CN218741117U - 一种废气处理系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种废气处理系统,解决了废气处理效果差、废气处理效率低的技术问题。该装置包括依次连通的风机、进气管道、吸附室、排气管道、水洗机构和烟囱,所述吸附室用于对废气进行干法处理,所述水洗机构用于对废气进行湿法处理。本实用新型将干法处理和湿法处理相结合,既能提高对废气的处理效果,又能提高废气处理效率。
Description
技术领域
本实用新型属于废气处理技术领域,具体涉及一种废气处理系统。
背景技术
LED灯作为节能环保型灯具近年来备受推崇,尤其在大型企业的清洁生产改造项目中更是被广泛应用,但LED芯片在生产过程中会产生大量砷烷、磷烷等剧毒废气。当前应用中的MOCVD废气处理设施处理一类废气需要多种工艺组合运行,耗能高且占地面积大,不同LED芯片所产生的废气种类和气量也不相同,因此MOCVD废气的处理面临着许多困难。
在LED芯片生产过程中MOCVD废气治理方面,主流工艺是以吸附法为代表的干法和以水洗液吸收为代表的湿法,单纯的干法的效率相对湿法通常较低,单纯的湿法会产生大量废水,造成的二次污染处理难度大,不符合当前节能减碳的发展要求。
由此可知,相关技术中的废气处理系统存在废气处理效果较差,废气处理效率低、设备复杂、占地面积大等问题,有待改进。
实用新型内容
为了解决上述全部或部分问题,本实用新型的目的在于提供一种废气处理系统,可以提高废气处理效果、提高废气处理效率、设备简洁、节省占地面积。
本实用新型提供了一种废气处理系统,包括依次连通的风机、进气管道、吸附室、排气管道、水洗机构和烟囱,所述吸附室用于对废气进行干法处理,所述水洗机构用于对废气进行湿法处理。
可选地,所述水洗机构包括:
水洗箱,用于存储水洗液,且所述烟囱连通于所述水洗箱的顶部;
水洗管道,一端连接至所述排气管道,另一端连通至所述水洗箱;
其中,所述水洗管道延伸至所述水洗箱的底部位置,以使得水洗液能够浸没所述水洗管道的排放端口。
可选地,所述水洗机构还包括防倒吸罐,所述防倒吸罐的一端与所述排气管道连通,另一端与所述水洗管道连通。
可选地,所述水洗箱内设置有破碎网,所述水洗管道的排放端口位于所述破碎网的下方,以使所述水洗管道排出的气泡经过所述破碎网后打碎。
可选地,所述吸附室包括:
壳体,内部呈中空结构布置,且所述排气管道与所述壳体连通;
进气筒,设置于所述壳体内,所述进气筒的两端分别与所述壳体的相应内壁连接,并使所述壳体与所述进气筒之间形成环形的处理腔,且所述进气管道与所述进气筒连通;
吸附剂,填充于所述处理腔内;
进气孔,数量为多个,且分别开设于所述进气筒上,且所述进气孔将所述进气筒与所述处理腔连通。
可选地,所述进气筒上设置有多个隔板,多个所述隔板将所述处理腔分隔为多个独立的吸附腔,且所述吸附剂填充于每个所述吸附腔内,每个所述隔板上均设置有管控阀,且所述管控阀能够将相邻两个所述吸附腔连通。
可选地,多个所述进气孔与多个所述吸附腔一一对应连通,所述进气筒上设置有多个控制阀,且所述控制阀用于控制相应的所述进气孔启闭。
可选地,所述壳体呈圆柱状,所述进气筒与所述壳体转动连接,所述壳体上设置有检修窗,所述检修窗能够单独对准任一所述吸附腔。
可选地,所述废气处理系统还包括多个浓度检测器,所述浓度检测器设置于所述进气管道、排气管道以及烟囱上,并用于对废气浓度进行监测。
可选地,所述废气处理系统还包括控制器,所述浓度检测器和所述管控阀分别与所述控制器连接,所述控制器用于接收所述浓度检测器的信号并控制所述管控阀启闭。
由上述技术方案可知,本实用新型提供的废气处理系统,具有以下优点:
该装置通过将废气处理方法中的干法处理和湿法处理相结合,既能提高对废气的处理效果,又能提高废气处理效率,还能提高废气处理系统的功能多样性。同时,此设计使得废气处理系统的设备更加简介,操作更加便利,同时还能节省占地面积。
本实用新型的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述。
附图说明
附图用来提供对本实用新型技术方案的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型的技术方案,并不构成对本实用新型技术方案的限制。
图1为本实用新型实施例中废气处理系统的主视图;
图2为本实用新型实施例中废气处理系统的吸附室的结构示意图;
图3为本实用新型实施例中废气处理系统的壳体的侧视图;
图4为本实用新型实施例中废气处理系统的壳体的内部结构示意图;
图5为本实用新型实施例中废气处理系统的壳体的主视图;
图6为本实用新型实施例中废气处理系统的破碎网的俯视图。
附图标记说明:
1、风机;2、进气管道;3、吸附室;31、壳体;32、进气筒;33、处理腔;34、隔板;35、吸附腔;36、吸附剂;37、进气孔;4、排气管道;5、水洗机构;51、水洗箱;52、水洗管道;53、防倒吸罐;6、烟囱;7、管控阀;8、控制阀;9、浓度检测器;10、控制器;11、检修窗;12、破碎网。
具体实施方式
为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明白,下文中将结合附图对本实用新型的实施例进行详细说明。需要说明的是,在不冲突的情况下,本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互任意组合。
如图1、图2、图3、图4、图5以及图6所示为本实用新型实施例,该实施例中公开了一种废气处理系统,包括依次连通的风机1、进气管道2、吸附室3、排气管道4、水洗机构5和烟囱6,吸附室3用于对废气进行干法处理,水洗机构5用于对废气进行湿法处理。风机1的进气端口能够与外部废气排放管道连通,从而使得风机1能够将废气鼓入进气管道2,进而实现对废气的输送。
本实施例中的废气处理系统,通过将废气处理方法中的干法处理和湿法处理相结合,既能提高对废气的处理效果,又能提高废气处理效率,还能提高废气处理系统的功能多样性。
本申请中所说的“干法处理”和“湿法处理”指的是废气处理方法,“干法处理”就是通过吸附材料对废气中的有害物质进行吸附处理,“湿法处理”就是通过水洗液对废气中的有害物质进行水洗处理。
在一个实施例中,如图1、图2、图3和图4所示,吸附室3包括内部中空并呈圆柱状结构的壳体31,并且排气管道4与壳体31连通。吸附室3的内部设置有进气筒32,进气筒32呈圆管状或内部中空的圆柱状结构,进气筒 32与壳体31共轴心线,并且进气筒32的两端分别与壳体31的相应内壁连接,以使得壳体31与进气筒32之间形成环形的处理腔33,同时,进气管道2与进气筒32连通。
在一个实施例中,如图2、图3和图4所示,进气筒32的外壁固定连接有多个隔板34,多个隔板34沿进气筒32的圆周方向均匀分布,隔板34的侧壁与壳体31的内壁抵接,并且多个隔板34将处理腔33均分为多个独立的吸附腔35,并且每个吸附腔35内均填充有吸附剂36。
在一个实施例中,如图2、图3和图4所示,每个隔板34上均设置有管控阀7,管控阀7能够使相邻两个吸附腔35连通,或者使相邻两个吸附腔35 互不连通。
在一个实施例中,如图2、图3和图4所示,进气筒32上贯穿开设有多个进气孔37,多个进气孔37与多个吸附腔35一一对应连通,进气筒32上设置有多个控制阀8,并控制阀8用于控制相应的进气孔37启闭。
当对废气进行处理时,将多个控制阀8分别打开,此时,废气进入到多个吸附腔35内,然后吸附剂36对废气进行吸附处理。此时,通过控制管控阀7的启闭,改变废气的流动方向,也就是废气的浓度较高时,打开多个管控阀7,此时,多个吸附室3同时工作,从而实现对废气的快速、充分处理。同理,如果废气的浓度较低时,打开部分管控阀7,此时,部分吸附室3工作,从而实现对废气的处理。
在本实施例中,吸附剂36的骨料以高强度多介孔型骨料为佳,并且吸附剂36采用金属氧化物材料,例如氧化铜、氧化锌、氧化银以及氧化铝等,因为金属氧化物对磷烷和砷烷具有优良吸附能力,因此提高废气处理效果。
在一个实施例中,如图1所示,废气处理系统还包括多个浓度检测器9,并且进气管道2、排气管道4以及烟囱6上分别设置有一个浓度检测器9,以实现对废气浓度的监测。
在一个实施例中,如图3和图4所示,废气处理系统还包括控制器10,浓度检测器9和管控阀7分别与控制器10连接,控制器10用于接收浓度检测器9的信号并控制管控阀7启闭。
当进气管道2上的浓度检测器9监测到废气的浓度相对较高时,控制器 10控制所有管控阀7开启,或者控制大部分管控阀7开启,此时,多个吸附室3同时对废气进行处理。同理,当进气管道2上的浓度检测器9监测到废气的浓度相对较低时,控制器10控制少部分管控阀7开启,此时,少部分吸附室3对废气进行处理。
在一个实施例中,如图4和图5所示,进气筒32与壳体31转动连接,也就是壳体31能够带动多个隔板34绕壳体31的轴心线转动。壳体31上设置有检修窗11,检修窗11能够单独对准任一吸附腔35,以方便工作人员对吸附剂36的更换,同时,当工作日人员对吸附剂36进行更换时,能够将相应的控制阀8关闭,以防止更换吸附剂36时漏气。
在一个实施例中,如图1所示,水洗机构5包括水洗箱51、水洗管道52 和防倒吸罐53,水洗箱51用于存储水洗液,并且烟囱6连通于水洗箱51的顶部。防倒吸罐53的一端与排气管道4连通,另一端与水洗管道52连通,同时,水洗管道52与水洗箱51连通,并且水洗管道52延伸至水洗箱51的底部位置,以使得水洗液能够浸没水洗管道52的排放端口。
在本实施例中,防倒吸罐53采用玻璃钢材质制成,在其他实施例中,也可以采用其他耐腐蚀材料。
在一个实施例中,如图1、图6所示,水洗箱51内设置有破碎网12,破碎网12呈水平状布置,破碎网12的四侧侧壁分别与水洗箱51的相应内壁连接,并且破碎网12位于水洗液的液面以下。同时,水洗管道52的排放端口位于破碎网12的下方,以使水洗管道52排出的气泡经过破碎网12后能够被打碎。
对比现有的废气处理系统,本设计使得LED芯片生产过程中MOCVD废气处理系统不受LED芯片产品种类限制,不论蓝绿光源或者红黄光源的 MOCVD废气均可以通过本装置处理,占地面积小、效率高。同时,本装置可在不停机状况下更换吸附剂36,且可以根据废气浓度与风量控制管控阀7 切换,合理调整吸附剂36的用量,降低成本。不仅如此,本装置不仅可以处理LED芯片生产过程中的MOCVD废气,同时可以处理MOCVD反应炉的清洗废气——氯气,处理范围广,适用性较强。
需要注意的是,除非另有说明,本实用新型使用的技术术语或者科学术语应当为本实用新型所属领域技术人员所理解的通常意义。
此外,术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。在本实用新型的描述中,“多个”的含义是两个以上,除非另有明确具体的限定。
最后应说明的是:以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围,其均应涵盖在本实用新型的权利要求和说明书的范围当中。尤其是,只要不存在结构冲突,各个实施例中所提到的各项技术特征均可以任意方式组合起来。本实用新型并不局限于文中公开的特定实施例,而是包括落入权利要求的范围内的所有技术方案。
Claims (10)
1.一种废气处理系统,其特征在于,包括依次连通的风机(1)、进气管道(2)、吸附室(3)、排气管道(4)、水洗机构(5)和烟囱(6),所述吸附室(3)用于对废气进行干法处理,所述水洗机构(5)用于对废气进行湿法处理。
2.根据权利要求1所述的废气处理系统,其特征在于,所述水洗机构(5)包括:
水洗箱(51),用于存储水洗液,且所述烟囱(6)连通于所述水洗箱(51)的顶部;
水洗管道(52),一端连接至所述排气管道(4),另一端连通至所述水洗箱(51);
其中,所述水洗管道(52)延伸至所述水洗箱(51)的底部位置,以使得水洗液能够浸没所述水洗管道(52)的排放端口。
3.根据权利要求2所述的废气处理系统,其特征在于,所述水洗机构(5)还包括防倒吸罐(53),所述防倒吸罐(53)的一端与所述排气管道(4)连通,另一端与所述水洗管道(52)连通。
4.根据权利要求2所述的废气处理系统,其特征在于,所述水洗箱(51)内设置有破碎网(12),所述水洗管道(52)的排放端口位于所述破碎网(12)的下方,以使所述水洗管道(52)排出的气泡经过所述破碎网(12)后打碎。
5.根据权利要求1所述的废气处理系统,其特征在于,所述吸附室(3)包括:
壳体(31),内部呈中空结构布置,且所述排气管道(4)与所述壳体(31)连通;
进气筒(32),设置于所述壳体(31)内,所述进气筒(32)的两端分别与所述壳体(31)的相应内壁连接,并使所述壳体(31)与所述进气筒(32)之间形成环形的处理腔(33),且所述进气管道(2)与所述进气筒(32)连通;
吸附剂(36),填充于所述处理腔(33)内;
进气孔(37),数量为多个,且分别开设于所述进气筒(32)上,且所述进气孔(37)将所述进气筒(32)与所述处理腔(33)连通。
6.根据权利要求5所述的废气处理系统,其特征在于,所述进气筒(32)上设置有多个隔板(34),多个所述隔板(34)将所述处理腔(33)分隔为多个独立的吸附腔(35),且所述吸附剂(36)填充于每个所述吸附腔(35)内,每个所述隔板(34)上均设置有管控阀(7),且所述管控阀(7)能够将相邻两个所述吸附腔(35)连通。
7.根据权利要求6所述的废气处理系统,其特征在于,多个所述进气孔(37)与多个所述吸附腔(35)一一对应连通,所述进气筒(32)上设置有多个控制阀(8),且所述控制阀(8)用于控制相应的所述进气孔(37)启闭。
8.根据权利要求7所述的废气处理系统,其特征在于,所述壳体(31)呈圆柱状,所述进气筒(32)与所述壳体(31)转动连接,所述壳体(31)上设置有检修窗(11),所述检修窗(11)能够单独对准任一所述吸附腔(35)。
9.根据权利要求6所述的废气处理系统,其特征在于,所述废气处理系统还包括多个浓度检测器(9),所述浓度检测器(9)设置于所述进气管道(2)、排气管道(4)以及烟囱(6)上,并用于对废气浓度进行监测。
10.根据权利要求9所述的废气处理系统,其特征在于,所述废气处理系统还包括控制器(10),所述浓度检测器(9)和所述管控阀(7)分别与所述控制器(10)连接,所述控制器(10)用于接收所述浓度检测器(9)的信号并控制所述管控阀(7)启闭。
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