CN212693920U - 一种光电检测冷热台装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种光电检测冷热台装置，包括基台；所述基台侧壁上设有冷却液接口和循环水接口；所述基台中部设有供载样台放置的气密腔；所述载样台四周设有可移动的探针组件；所述载样台一侧设有温度传感器；所述载样台两侧设有加热装置；所述基台上端设有装饰板；所述装饰板上端设有盖板；所述盖板中部设有光电转换组件。

Description

一种光电检测冷热台装置

技术领域

本实用新型涉及检测领域，尤其涉及一种光电检测冷热台装置。

背景技术

目前半导体及生物化学等材料被广泛研究，材料的发展也制约着科技的发展，如何开发出更高端的新材料成为当下热点，众所周知，材料受温度、电信号、周围环境等影响，这也就需要对测量装置的不断升级，满足材料测量要求。

相关技术中，现有高低温探针台测试装置比较笨重，无法进行实现升温降温控制或测试耗费的制冷剂及电量多，无法进行多通道测试及不能同时施加电场、温度场、气氛环境，且无法实现高低温同时兼容，不能测试样品表面温度。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型提供了一种光电检测冷热台装置，包括基台；所述基台侧壁上设有冷却液接口和循环水接口；所述基台中部设有供载样台放置的气密腔；所述载样台四周设有可移动的探针组件；所述载样台一侧设有温度传感器；所述载样台两侧设有加热装置；所述基台上端设有装饰板；所述装饰板上端设有盖板；所述盖板中部设有光电转换组件。

作为一种优选的技术方案，所述冷却液接口的数量为2个，一个为冷却液进口，另一个为冷却液出口；所述气密腔内设有与冷却液接口连通的冷却通道，实现对被测元件的降温。

作为一种优选的技术方案，所述循环水接口的数量至少为2个，一个为循环水进口，另一个为循环水出口，通过软管连接，实现对光电检测冷热台装置基台的降温。

作为一种优选的技术方案，所述探针组件的数量为4个，下部通过安装座与气密腔连接。

作为一种优选的技术方案，所述探针组件包括底部探针和顶部探针。

作为一种优选的技术方案，所述光电转换组件包括光电转换探头；所述光电转换探头上方连接有光电转换探头压板。

作为一种优选的技术方案，所述载样台的四周还对称设有四个压紧弹片，实现对载样台上被测元件的固定。

作为一种优选的技术方案，所述基台侧壁上还设置有与气密腔连通的气管接口；所述气管接口的数量至少为2个，一个为进气口，另一个为出气口，均与气密腔连通。

作为一种优选的技术方案，所述基台侧壁上还设置有与温度传感器、加热装置电性连接的温控接口。

作为一种优选的技术方案，所述基台侧壁上还设置有与探针组件电性连接的 BNC接口。

有益效果：本实用新型提供的一种光电检测冷热台装置，通过载样台和多个探针组件配合，能够对被测元件进行升温和降温，可以为被测元件提供变化的热场。并且，多个探针组件在设定环境中可同时对多个被检测元件进行检测，可以提升冷热台装置的检测效率，同时，光电检测冷热台装置可以与多种测试仪器连用，满足材料测试的不同测试条件，具有节能、多功能、微型化、快速升降温等优点。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型光电检测冷热台装置的俯视结构示意图；

图2为本实用新型光电检测冷热台装置的未设置盖板时的俯视图结构示意图；

图3为本实用新型光电检测冷热台装置的右侧视图结构示意图；

附图标记：1-基台；2-导线板；3-载样台；4-装饰板；5-循环水接口；6-气管接口；7-BNC接口；8-温控接口；9-固定件；10-温度传感器；11-盖板；12-光电转换探头；13-光电转换探头压板；14-底部探针；15-顶部探针；16-压紧弹片； 17-冷却液接口。

具体实施方式

参选以下本实用新型的优选实施方法的详述以及包括的实施例可更容易地理解本实用新型的内容。除非另有限定，本文使用的所有技术以及科学术语具有与本实用新型所属领域普通技术人员通常理解的相同的含义。当存在矛盾时，以本说明书中的定义为准。

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本技术领域技术人员可以理解，除非另外定义，这里使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)具有与本实用新型所属领域中的普通技术人员的一般理解相同的意义。还应该理解的是，诸如通用字典中定义的那些术语应该被理解为具有与现有技术的上下文中的意义一致的意义，并且除非像这里一样定义，不会用理想化或过于正式的含义来解释。

在本实用新型的描述中，“和/或”的含义指的是各自单独存在或两者同时存在的情况均包括在内。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

此外，术语“水平”、“竖直”、“悬垂”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。

在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

为了解决上述问题，本实用新型提供了一种光电检测冷热台装置，包括基台；所述基台侧壁上设有冷却液接口和循环水接口；所述基台中部设有供载样台放置的气密腔；所述载样台四周设有可移动的探针组件；所述载样台一侧设有温度传感器；所述载样台两侧设有加热装置；所述基台上端设有装饰板；所述装饰板上端设有盖板；所述盖板中部设有光电转换组件。

所述盖板可以使得光电检测冷热台装置的内部部件与外界环境分隔开，可以防止出现被外界环境损坏的情况，有利于延长光电检测冷热台装置的使用寿命。

在一些实施方式中，所述冷却液接口的数量为2个，一个为冷却液进口，另一个为冷却液出口；所述气密腔内设有与冷却液接口连通的冷却通道，实现对被测元件的降温。

在一些实施方式中，所述循环水接口的数量至少为2个，一个为循环水进口，另一个为循环水出口，通过软管连接，实现对光电检测冷热台装置基台的降温。

本实用新型对循环水接口的位置不作具体限定，可以实现对光电检测冷热台装置基台的降温即可。

在一些实施方式中，所述探针组件的数量为4个，下部通过安装座与气密腔连接。

本实用新型多个探针组件的设置，可同时对多个被检测元件进行检测，可以提升冷热台装置的检测效率。可移动的探针组件可以使得探针组件与被检测元件的任意一点连接，从而可以检测出被检测元件上任意一点的温度；也可以与多种测试仪器连接使用，从而可以使光电检测冷热台装置满足材料测试的不同测试条件，进而可以使光电检测冷热台装置具有节能、多功能、微型化、快速升降温等优点。

在一些实施方式中，所述探针组件包括底部探针和顶部探针。

所述顶部探针作用于载样台上被测元件的上表面；所述顶部探针可与载样台上被测元件的下表面电极良好接触。

在一些实施方式中，所述加热装置为加热棒，带来对被测元件升温效果。

在一些实施方式中，所述光电转换组件包括光电转换探头；所述光电转换探头上方连接有光电转换探头压板。

在一些实施方式中，所述载样台的四周还对称设有四个压紧弹片，实现对载样台上被测元件的固定。

在一些实施方式中，所述基台侧壁上还设置有与气密腔连通的气管接口。

在一些实施方式中，所述气管接口的数量至少为2个，一个为进气口，另一个为出气口，均与气密腔连通。

本实用新型可通过气管接口的进气口向光电检测冷热台装置的内部充入气体，其中的气体可以通过出气口流出，对气管接口的位置不作具体限定，可以实现对排净装置气密腔空气即可。

在一些实施方式中，所述基台侧壁上还设置有与温度传感器、加热装置电性连接的温控接口。

本实用新型对温控接口的位置不作具体限定，可以实现对被测元件的温度控制即可。

在一些实施方式中，所述基台侧壁上还设置有与探针组件电性连接的BNC 接口。

在一些实施方式中，所述基台侧壁上还设置有固定件和导线板。

所述固定件用于将光电检测冷热台装置与下部固定台的固定，便于被测元件的安装。

使用时，打开盖板，将被测元件放置在载样台上，调整探针组件，使顶部探针以较小的压力压在被测元件上表面，调整好底部探针与被测元件电极良好的接触，调整好温度传感器的位置，放下压紧弹片进一步固定被测元件，然后安装盖板；打开氮气输送阀，输送氮气进入气密腔0.5min，排净内部空气，然后关闭气管接口。通过加热装置、探针组件、温度传感器以及冷却液接口和循环水接口去控制被测元件的测试温度环境，当被测元件达到预期温度后，打开检测系统，通过光电转换探头检测信号。

本实用新型提供的一种光电检测冷热台装置，通过载样台和多个探针组件配合，能够对被测元件进行升温和降温，可以为被测元件提供变化的热场。并且，多个探针组件在设定环境中可同时对多个被检测元件进行检测，可以提升冷热台装置的检测效率，同时，光电检测冷热台装置可以与多种测试仪器连用，满足材料测试的不同测试条件，具有节能、多功能、微型化、快速升降温等优点。

下面通过实施例对本实用新型进行具体描述。有必要在此指出的是，以下实施例只用于对本实用新型作进一步说明，不能理解为对本实用新型保护范围的限制，该领域的专业技术人员根据上述本实用新型的内容做出的一些非本质的改进和调整，仍属于本实用新型的保护范围。

实施例1

本实施例1提供了一种光电检测冷热台装置，包括基台1；所述基台1侧壁上设有冷却液接口17和循环水接口5；所述基台1中部设有供载样台3放置的气密腔；所述载样台3四周设有可移动的探针组件；所述载样台3一侧设有温度传感器10；所述载样台3两侧设有加热装置；所述基台1上端设有装饰板4；所述装饰板4上端设有盖板11；所述盖板11中部设有光电转换组件。

所述冷却液接口17的数量为2个，一个为冷却液进口，另一个为冷却液出口；所述气密腔内设有与冷却液接口17连通的冷却通道，实现对被测元件的降温。

所述循环水接口5的数量为2个，一个为循环水进口，另一个为循环水出口，通过软管连接，实现对光电检测冷热台装置基台1的降温。

所述探针组件的数量为4个，下部通过安装座与气密腔连接。

所述探针组件包括底部探针14和顶部探针15。

所述加热装置为加热棒，带来对被测元件升温效果。

所述光电转换组件包括光电转换探头12；所述光电转换探头12上方连接有光电转换探头压板13。

所述载样台3的四周还对称设有四个压紧弹片16，实现对载样台3上被测元件的固定。

所述基台1侧壁上还设置有与气密腔连通的气管接口6。

所述气管接口6的数量为2个，一个为进气口，另一个为出气口，均与气密腔连通。

所述基台1侧壁上还设置有与温度传感器10、加热装置电性连接的温控接口8。

所述基台1侧壁上还设置有与探针组件电性连接的BNC接口7。

所述基台1侧壁上还设置有固定件9和导线板2。

实施例2

本实施例2提供了一种光电检测冷热台装置，包括基台1；所述基台1侧壁上设有冷却液接口17和循环水接口5；所述基台1中部设有供载样台3放置的气密腔；所述载样台3四周设有可移动的探针组件；所述载样台3一侧设有温度传感器10；所述载样台3两侧设有加热装置；所述基台1上端设有装饰板4；所述装饰板4上端设有盖板11；所述盖板11中部设有光电转换组件。

所述冷却液接口17的数量为2个，一个为冷却液进口，另一个为冷却液出口；所述气密腔内设有与冷却液接口17连通的冷却通道，实现对被测元件的降温。

所述循环水接口5的数量为4个，两个接口由软管串联，另两个接口一个作为循环冷却水进口，一个作为循环冷却水出口，通过软管连接，接入循环冷却水，实现对光电检测冷热台装置基台1的降温。

所述探针组件的数量为4个，下部通过安装座与气密腔连接。

所述探针组件包括底部探针14和顶部探针15。

所述加热装置为加热棒，带来对被测元件升温效果。

所述光电转换组件包括光电转换探头12；所述光电转换探头12上方连接有光电转换探头压板13。

所述载样台3的四周还对称设有四个压紧弹片16，实现对载样台3上被测元件的固定。

所述基台1侧壁上还设置有与气密腔连通的气管接口6。

所述气管接口6的数量为2个，一个为进气口，另一个为出气口，均与气密腔连通。

所述基台1侧壁上还设置有与温度传感器10、加热装置电性连接的温控接口8。

所述基台1侧壁上还设置有与探针组件电性连接的BNC接口7。

所述基台1侧壁上还设置有固定件9和导线板2。

使用时，打开盖板，将被测元件放置在载样台上，调整探针组件，使顶部探针以较小的压力压在被测元件上表面，调整好底部探针与被测元件电极良好的接触，调整好温度传感器的位置，放下压紧弹片进一步固定被测元件，然后安装盖板；打开氮气输送阀，输送氮气进入气密腔0.5min，排净内部空气，然后关闭气管接口。通过加热装置、探针组件、温度传感器以及冷却液接口和循环水接口去控制被测元件的测试温度环境，当被测元件达到预期温度后，打开检测系统，通过光电转换探头检测信号。

本实用新型提供的一种光电检测冷热台装置，通过载样台和多个探针组件配合，能够对被测元件进行升温和降温，可以为被测元件提供变化的热场。并且，多个探针组件在设定环境中可同时对多个被检测元件进行检测，可以提升冷热台装置的检测效率，同时，光电检测冷热台装置可以与多种测试仪器连用，满足材料测试的不同测试条件，具有节能、多功能、微型化、快速升降温等优点。

前述的实例仅是说明性的，用于解释本实用新型所述方法的一些特征。所附的权利要求旨在要求可以设想的尽可能广的范围，且本文所呈现的实施例仅是根据所有可能的实施例的组合的选择的实施方式的说明。因此，申请人的用意是所附的权利要求不被说明本实用新型的特征的示例的选择限制。在权利要求中所用的一些数值范围也包括了在其之内的子范围，这些范围中的变化也应在可能的情况下解释为被所附的权利要求覆盖。

Claims (10)

1.一种光电检测冷热台装置，其特征在于，包括基台；所述基台侧壁上设有冷却液接口和循环水接口；所述基台中部设有供载样台放置的气密腔；所述载样台四周设有可移动的探针组件；所述载样台一侧设有温度传感器；所述载样台两侧设有加热装置；所述基台上端设有装饰板；所述装饰板上端设有盖板；所述盖板中部设有光电转换组件。

2.如权利要求1所述的光电检测冷热台装置，其特征在于，所述冷却液接口的数量为2个，一个为冷却液进口，另一个为冷却液出口；所述气密腔内设有与冷却液接口连通的冷却通道，实现对被测元件的降温。

3.如权利要求1所述的光电检测冷热台装置，其特征在于，所述循环水接口的数量至少为2个，一个为循环水进口，另一个为循环水出口，通过软管连接，实现对光电检测冷热台装置基台的降温。

4.如权利要求1所述的光电检测冷热台装置，其特征在于，所述探针组件的数量为4个，下部通过安装座与气密腔连接。

5.如权利要求4所述的光电检测冷热台装置，其特征在于，所述探针组件包括底部探针和顶部探针。

6.如权利要求1所述的光电检测冷热台装置，其特征在于，所述光电转换组件包括光电转换探头；所述光电转换探头上方连接有光电转换探头压板。

7.如权利要求1所述的光电检测冷热台装置，其特征在于，所述载样台的四周还对称设有四个压紧弹片，实现对载样台上被测元件的固定。

8.如权利要求1所述的光电检测冷热台装置，其特征在于，所述基台侧壁上还设置有与气密腔连通的气管接口；所述气管接口的数量至少为2个，一个为进气口，另一个为出气口，均与气密腔连通。

9.如权利要求1所述的光电检测冷热台装置，其特征在于，所述基台侧壁上还设置有与温度传感器、加热装置电性连接的温控接口。

10.如权利要求1所述的光电检测冷热台装置，其特征在于，所述基台侧壁上还设置有与探针组件电性连接的BNC接口。

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