CN218710808U - 一种物理气相沉积装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种物理气相沉积装置，包括机器主体和盖板，所述机器主体的外表面上方设置有集尘箱，所述集尘箱的一侧连接有风管，且风管的一侧连接有吸风机，所述机器主体的内表面上方设置有吸尘腔，所述吸尘腔的下表面安装有吸尘嘴，所述机器主体的外表面左侧安装有电机,所述电机的一端安装有螺纹丝杆，该物理气相沉积装置，与现有的普通物理气相沉积装置相比，电机带动螺纹丝杆旋转，同时带动待镀膜产品在吸尘嘴下方来回运动，再通过吸风机使吸尘嘴将待镀膜产品上的灰尘和脏污吸到吸尘腔内，再通过风管将吸尘腔内的灰尘洗到集尘箱内，有效的清理了待镀膜产品上的灰尘，降低了生产不良率，并提高了生产效率。

Description

一种物理气相沉积装置

技术领域

本实用新型涉及半导体生产技术领域，具体为一种物理气相沉积装置。

背景技术

在PVD溅射工艺设备中，通常在靶材上施加负偏压，将反应腔内的气体（Ar等）激发为等离子体，并吸引离子来轰击靶材，将靶材材料溅射下来，并沉积在晶圆或基片上。在不同的应用领域（例如半导体、太阳能、LED等），对溅射电压、溅射速率等工艺参数存在不同的要求。特别是对于太阳能、LED等领域应用的ΙΤ0、ΑΖ0等导电膜层，会要求有较低的溅射电压，以保证溅射沉积的薄膜有较好的工艺性能。

现有的物理气相沉积装置在使用是大多不具备检查和清理待镀膜产品上的灰尘，可能会导致生产后的产品不合格，影响生产效率。

于是，有鉴于此，针对现有的结构不足予以研究改良，提出一种物理气相沉积装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种物理气相沉积装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种物理气相沉积装置，包括机器主体和盖板，所述机器主体的外表面上方设置有集尘箱，所述集尘箱的一侧连接有风管，且风管的一侧连接有吸风机，所述机器主体的内表面上方设置有吸尘腔，所述吸尘腔的下表面安装有吸尘嘴，所述机器主体的外表面左侧安装有电机,所述电机的一端安装有螺纹丝杆，且螺纹丝杆的外表面安装有吸风腔，所述吸风腔的上表面设置有底板，且底板的内表面下方设置有吸风嘴，所述吸风腔的下表面安装有滑块，所述滑块的外表面安装有滑杆，所述底板的上表面安装有橡胶垫，所述盖板的外表面一侧安装有定位销，所述机器主体的外表面下方安装有支脚，所述盖板的内表面下方安装有旋转杆。

进一步的，所述螺纹丝杆的外表面设置有轴承，且轴承与螺纹丝杆的中轴线相重合。

进一步的，所述吸风腔的外表面下方设置有吸气管，且吸气管的另一端设置在机器主体的外部。

进一步的，所述底板的外表面上方设置有小孔，且小孔沿底板的中轴线对称分布。

进一步的，所述机器主体的外表面一侧安装有第二定位块，且第二定位块的内表面设置有第一定位块。

进一步的，所述所述第一定位块的一端安装有转轴，且转轴的外表面设置有连动杆。

进一步的，所述连动杆的外表面安装有弹簧，且弹簧与连动杆的中轴线相重合。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1.本实用新型通过集尘箱、风管、吸风机、吸尘腔、吸尘嘴、电机、螺纹丝杆、吸风腔、底板、滑杆和滑块的设置，电机带动螺纹丝杆旋转，使吸风腔、底板和滑块在滑杆上来回运动，同时带动待镀膜产品在吸尘嘴下方来回运动，再通过吸风机使吸尘嘴将待镀膜产品上的灰尘和脏污吸到吸尘腔内，再通过风管将吸尘腔内的灰尘洗到集尘箱内，有效的清理了待镀膜产品上的灰尘，降低了生产不良率，并提高了生产效率；

2.本实用新型通过吸风腔、底板、吸风嘴、吸气管、橡胶垫和小孔的设置，通过吸气管，将吸风腔的空气抽出使吸风腔，再通过吸风嘴使底板内部压力减小，再通过底板、橡胶垫和小孔使待镀膜产品固定在底板上，并减少了待镀膜产品与地板的摩擦产生的划痕，同时有效的固定了待镀膜产品；

3.本实用新型通过机器主体、盖板、定位销、连动杆、第一定位块、第二定位块、弹簧、转轴、和旋转杆的设置，检修时通过第一定位块与第二定位块受力，使弹簧收缩，并带动连动杆与定位销通过转轴收缩，再通过旋转杆转动，使盖板打开，实现了检修时快速打开盖板进行检修，缩短了检修时间，并提高了检修效率。

附图说明

图1为本实用新型整体主视结构示意图；

图2为本实用新型整体主视剖视结构示意图；

图3为本实用新型底板立体结构示意图；

图4为本实用新型后视剖视图结构示意图；

图5为本实用新型A处放大结构示意图。

图中：1、机器主体；2、集尘箱；3、风管；4、吸风机；5、吸尘腔；6、吸尘嘴；7、电机；8、螺纹丝杆；9、吸风腔；10、底板；11、吸风嘴；12、轴承；13、滑杆；14、滑块；15、吸气管；16、橡胶垫；17、小孔；18、盖板；19、定位销；20、连动杆；21、第一定位块；22、第二定位块；23、弹簧；24、转轴；25、支脚；26、旋转杆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制；术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性，此外，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

如图1-图2所示，一种物理气相沉积装置，包括机器主体1和盖板18，机器主体1的外表面上方设置有集尘箱2，集尘箱2的一侧连接有风管3，且风管3的一侧连接有吸风机4，机器主体1的内表面上方设置有吸尘腔5，吸尘腔5的下表面安装有吸尘嘴6，机器主体1的外表面左侧安装有电机7,电机7的一端安装有螺纹丝杆8，且螺纹丝杆8的外表面安装有吸风腔9，吸风腔9的上表面设置有底板10，且底板10的内表面下方设置有吸风嘴11，吸风腔9的下表面安装有滑块14，电机7带动螺纹丝杆8旋转，使吸风腔9、底板10和滑块14在滑杆13上来回运动，同时带动待镀膜产品在吸尘嘴6下方来回运动，再通过吸风机4使吸尘嘴6将待镀膜产品上的灰尘和脏污吸到吸尘腔5内，再通过风管3将吸尘腔5内的灰尘洗到集尘箱2内，有效的清理了待镀膜产品上的灰尘，降低了生产不良率，并提高了生产效率，滑块14的外表面安装有滑杆13，底板10的上表面安装有橡胶垫16，螺纹丝杆8的外表面设置有轴承12，且轴承12与螺纹丝杆8的中轴线相重合，吸风腔9的外表面下方设置有吸气管15，且吸气管15的另一端设置在机器主体1的外部，吸气管15，将吸风腔9的空气抽出使吸风腔9，再通过吸风嘴11使底板10内部压力减小，再通过底板10、橡胶垫16和小孔17使待镀膜产品固定在底板10上，并减少了待镀膜产品与地板的摩擦产生的划痕，同时有效的固定了待镀膜产品，底板10的外表面上方设置有小孔17，且小孔17沿底板10的中轴线对称分布。

如图3-图5所示，所述盖板18的外表面一侧安装有定位销19，机器主体1的外表面下方安装有支脚25，盖板18的内表面下方安装有旋转杆26，机器主体1的外表面一侧安装有第二定位块22，且第二定位块22的内表面设置有第一定位块21，第一定位块21的一端安装有转轴24，且转轴24的外表面设置有连动杆20，连动杆20的外表面安装有弹簧23，且弹簧23与连动杆20的中轴线相重合，检修时通过第一定位块21与第二定位块22受力，使弹簧23收缩，并带动连动杆20与定位销19通过转轴24收缩，再通过旋转杆26转动，使盖板18打开，实现了检修时快速打开盖板18进行检修，缩短了检修时间，并提高了检修效率。

工作原理：在使用该物理气相沉积装置时，首先当需要生产时，通过电机7带动螺纹丝杆8旋转，使吸风腔9、底板10和滑块14在滑杆13上来回运动，同时带动待镀膜产品在吸尘嘴6下方来回运动，再通过吸风机4使吸尘嘴6将待镀膜产品上的灰尘和脏污吸到吸尘腔5内，再通过风管3将吸尘腔5内的灰尘洗到集尘箱2内，有效的清理了待镀膜产品上的灰尘，降低了生产不良率，并提高了生产效率，当需要固定待镀膜件时，通过吸气管15，将吸风腔9的空气抽出使吸风腔9，再通过吸风嘴11使底板10内部压力减小，再通过底板10、橡胶垫16和小孔17使待镀膜产品固定在底板10上，并减少了待镀膜产品与地板的摩擦产生的划痕，同时有效的固定了待镀膜产品，生产过程中需要检修时，通过第一定位块21与第二定位块22受力，使弹簧23收缩，并带动连动杆20与定位销19通过转轴24收缩，再通过旋转杆26转动，使盖板18打开，实现了检修时快速打开盖板18进行检修，缩短了检修时间，并提高了检修效率，这就是该物理气相沉积装置的工作原理。

本实用新型的实施例是为了示例和描述起见而给出的，而并不是无遗漏的或者将本实用新型限于所公开的形式。很多修改和变化对于本领域的普通技术人员而言是显而易见的。选择和描述实施例是为了更好说明本实用新型的原理和实际应用，并且使本领域的普通技术人员能够理解本实用新型从而设计适于特定用途的带有各种修改的各种实施例。

Claims (7)

1.一种物理气相沉积装置，包括机器主体（1）和盖板（18），其特征在于，所述机器主体（1）的外表面上方设置有集尘箱（2），所述集尘箱（2）的一侧连接有风管（3），且风管（3）的一侧连接有吸风机（4），所述机器主体（1）的内表面上方设置有吸尘腔（5），所述吸尘腔（5）的下表面安装有吸尘嘴（6），所述机器主体（1）的外表面左侧安装有电机（7）,所述电机（7）的一端安装有螺纹丝杆（8），且螺纹丝杆（8）的外表面安装有吸风腔（9），所述吸风腔（9）的上表面设置有底板（10），且底板（10）的内表面下方设置有吸风嘴（11），所述吸风腔（9）的下表面安装有滑块（14），所述滑块（14）的外表面安装有滑杆（13），所述底板（10）的上表面安装有橡胶垫（16），所述盖板（18）的外表面一侧安装有定位销（19），所述机器主体（1）的外表面下方安装有支脚（25），所述盖板（18）的内表面下方安装有旋转杆（26）。

2.根据权利要求1所述的一种物理气相沉积装置，其特征在于，所述螺纹丝杆（8）的外表面设置有轴承（12），且轴承（12）与螺纹丝杆（8）的中轴线相重合。

3.根据权利要求1所述的一种物理气相沉积装置，其特征在于，所述吸风腔（9）的外表面下方设置有吸气管（15），且吸气管（15）的另一端设置在机器主体（1）的外部。

4.根据权利要求1所述的一种物理气相沉积装置，其特征在于，所述底板（10）的外表面上方设置有小孔（17），且小孔（17）沿底板（10）的中轴线对称分布。

5.根据权利要求1所述的一种物理气相沉积装置，其特征在于，所述机器主体（1）的外表面一侧安装有第二定位块（22），且第二定位块（22）的内表面设置有第一定位块（21）。

6.根据权利要求5所述的一种物理气相沉积装置，其特征在于，所述第一定位块（21）的一端安装有转轴（24），且转轴（24）的外表面设置有连动杆（20）。

7.根据权利要求6所述的一种物理气相沉积装置，其特征在于，所述连动杆（20）的外表面安装有弹簧（23），且弹簧（23）与连动杆（20）的中轴线相重合。

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