CN218673183U - 一种单晶硅生长炉尾气处理装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种单晶硅生长炉尾气处理装置，涉及单晶硅生长炉技术领域，包括壳体，所述壳体的两端分别开设有进气口和出气口，所述壳体内靠近进气口的位置设置有初步过滤组件，并且初步过滤组件与进气口相对设置。本实用新型通过初步过滤组件的设置，初步过滤组件中的滤网可以对进入壳体内的气体进行初步的过滤处理，并且将过滤的较大颗粒粉尘或异物阻挡进收集箱内，同时在滤网长时间的工作后，工作人员可以向外拉动活动销，弹簧会被压缩，然后解除对活动销的作用，在弹簧的弹性作用下，活动销会带动随动块撞击滤网，进而会将滤网上积累的粉尘和异物震动下来并落进收集箱内，便于工作人员集中处理。

Description

一种单晶硅生长炉尾气处理装置

技术领域

本实用新型涉及单晶硅生长炉技术领域，具体涉及一种单晶硅生长炉尾气处理装置。

背景技术

近年来，随着光伏太阳能行业的飞速发展，对单晶硅的需求日益增大，提高单晶硅生长炉拉晶效益具有极其重要的意义。单晶硅生长炉在拉晶过程中，抽气系统持续将炉内的气体抽离，保持炉内气压稳定。然而炉内产生的一些氧化物，混在尾气中由抽气系统排出炉外。当氧化物进入到抽气系统的真空泵内，会吸附在泵油中，影响泵的正常工作，及时有效地去除气体中的氧化物粉尘等杂质能够提高单晶硅生长炉拉晶效益。现有的除尘方式为在气体抽进真空泵前经过一个除尘装置，其内部固定一个网状滤芯，用来过滤氧化物粉尘等杂质。但是由于单晶炉氧化物粉尘等杂质较多，现有的滤芯在长时间工作情况下容易使氧化物粉尘等杂质吸附在滤芯上，导致气流堵塞，影响炉内气压。

专利文件(授权公告号为CN 207828445 U)公开了一种单晶硅生长炉二级油吸式真空尾气除尘装置，其中喷雾装置可以使空气中大多数粉尘沉降到集尘箱中，所述干燥器可以对通过的气体进行干燥，确保从出气口通过的为干燥气体，所述滤芯可以对气体内的粉尘进行过滤，进一步的保护真空泵，所述空气流量传感器可以对气体速度进行监测，所述除尘装置a可以对滤芯表面进行除尘处理，防止滤芯被堵塞，所述超声波发射器可以使滤芯震动，配合吹风装置和除尘装置a可以对滤芯进行除尘。

上述专利文件虽然提高了滤芯在工作过程中的除尘效果，但是由于外壳内设置的滤芯为单一的，且为固定状态的，在滤芯使用一段时间后，还是需要对其进行更换清洁维护的，进而需要停机对滤芯进行更换，此更换过程会降低生产效率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种单晶硅生长炉尾气处理装置。

本实用新型所解决的技术问题为：

(1)、现有的滤芯在长时间工作情况下，由于没有对尾气进行初步的过滤，进而容易使尾气中的氧化物粉尘等杂质吸附在滤芯上，导致气流堵塞，影响炉内气压；

(2)、目前的滤芯在使用一段时间后，需要将设备进行停机，然后才可以对滤芯进行更换，此更换过程中会耽误较多的生产时间，进而降低了生产效率。

本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现：

一种单晶硅生长炉尾气处理装置，包括壳体，所述壳体的两端分别开设有进气口和出气口，所述壳体内靠近进气口的位置设置有初步过滤组件，并且初步过滤组件与进气口相对设置；

所述壳体内设置有二次过滤组件，所述二次过滤组件包括两个滤芯，两个所述滤芯均位于壳体内，并且两个滤芯相对垂直布置，所述滤芯的顶端与底端均固定连接有转动块，两个转动块分别转动安装在壳体内壁，位于滤芯顶部的转动块上固定设置有贯穿出壳体的转轴，转轴上固定套设有皮带轮，并且两个皮带轮之间套设有传送皮带。

作为本实用新型进一步的方案：所述滤芯的外圆周固定套设有环状密封圈。

作为本实用新型进一步的方案：所述二次过滤组件还包括L形把手，所述L形把手固定在其中任一转轴上。

作为本实用新型进一步的方案：所述初步过滤组件包括滤网，所述滤网的顶端与底端均固定安装在壳体内壁，并且滤网与进气口相对设置。

作为本实用新型进一步的方案：所述初步过滤组件还包括活动销和随动块，所述活动销活动安装在壳体上，并且其一端位于壳体内，另一端位于壳体外，所述随动块固定安装在活动销位于壳体内的一端，并且随动块与滤网相对设置，活动销的位于壳体内的一端上套设有弹簧，弹簧的两端分别与壳体内壁和随动块固定连接。

作为本实用新型进一步的方案：所述壳体的底部内壁固定安装有收集箱，所述滤网的底端设置在收集箱内。

作为本实用新型进一步的方案：所述进气口和出气口上均固定安装有连接法兰。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：

1、通过初步过滤组件的设置，初步过滤组件中的滤网可以对进入壳体内的气体进行初步的过滤处理，并且将过滤的较大颗粒粉尘或异物阻挡进收集箱内，同时在滤网长时间的工作后，工作人员可以向外拉动活动销，弹簧会被压缩，然后解除对活动销的作用，在弹簧的弹性作用下，活动销会带动随动块撞击滤网，进而会将滤网上积累的粉尘和异物震动下来并落进收集箱内，便于工作人员集中处理；

2、通过二次过滤组件的设置，二次过滤组件中的两个滤芯具有不同的工作状态，并且两个工作状态之间可以互相转换，处于工作状态的滤芯可以对气体进行再次的过滤处理，当其中一个滤芯处于工作状态时，另一个滤芯会处于收纳状态，两个滤芯状态的相互转换，可以应对机器故障等突发状况，使得滤芯可以不停机进行更换，提高了生产效率。

附图说明

下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。

图1是本实用新型的剖视结构示意图一；

图2是本实用新型的剖视结构示意图二；

图3是图1中的A处放大结构示意图；

图4是图1中的B处放大结构示意图。

图中：1、壳体；2、初步过滤组件；3、滤芯；4、转动块；5、转轴；6、皮带轮；7、传送皮带；8、环状密封圈；9、L形把手；10、滤网；11、活动销；12、随动块；13、弹簧；14、收集箱；15、连接法兰。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1-图4所示，一种单晶硅生长炉尾气处理装置，包括两端具有进气口和出气口的壳体1，在进气口和出气口上均固定安装有连接法兰15，通过两端的连接法兰15可以将壳体1两端与相应的设备进行快速的安装；在壳体1内靠近进气口的位置设置有初步过滤组件2，初步过滤组件2用于对通过进气口进入到壳体1内的气体进行初步的过滤处理；在壳体1内还设置有二次过滤组件，二次过滤组件用于对经过初步过滤组件2过滤的气体进行再次过滤，保证通过壳体1出气口排出的气体不含有氧化物粉尘。

上述中的初步过滤组件2包括滤网10、活动销11和随动块12，滤网10的顶端与底端均固定安装在壳体1的内壁上，并且滤网10与进气口相对设置，通过进气口进入到壳体1内的气体会首先通过滤网10，滤网10可以对气体中含有的较大颗粒粉尘或者异物进行阻挡，在壳体1的底部内壁固定安装有收集箱14，进一步的设置滤网10底端位于收集箱14内，进而经由滤网10阻挡的较大颗粒粉尘或者异物均会落在收集箱14内，收集箱14可以对较大颗粒粉尘和异物进行收集，便于工作人员集中处理。

活动销11活动安装在壳体1上，并且其一端位于壳体1内，另一端位于壳体1外，随动块12固定安装在活动销11位于壳体1内的一端，并且随动块12与滤网10相对设置，活动销11的位于壳体1内的一端上套设有弹簧13，弹簧13的两端分别与壳体1内壁和随动块12固定连接。当滤网10长时间的工作后，工作人员可以向外拉动活动销11，活动销11会带动随动块12远离滤网10，此过程中弹簧13会被压缩，拉动到一定程度后，工作人员可以解除对活动销11的作用，在弹簧13的弹性作用力下，活动销11和随动块12会朝向滤网10移动并撞击滤网10，此撞击可以将滤网10上积累的粉尘和异物等震动下来，震动下来的粉尘和异物会落进滤网10底部的收集箱14内。

上述中的二次过滤组件包括两个滤芯3，两个滤芯3均位于壳体1内，并且两个滤芯3呈相对垂直状态布置，在滤芯3的顶端和底端均固定连接有转动块4，两个转动块4分别转动安装在壳体1的内壁，位于滤芯3顶部的转动块4上固定设置有贯穿壳体1的转轴5，转轴5上固定套设有皮带轮6，并且两个皮带轮6之间套设有传送皮带7，传送皮带7的移动可以带动两个皮带轮6转动。如图1所示，左侧的滤芯3在壳体1内处于展开状态，此滤芯3可以对经由滤网10过滤后的气体进行再次过滤处理；右侧的滤芯3在壳体1内处于收纳状态，此滤芯3布置方向与气体的流动方向处于平行关系，也即此滤芯3不参与再次过滤工作。如图2所示，左侧的滤芯3在壳体1内处于收纳状态，此滤芯3不参与再次过滤的工作；右侧的滤芯3处于展开状态，此滤芯3可以对经由滤网10过滤后的气体进行再次过滤处理。为了保证滤芯3与壳体1之间的密封性，在所述滤芯3的外圆周固定套设有环状密封圈8。当滤芯3在长时间的工作或者机器出现故障需要更换滤芯3时，工作人员可以驱使传送皮带7转动，传送皮带7的转动可以带动两个皮带轮6转动，皮带轮6的转动可以带动滤芯3进行转动，驱使皮带轮6转动九十度即可将左右两个滤芯3的工作状态进行调换，可以不停机的更换滤芯3，保证生产工作的连续性，当机器需要大规模保养需要停机处理时，可以将壳体1内的滤芯3进行拆卸更换。

为了便于驱使传送皮带7转动，设置二次过滤组件还包括L形把手9，将L形把手9固定在其中一个转轴5上，需要驱使传送皮带7转动时，只需要转动L形把手9即可，当然，此处设置的L形把手9不仅可以方便工作人员操作，也可以方便工作人员辨别自己是否准确转动九十度，提高了对两个滤芯3状态更换的准确性。

本实用新型的工作原理：在使用时，通过进气口和出气口上的连接法兰15将壳体1与相应的设备进行密封连接，当进气口通入气体时，气体会首先通过滤网10，滤网10会对气体进行初步的过滤处理，可以将其中的较大颗粒粉尘或者异物进行过滤，过滤的较大颗粒粉尘或异物会落进滤网10底部的收集箱14内，收集箱14可以将较大颗粒粉尘或异物进行收集，便于工作人员集中处理；在滤网10长时间的工作后，工作人员可以拉动活动销11，弹簧13被压缩，接着解除对活动销11的作用，在弹簧13的作用力下，活动销11会带动随动块12撞击滤网10，进而滤网10上积聚的较大颗粒粉尘或异物会被震动下来，落进收集箱14内。经由滤网10初步处理后的气体会通过滤芯3，经由滤芯3对其进行进一步的过滤处理，然后气体可以经由壳体1出气口排出，当滤芯3长时间的工作或者机器故障需要更换滤芯3时，工作人员可以转动L形把手9转动九十度，L形把手9的转动可以带动两个皮带轮6转动，两个皮带轮6的转动可以带动两个滤芯3转动，进而两个滤芯3的工作状态会被调换，旧的滤芯3会被收纳，不参与过滤工作，新的滤芯3会展开进行过滤工作，保证生产工作的连续性，不需要停机更换，提高了生产效率。

以上对本实用新型的一个实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。

Claims (7)

1.一种单晶硅生长炉尾气处理装置，其特征在于，包括壳体(1)，所述壳体(1)的两端分别开设有进气口和出气口，所述壳体(1)内靠近进气口的位置设置有初步过滤组件(2)，并且初步过滤组件(2)与进气口相对设置；

所述壳体(1)内设置有二次过滤组件，所述二次过滤组件包括两个滤芯(3)，两个所述滤芯(3)均位于壳体(1)内，并且两个滤芯(3)相对垂直布置，所述滤芯(3)的顶端与底端均固定连接有转动块(4)，两个转动块(4)分别转动安装在壳体(1)内壁，位于滤芯(3)顶部的转动块(4)上固定设置有贯穿出壳体(1)的转轴(5)，转轴(5)上固定套设有皮带轮(6)，并且两个皮带轮(6)之间套设有传送皮带(7)。

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅生长炉尾气处理装置，其特征在于，所述滤芯(3)的外圆周固定套设有环状密封圈(8)。

3.根据权利要求2所述的一种单晶硅生长炉尾气处理装置，其特征在于，所述二次过滤组件还包括L形把手(9)，所述L形把手(9)固定在其中任一转轴(5)上。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的一种单晶硅生长炉尾气处理装置，其特征在于，所述初步过滤组件(2)包括滤网(10)，所述滤网(10)的顶端与底端均固定安装在壳体(1)内壁，并且滤网(10)与进气口相对设置。

5.根据权利要求4所述的一种单晶硅生长炉尾气处理装置，其特征在于，所述初步过滤组件(2)还包括活动销(11)和随动块(12)，所述活动销(11)活动安装在壳体(1)上，并且其一端位于壳体(1)内，另一端位于壳体(1)外，所述随动块(12)固定安装在活动销(11)位于壳体(1)内的一端，并且随动块(12)与滤网(10)相对设置，活动销(11)的位于壳体(1)内的一端上套设有弹簧(13)，弹簧(13)的两端分别与壳体(1)内壁和随动块(12)固定连接。

6.根据权利要求5所述的一种单晶硅生长炉尾气处理装置，其特征在于，所述壳体(1)的底部内壁固定安装有收集箱(14)，所述滤网(10)的底端设置在收集箱(14)内。

7.根据权利要求6所述的一种单晶硅生长炉尾气处理装置，其特征在于，所述进气口和出气口上均固定安装有连接法兰(15)。

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