顶升机构均连接于所述主架体上。

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