CN218692398U - 一种清洗槽加液控制装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种清洗槽加液控制装置，所述清洗槽加液控制装置包括槽体以及设置在槽体上的控制器，所述槽体内可旋转地设置摆动组件，所述摆动组件包括电机以及与所述电机输出端旋转连接的框架，所述框架近端设置撑脚，所述撑脚用于固定花篮，所述槽体近端设置加药装置，所述加药装置包括储药箱，所述储药箱通过管道连接至所述槽体内，所述管道上设置电子阀，所述框架上还设置计数装置，所述控制器分别与计数装置和电子阀连接，当花篮放置在框架上并触发计数装置达到设定的次数后，控制器控制所述电子阀打开使所述储药箱向所述槽体内加药，结构简单，无需人工操作，加药工作效率高。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片生产技术领域，尤其涉及一种清洗槽加液控制装置。
背景技术
硅片加工需要将单晶硅棒切成片，厚度在180微米～220微米之间，硅片经过磨边机抛磨、清洗机清洗等工序，制成待加工的原料硅片。
现有技术中，清洗机的清洗槽中加液控制装置都是凭工人的经验对清洗槽内的pH值进行调整，例如人工观察硅片装篮片数，达到一定片数进行加药操作，通过打开阀门使出药箱内的碱液经连通管进入清洗槽内，但是人工经验有时不准确，并且操作繁琐，工作效率低。
实用新型内容
针对上述现有技术的缺点，本实用新型的目的是提供一种清洗槽加液控制装置，以解决现有技术中的一个或多个问题。
为实现上述目的，本实用新型的技术方案如下：
一种清洗槽加液控制装置，所述清洗槽加液控制装置包括槽体以及设置在槽体上的控制器，所述槽体内可旋转地设置摆动组件，所述摆动组件包括电机以及与所述电机输出端旋转连接的框架，所述框架近端设置撑脚，所述撑脚用于固定花篮，所述槽体近端设置加药装置，所述加药装置包括储药箱，所述储药箱通过管道连接至所述槽体内，所述管道上设置电子阀，所述框架上还设置计数装置，所述控制器分别与计数装置和电子阀连接，当花篮放置在框架上并触发计数装置达到设定的次数后，控制器控制所述电子阀打开使所述储药箱向所述槽体内加药。
进一步的，所述花篮包括两块固定板以及设置在所述固定板之间的若干支撑杆，所述支撑杆与固定板围成放置硅片的空间。
进一步的，所述计数装置设置在固定板远端，所述计数装置近端具有按钮伸出所述框架，每次把花篮放置在框架上时，所述固定板压下所述按钮触发计数装置。
进一步的，所述固定板侧面具有吊耳。
进一步的，所述框架开设有第一框部和第二框部，所述撑脚分别设置在第一框部近端的两侧和第二框部近端的两侧。
进一步的，所述撑脚包括竖挡板以及连接在竖挡板两端的横挡板。
进一步的，所述电机输出端连接转轴，所述转轴穿过所述框架与槽体可旋转地连接。
进一步的，所述槽体近端设置进水管，所述槽体远端设置出水管。
进一步的，所述计数装置为按键计数器。
进一步的，所述清洗槽加液控制装置还包括显示屏，所述显示屏与控制器连接。
与现有技术相比，本实用新型的有益技术效果如下：
本实用新型的清洗槽加液控制装置工作时，每次将花篮放入框架中，花篮的固定板压住计数装置的按钮触发一次计数，控制器接收计数装置的计数信息，当计数达到设置值时，控制器控制电子阀打开，储药箱通过管道向槽体内加药，结构简单，无需人工操作，加药工作效率高。
附图说明
图1示出了本实用新型实施例一提供的一种清洗槽加液控制装置的正视结构示意图。
图2示出了本实用新型实施例一提供的一种清洗槽加液控制装置的俯视结构示意图。
图3示出了本实用新型实施例一提供的一种清洗槽加液控制装置工作状态的结构示意图。
图4示出了本实用新型实施例一提供的一种清洗槽加液控制装置的连接关系图。
图5示出了本实用新型实施例一提供的一种清洗槽加液控制装置中计数装置的轴测图。
附图中标记：
1、槽体；11、进水管；12、出水管；2、框架；21、第一框部；22、第二框部；23、撑脚；231、横挡板；232、竖挡板；24、电机；25、转轴；3、计数装置；31、按钮；4、花篮；41、固定板；42、支撑杆；43、吊耳；5、硅片；6、加药装置；61、储药箱；62、管道；63、电子阀；7、控制器；8、显示屏。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、特征和优点能够更加明显易懂，请参阅附图。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容能涵盖的范围内。
在本实用新型的描述中，限定术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
为了更加清楚地描述上述清洗槽加液控制装置的结构，本实用新型限定术语“远端”和“近端”，具体而言，“远端”表示靠近地面的一端，“近端”表示远离地面的一端，以图1为例，图1中槽体1的上端为近端，图1中槽体1的下端为远端。
实施例一
请参考图1、图2、图3和图4，一种清洗槽加液控制装置，所述清洗槽加液控制装置包括槽体1以及设置在槽体1上的控制器7，所述槽体1内可旋转地设置摆动组件，所述摆动组件包括电机24以及与所述电机24输出端旋转连接的框架2，所述框架2近端设置撑脚23，所述撑脚23用于固定花篮4，所述槽体1近端设置加药装置6，所述加药装置6包括储药箱61，所述储药箱61通过管道62连接至所述槽体1内，所述管道62上设置电子阀63，所述框架2上还设置计数装置3，所述控制器7分别与计数装置3和电子阀63连接，当花篮4放置在框架2上并触发计数装置3达到设定的次数后，控制器7控制所述电子阀63打开使所述储药箱61向所述槽体1内加药。
下面描述所述摆动组件的具体结构如下：
请参考图1和图3，进一步的，所述花篮4包括两块固定板41以及设置在所述固定板41之间的若干支撑杆42，所述支撑杆42与固定板41围成放置硅片5的空间。
请参考图1、图2和图5，进一步的，所述计数装置3设置在固定板41远端位于固定板41下方。优选的，在本实施例一所述清洗槽加液控制装置中，所述计数装置3为市售的按键计数器，例如OMCH沪立计数器，所述控制器7为市售的PLC控制器7，采用现有技术中的软件及控制程序进行控制，所述计数装置3近端具有按钮31伸出所述框架2，每次把花篮4放置在框架2上时，所述固定板41压下所述按钮31触发计数装置3计数一次。
请参考图1和图3，进一步的，所述固定板41侧面具有吊耳43，用于吊起移动花篮4。
请参考图2，进一步的，所述框架2开设有第一框部21和第二框部22，所述撑脚23分别对称设置在第一框部21近端的两侧和第二框部22近端的两侧，使摆动组件能同时清洗两个花篮4。
请参考图2，进一步的，所述撑脚23包括竖挡板232以及连接在竖挡板232两端的横挡板231，避免花篮4在清洗时四周晃动导致误触计数装置3。
请参考图1和图2，进一步的，所述电机24输出端连接转轴25，所述转轴25穿过所述框架2与槽体1可旋转地连接，电机24驱动转轴25旋转，转轴25带动框架2左右摆动实现清洗。
请参考图1，进一步的，所述槽体1近端设置进水管11，用于加入清水，所述槽体1远端设置出水管12，用于排出清洗后的污水。
请参考图1和图2，进一步的，所述清洗槽加液控制装置还包括显示屏8，所述显示屏8与控制器7连接，显示屏8能够实时反馈计数值并通过可选择的图形化截面下发控制指令，例如加药的启停以及计数清零。
本实用新型的具体工作流程如下：
进水口向槽体1内加入清水没过硅片5远端，机械臂将花篮4吊起分别放入第一框架2和第二框架2，电机24驱动转轴25旋转，转轴25带动框架2左右摆动实现清洗。每次花篮4下落，花篮4的固定板41压住计数装置3的按钮31触发一次计数，控制器7接收计数装置3的计数信息，当计数达到设置值时，控制器7控制电子阀63打开，储药箱61通过管道62向槽体1内加药。
以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (10)
1.一种清洗槽加液控制装置，其特征在于：所述清洗槽加液控制装置包括槽体以及设置在槽体上的控制器，所述槽体内可旋转地设置摆动组件，所述摆动组件包括电机以及与所述电机输出端旋转连接的框架，所述框架近端设置撑脚，所述撑脚用于固定花篮，所述槽体近端设置加药装置，所述加药装置包括储药箱，所述储药箱通过管道连接至所述槽体内，所述管道上设置电子阀，所述框架上还设置计数装置，所述控制器分别与计数装置和电子阀连接，当花篮放置在框架上并触发计数装置达到设定的次数后，控制器控制所述电子阀打开使所述储药箱向所述槽体内加药。
2.如权利要求1所述的一种清洗槽加液控制装置，其特征在于：所述花篮包括两块固定板以及设置在所述固定板之间的若干支撑杆，所述支撑杆与固定板围成放置硅片的空间。
3.如权利要求2所述的一种清洗槽加液控制装置，其特征在于：所述计数装置设置在固定板远端，所述计数装置近端具有按钮伸出所述框架，每次把花篮放置在框架上时，所述固定板压下所述按钮触发计数装置。
4.如权利要求2所述的一种清洗槽加液控制装置，其特征在于：所述固定板侧面具有吊耳。
5.如权利要求1所述的一种清洗槽加液控制装置，其特征在于：所述框架开设有第一框部和第二框部，所述撑脚分别设置在第一框部近端的两侧和第二框部近端的两侧。
6.如权利要求5所述的一种清洗槽加液控制装置，其特征在于：所述撑脚包括竖挡板以及连接在竖挡板两端的横挡板。
7.如权利要求1所述的一种清洗槽加液控制装置，其特征在于：所述电机输出端连接转轴，所述转轴穿过所述框架与槽体可旋转地连接。
8.如权利要求1所述的一种清洗槽加液控制装置，其特征在于：所述槽体近端设置进水管，所述槽体远端设置出水管。
9.如权利要求1所述的一种清洗槽加液控制装置，其特征在于：所述计数装置为按键计数器。
10.如权利要求1所述的一种清洗槽加液控制装置，其特征在于：所述清洗槽加液控制装置还包括显示屏，所述显示屏与控制器连接。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202222752135.6U CN218692398U (zh) | 2022-10-19 | 2022-10-19 | 一种清洗槽加液控制装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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| CN202222752135.6U CN218692398U (zh) | 2022-10-19 | 2022-10-19 | 一种清洗槽加液控制装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN218692398U true CN218692398U (zh) | 2023-03-24 |
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Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN202222752135.6U Active CN218692398U (zh) | 2022-10-19 | 2022-10-19 | 一种清洗槽加液控制装置 |
Country Status (1)
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2022
- 2022-10-19 CN CN202222752135.6U patent/CN218692398U/zh active Active
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