CN218727703U

CN218727703U - 一种外置调节探针的冷热台

Info

Publication number: CN218727703U
Application number: CN202222835245.9U
Authority: CN
Inventors: 周阳; 汪金文; 汪明炉
Original assignee: Jinwen Measurement And Control Technology Suzhou Co ltd
Current assignee: Jinwen Measurement And Control Technology Suzhou Co ltd
Priority date: 2022-10-26
Filing date: 2022-10-26
Publication date: 2023-03-24
Anticipated expiration: 2032-10-26

Abstract

本实用新型公开了一种外置调节探针的冷热台，包括顶部具有测试腔的基座、冷热台及盖板，所述基座底部安装于一底板上，所述测试腔内设有多组探针，每组所述探针的检测端正对所述冷热台设置，其特征在于：所述基座的外表面上安装有多组探针调节机构，每组所述探针调节机构的内端分别经一固定杆与一组所述探针的外端相连；所述探针调节机构包括探针座及活动连接机构，所述探针座的底部安装于所述底板上，所述探针座的内端经所述活动连接机构与所述基座的外表面相连，所述固定杆的外端穿过所述活动连接机构与所述探针座相连，所述探针座经所述固定杆调节所述探针在所述测试腔内的位置。本实用新型提高了测试效率，降低了测试成本。

Description

一种外置调节探针的冷热台

技术领域

本实用新型涉及一种测试领域，尤其涉及一种外置调节探针的冷热台。

背景技术

目前半导体及生物化学等材料被广泛研究，材料的发展也制约着科技的发展，如何开发出更高端的新材料成为当下热点，众所周知，材料受温度、电信号、周围环境等影响，这也就需要对测量装置的不断升级，满足材料测量要求。

现有技术中，利用冷热台以及探针对产品进行电学性能测试的时候，产品放置之后，探针位置调节好之后，再进行密闭空间的温度调节，然后进行电学性能测试。而测试的时候，只能够根据探针与产品的接触位置，对该处的位置进行测试。如果需要测试产品的其他位置，具有2种方法，第一种是增加探针的数量，不同探针对样品的不同位置进行探测，但是，这种方式中，相邻探针位置距离比较近的话，会影响检测精度，或者检测不合格。第二种方式是在测量一次之后，将设备打开，重新调节探针的位置之后，再进行密封、温度调节，然后进行测试。这种方式中，效率比较低，还需要再次温度调节，能耗高，成本也更加高昂。

发明内容

本实用新型目的是提供一种外置调节探针的冷热台，通过使用该结构，能够对产品的不同位置进行测试，提高测试的便利性，降低测试难度，也提高测试效率，还能够节约能耗。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种外置调节探针的冷热台，包括顶部具有测试腔的基座、安装于测试腔中部的冷热台及可拆卸安装于所述基座顶部的盖板，所述基座底部安装于一底板上，所述测试腔内设有多组探针，每组所述探针的检测端正对所述冷热台设置，所述基座的外表面上安装有多组探针调节机构，每组所述探针调节机构的内端分别经一固定杆与一组所述探针的外端相连；

所述探针调节机构包括探针座及活动连接机构，所述探针座的底部安装于所述底板上，所述探针座的内端经所述活动连接机构与所述基座的外表面相连，所述固定杆的外端穿过所述活动连接机构与所述探针座相连；

所述探针座包括连接块、竖向调节机构、轴向调节机构及纵向调节机构，所述固定杆的外端与所述连接块的内壁相连，所述连接块经所述竖向调节机构与所述纵向调节机构相连，所述纵向调节机构经所述轴向调节机构与所述底板相连。

上述技术方案中，所述轴向调节机构包括支撑块、第一滑轨、第一滑块及第一推动组件，所述支撑块安装于所述底板上，所述第一滑轨安装于所述支撑块的顶面上，且所述第一滑轨平行于对应所述固定杆设置，所述第一滑块滑动设置于所述第一滑轨的顶部，所述第一推动组件转动安装于所述支撑块上，所述第一推动组件与所述第一滑块相连，所述第一推动组件转动时，推动所述第一滑块在所述第一滑轨上面移动。

上述技术方案中，所述纵向调节机构包括第二滑块、第二滑轨及第二推动组件，所述第二滑轨设置于所述第一滑块的顶部，所述第二滑轨垂直设置于所述第一滑轨的正上方，所述第一滑轨及第二滑轨平行于所述底板的顶面设置，所述第二滑块滑动安装于所述第二滑轨的顶面上，所述第二推动组件转动安装于所述第一滑块上，且所述第二推动组件的中部与所述第二滑块相连，所述第二推动组件转动时，推动所述第二滑块在所述第二滑轨上面移动。

上述技术方案中，所述竖向调节机构包括第三滑块、第三滑轨及第三推动组件，所述第三滑轨安装于所述第二滑块的内侧面上，所述第三滑轨垂直于所述第二滑轨设置，且所述第三滑轨垂直于所述底板的顶面设置，所述第三滑块的外端滑动设置于所述第三滑轨上，所述连接块的外端与所述第三滑块的内端面相连，所述第三推动组件转动安装于所述第二滑块上，所述第三推动组件的中部与所述第三滑块相连，所述第三推动组件转动时，推动所述第三滑块在所述第三滑轨上面移动。

上述技术方案中，所述活动连接机构为波纹管，所述波纹管的内端与所述基座的外表面相连，所述波纹管的外端与所述连接块的内端外表面相连。

上述技术方案中，所述基座的外表面上设有与所述探针电性连接的探针接头；所述基座的外表面上设有真空接口，所述真空接口的内端与所述测试腔相连通；所述基座上设有一环形腔，所述环形腔设置于所述测试腔的外部，所述基座的外表面上设有进水接口及出水接口，所述进水接口及出水接口分别与所述环形腔相连通。

上述技术方案中，所述冷热台的内部设有一温度传感器及制冷加热装置，所述基座的外表面上设有一温控接口，所述温控接口与温度传感器及制冷加热装置电连接。

上述技术方案中，所述制冷加热装置包括加热装置及制冷装置，所述加热装置为加热棒，所述制冷装置包括液氮管，所述液氮管的中部设置于所述冷热台内，所述液氮管的两端设置于所述基座的外部。

上述技术方案中，所述测试腔内还设有两组弹性压片，所述弹性压片的外端与所述测试腔转动相连，所述弹性压片的内端可转动设置于所述冷热台的正上方。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：

1.本实用新型中探针通过探针调节机构与基座及底板进行连接，并且将探针调节机构设置在基座的外部，这样在实际测试过程中，能够对探针与样品接触的地方进行X、Y、Z轴三个方向的调节，这样能提提高测试的便利性及测试精度，同时能够节约能耗，降低成本。

附图说明

图1是本实用新型实施例一中的结构示意图；

图2是图1中盖板拆卸后的结构示意图；

图3是本实用新型实施例一中探针座处的局部放大图；

图4是本实用新型实施例一中探针座处的局部剖视结构示意图。

其中：1、基座；2、冷热台；3、盖板；4、底板；5、探针；6、固定杆；7、视窗玻璃；8、探针座；9、连接块；10、弹性压片；11、支撑块；12、第一滑轨；13、第一滑块；14、第一推动组件；15、第二滑块；16、第二滑轨；17、第二推动组件；18、第三滑块；19、第三推动组件；20、真空接口；21、进水接口；22、出水接口；23、波纹管；24、液氮管；25、探针接头；26、测试腔；27、第一空腔；28、第一条形通槽；29、第二空腔；30、第二条形通槽；31、第三空腔；32、第三条形通槽；33、第三滑轨。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述：

实施例一：参见图1～4所示，一种外置调节探针的冷热台，包括顶部具有测试腔26的基座1、安装于测试腔中部的冷热台2及可拆卸安装于所述基座顶部的盖板3，所述基座底部安装于一底板4上，所述测试腔内设有多组探针5，每组所述探针的检测端正对所述冷热台设置，所述基座的外表面上安装有多组探针调节机构，每组所述探针调节机构的内端分别经一固定杆6与一组所述探针的外端相连；其中，盖板上具有视窗玻璃7正对冷热台。

所述探针调节机构包括探针座8及活动连接机构，所述探针座的底部安装于所述底板上，所述探针座的内端经所述活动连接机构与所述基座的外表面相连，所述固定杆的外端穿过所述活动连接机构与所述探针座相连；

所述探针座包括连接块9、竖向调节机构、轴向调节机构及纵向调节机构，所述固定杆的外端与所述连接块的内壁相连，所述连接块经所述竖向调节机构与所述纵向调节机构相连，所述纵向调节机构经所述轴向调节机构与所述底板相连。

参见图2所示，所述测试腔内还设有两组弹性压片10，所述弹性压片的外端与所述测试腔转动相连，所述弹性压片的内端可转动设置于所述冷热台的正上方。

在本实施例中，会通过测试系统与冷热台以及探针进行电控连接，通过对冷热台进行温度调节，通过探针对样品进行测试。其中，测试的时候，先将盖板打开，然后将样品放在冷热台上面，通过弹性压片将样品压在冷热台上，每组探针则抵在样品的对应位置，再将盖板关闭，冷热台进行温度的调节，测试系统通过探针测试产品的性能。其中，需要测试样品不同位置性能的时候，操作人员通过对竖向调节机构、轴向调节机构及纵向调节机构的调节，从而带动固定杆以及对应探针沿着固定杆的轴线活动、或者竖向或者或者纵向活动，对探针与样品之间的位置进行调节，能够测试样品不同位置的数据，这样冷热台的温度能够一直进行保持或者调节，还能够实现探针对不同位置的变化测试，能够在同一温度场或者不同温度场的情况下对样品的不同位置进行测试，提高测试效率，降低测试成本。

参见图1～4所示，所述轴向调节机构包括支撑块11、第一滑轨12、第一滑块13及第一推动组件14，所述支撑块安装于所述底板上，所述第一滑轨安装于所述支撑块的顶面上，且所述第一滑轨平行于对应所述固定杆设置，所述第一滑块滑动设置于所述第一滑轨的顶部，所述第一推动组件转动安装于所述支撑块上，所述第一推动组件与所述第一滑块相连，所述第一推动组件转动时，推动所述第一滑块在所述第一滑轨上面移动。

在本实施例中，支撑块内设有第一空腔27，第一滑轨顶部设有第一条形通槽28与第一空腔连通，第一滑块的底面中部则穿过第一条形通槽插入在第一空腔内，和第一推动组件的中部进行连接，第一推动组件为螺杆，螺杆和支撑块转动连接，螺杆的中部处在第一空腔内，和第一滑块连接，螺杆转动时，带动第一滑块沿着第一滑轨移动。

参见图1～4所示，所述纵向调节机构包括第二滑块15、第二滑轨16及第二推动组件17，所述第二滑轨设置于所述第一滑块的顶部，所述第二滑轨垂直设置于所述第一滑轨的正上方，所述第一滑轨及第二滑轨平行于所述底板的顶面设置，所述第二滑块滑动安装于所述第二滑轨的顶面上，所述第二推动组件转动安装于所述第一滑块上，且所述第二推动组件的中部与所述第二滑块相连，所述第二推动组件转动时，推动所述第二滑块在所述第二滑轨上面移动。

在本实施例中，第一滑块内部设有第二空腔29，第二滑轨顶部设有与第二空腔连通的第二条形通槽30，第二推动组件为螺杆，螺杆中部处在第二空腔内，第二滑块的底面中部与螺杆中部连接，螺杆转动时，会带动第二滑块在第二滑轨上面移动。

参见图1～4所示，所述竖向调节机构包括第三滑块18、第三滑轨33及第三推动组件19，所述第三滑轨安装于所述第二滑块的内侧面上，所述第三滑轨垂直于所述第二滑轨设置，且所述第三滑轨垂直于所述底板的顶面设置，所述第三滑块的外端滑动设置于所述第三滑轨上，所述连接块的外端与所述第三滑块的内端面相连，所述第三推动组件转动安装于所述第二滑块上，所述第三推动组件的中部与所述第三滑块相连，所述第三推动组件转动时，推动所述第三滑块在所述第三滑轨上面移动。

在本实施例中，第二滑块的内部设有第三空腔31，第三滑轨的端面设有与第三空腔连通的第三条形通槽32，第三推动组件为螺杆，螺杆的中部处在第三空腔内，第三滑块的外端中部与螺杆中部连接，螺杆转动时，会带动第三滑块在第三滑轨上面移动。

在本实施例中，第一推动组件、第二推动组件及第三推动组件均为螺杆，分别与对应的支撑块、第一滑块及第二滑块转动连接，其转动的时候，带动对应的滑块移动，实现X、Y、Z三轴的调节，从而通过固定杆带动探针进行位置调节。

参见图1、2所示，所述基座的外表面上设有与所述探针电性连接的探针接头25；探针接头用于将测试系统和探针进行电性连接。所述基座的外表面上设有真空接口20，所述真空接口的内端与所述测试腔相连通；所述基座上设有一环形腔，所述环形腔设置于所述测试腔的外部，所述基座的外表面上设有进水接口21及出水接口22，所述进水接口及出水接口分别与所述环形腔(图中未画出)相连通。

通过真空接口的设置，能够给予测试腔一个抽真空，使得测试腔在测试的时候处于真空状态，减少气体对样品测试的影响，还能够对测试环境进行保温。进水接口及出水接口能够给予环形腔提供循环水，对基座整体进行保温，防止温度过低或过高而使得基座损坏或者损坏其他元器件。

参见图1～3所示，所述活动连接机构为波纹管23，所述波纹管的内端与所述基座的外表面相连，所述波纹管的外端与所述连接块的内端外表面相连。波纹管的设置，既能够相对于基座外壁来回伸缩，也能够相对的摆动变形，也不会损坏，还能够起到密封作用。也能够将固定杆进行遮挡，防止固定杆直接外露。

所述冷热台的内部设有一温度传感器及制冷加热装置，所述基座的外表面上设有一温控接口，所述温控接口与温度传感器及制冷加热装置电连接。

温控接口用于和测试系统进行连接，能够控制冷热台温度的调节。

所述制冷加热装置包括加热装置及制冷装置，所述加热装置为加热棒，所述制冷装置包括液氮管24，所述液氮管的中部设置于所述冷热台内，所述液氮管的两端设置于所述基座的外部。

在本实施例中，液氮管的两端处在基座的外部，用于液氮的输入及送出。液氮送入到冷热台内，能够对冷热台进行降温，加热棒则对冷热台进行加热，从而调节冷热台的温度，温度调节速度快，稳定性也好。为了进一步提高制冷效果，可以在冷热台内设置一个腔体，液氮管为两截，一节为液氮输送管，一节为液氮输出管，液氮输入管将液氮送入到腔体内，通过对腔体及冷热台制冷之后，再通过液氮输出管送出即可。

Claims

1.一种外置调节探针的冷热台，包括顶部具有测试腔的基座、安装于测试腔中部的冷热台及可拆卸安装于所述基座顶部的盖板，所述基座底部安装于一底板上，所述测试腔内设有多组探针，每组所述探针的检测端正对所述冷热台设置，其特征在于：所述基座的外表面上安装有多组探针调节机构，每组所述探针调节机构的内端分别经一固定杆与一组所述探针的外端相连；

2.根据权利要求1所述的外置调节探针的冷热台，其特征在于：所述轴向调节机构包括支撑块、第一滑轨、第一滑块及第一推动组件，所述支撑块安装于所述底板上，所述第一滑轨安装于所述支撑块的顶面上，且所述第一滑轨平行于对应所述固定杆设置，所述第一滑块滑动设置于所述第一滑轨的顶部，所述第一推动组件转动安装于所述支撑块上，所述第一推动组件与所述第一滑块相连，所述第一推动组件转动时，推动所述第一滑块在所述第一滑轨上面移动。

3.根据权利要求2所述的外置调节探针的冷热台，其特征在于：所述纵向调节机构包括第二滑块、第二滑轨及第二推动组件，所述第二滑轨设置于所述第一滑块的顶部，所述第二滑轨垂直设置于所述第一滑轨的正上方，所述第一滑轨及第二滑轨平行于所述底板的顶面设置，所述第二滑块滑动安装于所述第二滑轨的顶面上，所述第二推动组件转动安装于所述第一滑块上，且所述第二推动组件的中部与所述第二滑块相连，所述第二推动组件转动时，推动所述第二滑块在所述第二滑轨上面移动。

4.根据权利要求3所述的外置调节探针的冷热台，其特征在于：所述竖向调节机构包括第三滑块、第三滑轨及第三推动组件，所述第三滑轨安装于所述第二滑块的内侧面上，所述第三滑轨垂直于所述第二滑轨设置，且所述第三滑轨垂直于所述底板的顶面设置，所述第三滑块的外端滑动设置于所述第三滑轨上，所述连接块的外端与所述第三滑块的内端面相连，所述第三推动组件转动安装于所述第二滑块上，所述第三推动组件的中部与所述第三滑块相连，所述第三推动组件转动时，推动所述第三滑块在所述第三滑轨上面移动。

5.根据权利要求4所述的外置调节探针的冷热台，其特征在于：所述活动连接机构为波纹管，所述波纹管的内端与所述基座的外表面相连，所述波纹管的外端与所述连接块的内端外表面相连。

6.根据权利要求1所述的外置调节探针的冷热台，其特征在于：所述基座的外表面上设有与所述探针电性连接的探针接头；所述基座的外表面上设有真空接口，所述真空接口的内端与所述测试腔相连通；所述基座上设有一环形腔，所述环形腔设置于所述测试腔的外部，所述基座的外表面上设有进水接口及出水接口，所述进水接口及出水接口分别与所述环形腔相连通。

7.根据权利要求1所述的外置调节探针的冷热台，其特征在于：所述冷热台的内部设有一温度传感器及制冷加热装置，所述基座的外表面上设有一温控接口，所述温控接口与温度传感器及制冷加热装置电连接。

8.根据权利要求7所述的外置调节探针的冷热台，其特征在于：所述制冷加热装置包括加热装置及制冷装置，所述加热装置为加热棒，所述制冷装置包括液氮管，所述液氮管的中部设置于所述冷热台内，所述液氮管的两端设置于所述基座的外部。

9.根据权利要求1所述的外置调节探针的冷热台，其特征在于：所述测试腔内还设有两组弹性压片，所述弹性压片的外端与所述测试腔转动相连，所述弹性压片的内端可转动设置于所述冷热台的正上方。