CN218677113U - 支撑平台 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种支撑平台，涉及半导体设备制造的技术领域，包括机架和安装于机架的机械手；机架包括：第一支撑平台、第二支撑平台和多个支撑立柱，第一支撑平台设置于第二支撑平台的底部，且第一支撑平台和第二支撑平台之间形成维护区；多个支撑立柱绕维护区的周侧间隔设置；多个支撑立柱两两之间设置有拆卸板，拆卸板可拆卸连接于机架，缓解现有技术中存在的工作人员在进行机械手维护时，通常需要通过吊车等运送工具将机械手从传输平台拆除后，进行驱动器总成的维护，操作流程繁复，现场工作人员劳动强度较大的技术问题，提升了工作效率。

Description

支撑平台

技术领域

本实用新型涉及半导体设备制造的技术领域，尤其是涉及一种支撑平台。

背景技术

为满足半导体加工的工艺需求，需采用半导体设备传输平台用于晶元的加工，即现有的半导体加工设备大都为两级传送腔结构，功能传送腔和工艺传送腔两个腔体；每个传送腔根据工艺需求可外挂多个功能模块及工艺模块；并且两级传送腔之间采用“双通道”的连接方式进行对接，在机械手的操作下实现晶圆的“进出”传送，因此，工作人员需定期对机械手进行维护，以保障机械手的使用可靠性。

现有技术中，机械手的主要维护部分在于其驱动器总成，但是，由于传输平台设计不合理，由于机械手组成部件较为复杂，且机械手的驱动器总成部分通常嵌合于传输平台的内部，工作人员在进行机械手维护时，通常需要通过吊车等运送工具将机械手从传输平台拆除后，进行驱动器总成的维护，操作流程繁复，现场工作人员劳动强度较大，且工作效率较低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种支撑平台，以缓解现有技术中存在的由于机械手组成部件较为复杂，且机械手的驱动器总成部分通常嵌合于传输平台的内部，工作人员在进行机械手维护时，通常需要通过吊车等运送工具将机械手从传输平台拆除后，进行驱动器总成的维护，操作流程繁复，现场工作人员劳动强度较大，且工作效率较低的技术问题。

第一方面，本实用新型提供的支撑平台，包括机架和安装于所述机架的机械手；

所述机架包括：第一支撑平台、第二支撑平台和多个支撑立柱，所述第一支撑平台设置于所述第二支撑平台的底部，且所述第一支撑平台和所述第二支撑平台之间形成维护区；多个所述支撑立柱绕所述维护区的周侧间隔设置；

所述第二支撑平台设有限位孔，所述机械手中控制器总成沿所述限位孔安装于所述维护区内，多个所述支撑立柱两两之间设置有拆卸板，所述拆卸板可拆卸连接于所述机架。

结合第一方面的第一种可能的实施方式，本实用新型提供了第一方面的第一种可能的实施方式，其中，所述维护区的高度大于所述控制器总成的高度。

结合第一方面，本实用新型提供了第一方面的第二种可能的实施方式，其中，所述限位孔的内径大于所述控制器总成的最大外径。

结合第一方面的第一种可能的实施方式，本实用新型提供了第一方面的第三种可能的实施方式，其中，多个所述支撑立柱呈多边形设置。

结合第一方面的第三种可能的实施方式，本实用新型提供了第一方面的第四种可能的实施方式，其中，多个所述支撑立柱背离所述维护区的端部设有支撑板，所述支撑板用于支撑传输腔体。

结合第一方面的第四种可能的实施方式，本实用新型提供了第一方面的第五种可能的实施方式，其中，还包括移动脚轮，所述支撑立柱设有连接件，所述移动脚轮与所述连接件可拆卸连接。

结合第一方面的第四种可能的实施方式，本实用新型提供了第一方面的第六种可能的实施方式，其中，所述第一支撑平台的底部设有叉车横梁，所述叉车横梁用于所述机架的搬运。

结合第一方面的第六种可能的实施方式，本实用新型提供了第一方面的第七种可能的实施方式，其中，所述第一支撑平台的底部还设有多个支撑座，所述支撑座用于调节所述第一支撑平台的高度。

结合第一方面的第七种可能的实施方式，本实用新型提供了第一方面的第八种可能的实施方式，所述第二支撑平台背离所述第一支撑平台的端部可拆卸连接有多个对接面板，多个所述对接面板沿所述限位孔均布设置。

结合第一方面的第七种可能的实施方式，本实用新型提供了第一方面的第九种可能的实施方式，所述机械手还包括驱动器，所述第二支撑平台的直径大于所述启动器的直径。

本实用新型实施例带来了以下有益效果：采用将机械手安装于机架的方式，通过在机架中设置第一支撑平台、第二支撑平台和多个支撑立柱，第一支撑平台设置于第二支撑平台的底部，且第一支撑平台和第二支撑平台之间形成维护区；多个支撑立柱绕维护区的周侧间隔设置；第二支撑平台设有限位孔，机械手中控制器总成沿限位孔安装于维护区内，将控制器总成安装于维护区内，通过将多个支撑立柱两两之间设置有拆卸板，拆卸板可拆卸连接于机架，当需要对机械手总成进行维护时，工作人员只需拆除任一拆卸板，即可进入维护区内直接进行维护，免除了拆除机械手整体部件的工序，缓解现有技术中存在的由于机械手组成部件较为复杂，且机械手的驱动器总成部分通常嵌合于传输平台的内部，工作人员在进行机械手维护时，通常需要通过吊车等运送工具将机械手从传输平台拆除后，进行驱动器总成的维护，操作流程繁复，现场工作人员劳动强度较大的技术问题，提升了工作效率。

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或相关技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或相关技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的支撑平台中机架的结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的支撑平台中拆卸板、第二盖板及移动脚轮的位置示意图；

图3为本实用新型实施例提供的支撑平台中机械手的结构示意图。

图标：10-维护区；100-第一支撑平台；110-叉车横梁；120-支撑座；200-第二支撑平台；210-对接面板；220-限位孔；300-支撑立柱；310-支撑板；320-连接件；400-机械手；410-控制器总成；420-驱动器；500-拆卸板。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。公式中的物理量，如无单独标注，应理解为国际单位制基本单位的基本量，或者，由基本量通过乘、除、微分或积分等数学运算导出的导出量。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

实施例一

如图1、图2和图3所示，本实用新型实施例提供的支撑平台，包括机架和安装于机架的机械手400；

机架包括：第一支撑平台100、第二支撑平台200和多个支撑立柱300，第一支撑平台100设置于第二支撑平台200的底部，且第一支撑平台100和第二支撑平台200之间形成维护区10；多个支撑立柱300绕维护区10的周侧间隔设置；

第二支撑平台200设有限位孔220，机械手400中控制器总成410沿限位孔220安装于维护区10内，多个支撑立柱300两两之间设置有拆卸板500，拆卸板500可拆卸连接于机架。

采用将机械手400安装于机架的方式，通过在机架中设置第一支撑平台100、第二支撑平台200和多个支撑立柱300，第一支撑平台100设置于第二支撑平台200的底部，且第一支撑平台100和第二支撑平台200之间形成维护区10；多个支撑立柱300绕维护区10的周侧间隔设置；第二支撑平台200设有限位孔220，机械手400中控制器总成410沿限位孔220安装于维护区10内，将控制器总成410安装于维护区10内，通过将多个支撑立柱300两两之间设置有拆卸板500，拆卸板500可拆卸连接于机架，当需要对机械手400总成进行维护时，工作人员只需拆除任一拆卸板500，即可进入维护区10内直接进行维护，免除了拆除机械手400整体部件的工序，缓解现有技术中存在的由于机械手400组成部件较为复杂，且机械手400的驱动器总成部分通常嵌合于传输平台的内部，工作人员在进行机械手400维护时，通常需要通过吊车等运送工具将机械手400从传输平台拆除后，进行驱动器总成的维护，操作流程繁复，现场工作人员劳动强度较大的技术问题，提升了工作效率。

需要说明的是，在本实施例中，第一支撑平台100用于承载水、电、气控制系统元件，第二支撑平台200用于承载工作人员。

进一步地，维护区10的高度大于控制器总成410的高度。

进一步地，限位孔220的内径大于控制器总成410的最大外径。

将维护区10的高度设定为大于控制器总成410的高度，将限位孔220的内径设定为大于控制器总成410的最大外径，工作人员在进行机械手400的装配过程中，可将控制器总成410沿限位孔220直接插入维护区10中，使控制器总成410的维护部分完全容纳至维护区10，方便后续工作人员对控制器总成410的维护。

需要说明的是，支撑立柱300可设置为第一杆体和第二杆体，第一杆体和第二杆体分别设有垂直排列的相适配的螺纹孔，第一杆体和第二杆体可通过螺纹孔间的连接实现支撑立柱300高度的调节，进而实现维护区10高度的调节，使本实施例提供的维护区10能够适配于多种高度的控制器总成410，降低生产成本；同时，支撑立柱300也可采用液压柱等动力件进行设置，减轻工作人员的劳动强度。

进一步地，多个支撑立柱300呈多边形设置。

在本实施例中，多个支撑立柱300采用多边形对称结构进行设置，使支撑平台的受力更均匀，同时方便后续对接面板210和拆卸板500的制造与安装。同时，多边形的结构设置能够形成多个端面，每个端面可分别对应不同的工艺腔室的平台，降低设备本身对传片精度的影响，同时体积更大，提供更优的维护空间，以及更整齐的外观。

进一步地，多个支撑立柱300背离维护区10的端部设有支撑板310，支撑板310用于支撑传输腔体。

支撑立柱300位于传输腔体正下方，通过支撑板310用螺钉与传输腔体完成固定，对称结构设计保证架体受力更均匀，设备更加稳定。

进一步地，还包括移动脚轮，支撑立柱300设有连接件320，移动脚轮与连接件320可拆卸连接。

在本实施中，连接件320设有与移动脚轮中连接部相适配的螺纹孔，当支撑平台你需要短距离运输或调整定位时，工作人员可通过螺纹连接的方式将移动脚轮连接于支撑立柱300。

进一步地，第一支撑平台100的底部设有叉车横梁110，叉车横梁110用于机架的搬运。

叉车横梁110为长条形结构，可防止货叉在运输过程中，与设备间产生滑动，引发事故。

进一步地，第一支撑平台100的底部还设有多个支撑座120，支撑座120用于调节第一支撑平台100的高度。

支撑座120可通过添加垫片的形式调节第一支撑平台100的高度，进而保障支撑平台整体的水平度和稳定性。

进一步地，第二支撑平台200背离第一支撑平台100的端部可拆卸连接有多个对接面板210，多个对接面板210沿限位孔220均布设置。

多个对接面板210盖合于第二支撑平台200的顶部，用于支撑工作人员对机械手400启动器的操作。对接面板210沿限位孔220均布设置，能够使对接面板210对工作人员的支撑力更加均匀，避免发生事故，同时增加美观度。

进一步地，机械手400还包括驱动器420，第二支撑平台200的直径大于驱动器420的直径。

第二支撑平台200的直径大于驱动器420的直径，能够为工作人员提供足够的操作空间。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。

Claims (10)

1.一种支撑平台，其特征在于，包括机架和安装于所述机架的机械手(400)；

所述机架包括：第一支撑平台(100)、第二支撑平台(200)和多个支撑立柱(300)，所述第一支撑平台(100)设置于所述第二支撑平台(200)的底部，且所述第一支撑平台(100)和所述第二支撑平台(200)之间形成维护区(10)；多个所述支撑立柱(300)绕所述维护区(10)的周侧间隔设置；

所述第二支撑平台(200)设有限位孔(220)，所述机械手(400)中控制器总成(410)沿所述限位孔(220)安装于所述维护区(10)内，多个所述支撑立柱(300)两两之间设置有拆卸板(500)，所述拆卸板(500)可拆卸连接于所述机架。

2.根据权利要求1所述的支撑平台，其特征在于，所述维护区(10)的高度大于所述控制器总成(410)的高度。

3.根据权利要求2所述的支撑平台，其特征在于，所述限位孔(220)的内径大于所述控制器总成(410)的最大外径。

4.根据权利要求1所述的支撑平台，其特征在于，多个所述支撑立柱(300)呈多边形设置。

5.根据权利要求4所述的支撑平台，其特征在于，多个所述支撑立柱(300)背离所述维护区(10)的端部设有支撑板(310)，所述支撑板(310)用于支撑传输腔体。

6.根据权利要求4所述的支撑平台，其特征在于，还包括移动脚轮(330)33，所述支撑立柱(300)设有连接件(320)，所述移动脚轮(330)与所述连接件(320)可拆卸连接。

7.根据权利要求4所述的支撑平台，其特征在于，所述第一支撑平台(100)的底部设有叉车横梁(110)，所述叉车横梁(110)用于所述机架的搬运。

8.根据权利要求7所述的支撑平台，其特征在于，所述第一支撑平台(100)的底部还设有多个支撑座(120)，所述支撑座(120)用于调节所述第一支撑平台(100)的高度。

9.根据权利要求7所述的支撑平台，其特征在于，所述第二支撑平台(200)背离所述第一支撑平台(100)的端部可拆卸连接有多个对接面板(210)，多个所述对接面板(210)沿所述限位孔(220)均布设置。

10.根据权利要求9所述的支撑平台，其特征在于，所述机械手(400)还包括驱动器(420)，所述第二支撑平台(200)的直径大于所述驱动器(420)的直径。

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