CN218669753U - 一种精密定量液体供给装置 - Google Patents
一种精密定量液体供给装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN218669753U CN218669753U CN202223359151.5U CN202223359151U CN218669753U CN 218669753 U CN218669753 U CN 218669753U CN 202223359151 U CN202223359151 U CN 202223359151U CN 218669753 U CN218669753 U CN 218669753U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- liquid
- telescopic bag
- telescopic
- liquid supply
- bag
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims abstract description 95
- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims abstract description 51
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 27
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims abstract description 3
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 14
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 abstract description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 7
- 239000012224 working solution Substances 0.000 description 5
- 238000005213 imbibition Methods 0.000 description 4
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 230000035882 stress Effects 0.000 description 2
- 101100298222 Caenorhabditis elegans pot-1 gene Proteins 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 239000010720 hydraulic oil Substances 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 230000009347 mechanical transmission Effects 0.000 description 1
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Reciprocating Pumps (AREA)
Abstract
本实用新型涉及液体供给装置技术领域,特别涉及一种精密定量液体供给装置。包括储液罐、泵送腔、伸缩囊及伸缩囊伸缩驱动机构,其中泵送腔的吸液口通过吸液管与储液罐连接,泵送腔的排液口通过供液管与喷嘴连接;伸缩囊容置于泵送腔内,伸缩囊内盛装有工作液,伸缩囊伸缩驱动机构设置于泵送腔的外侧,且与伸缩囊连接,伸缩囊伸缩驱动机构通过改变伸缩囊内的液体容积驱动伸缩囊伸缩,实现泵送腔从储液罐内吸液及泵送腔为喷嘴供液。本实用新型的泵送腔内因没有摩擦,不会对输送液产生污染;伸缩囊两侧压差小,且受力均匀,提高了伸缩囊的使用寿命。
Description
技术领域
本实用新型涉及液体供给装置技术领域,特别涉及一种精密定量液体供给装置。
背景技术
泵是输送液体或使液体增压的流体机械,它将原动机的机械能或其它外部能量传送给液体,使液体能量增加。目前常用的有容积泵,容积泵依靠包容液体密封工作空间容积周期性变化,使液体压力增加后强行排出,所以容积泵不但具有很好的自吸特性且在负载发生变化时也有很稳定的流量。容积泵目前主要分往复泵和转子泵,现有容积泵采用传统机械结构,其传动与连接运用多个零部件,使得泵体的结构复杂且不易拆装造成维护困难。传统设计的容积泵因为运用多个零部件使得其在转动运动中会有大量的摩擦热损失,进而降低了泵的效率,也加快了泵的老化从而影响使用寿命。
实用新型内容
针对上述问题,本实用新型的目的在于提供一种精密定量液体供给装置,以解决现有容积泵采用传统机械结构,结构复杂、不易拆装、效率低及使用寿命短的问题。
为了实现上述目的,本实用新型采用以下技术方案:
本实用新型提供一种精密定量液体供给装置,包括泵送腔、伸缩囊及伸缩囊伸缩驱动机构,其中伸缩囊容置于泵送腔内,伸缩囊内盛装有工作液,伸缩囊伸缩驱动机构设置于泵送腔的外侧,且与伸缩囊连接,伸缩囊伸缩驱动机构通过改变伸缩囊内工作液的容积来驱动伸缩囊伸缩,从而实现泵送腔吸液和供液。
在一种可能实现的方式中,所述伸缩囊为两端均封闭的波纹管结构,且所述伸缩囊的一端与所述泵送腔一端内壁连接,所述伸缩囊的另一端可向沿所述泵送腔的轴向伸缩。
在一种可能实现的方式中,所述伸缩囊伸缩驱动机构包括液压缸和直线驱动机构,其中液压缸通过工作液输送管路与所述伸缩囊连接,液压缸的活塞杆与直线驱动机构连接,直线驱动机构用于驱动活塞杆往复直线运动,从而改变所述伸缩囊内工作液的容积大小。
在一种可能实现的方式中,所述直线驱动机构包括固定座、丝母、丝杠及电机,其中丝杠转动安装在固定座上,丝母与丝杠螺纹连接,丝母通过连接件与所述活塞杆连接,电机设置于固定座上且输出端与丝杠的端部连接。
在一种可能实现的方式中,所述丝杠与所述活塞杆平行设置。
在一种可能实现的方式中,所述的精密定量液体供给装置还包括储液罐、吸液管、供液管及喷嘴,其中储液罐通过吸液管与所述泵送腔的吸液口连接,喷嘴通过供液管与所述泵送腔的排液口连接。
在一种可能实现的方式中,所述吸液管和所述供液管连接在所述泵送腔的另一端,且对称设置。
在一种可能实现的方式中,所述吸液管上设有单向阀Ⅰ,所述供液管上设有单向阀Ⅱ。
在一种可能实现的方式中,所述吸液管和所述供液管上均设有气动阀。
本实用新型的优点及有益效果是:本实用新型提供的一种精密定量液体供给装置,采用伸缩囊替代传统容积泵机械零部件,与传统容积泵相比省去了复杂的结构与繁多的零件,同时减少了由于机械传动与摩擦产生的无用功。此外,泵送腔内因没有摩擦,不会对输送液产生污染;伸缩囊两侧压差小,且受力均匀,提高了伸缩囊的使用寿命。
本实用新型的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述,并且,部分地从说明书中变得显而易见,或者通过实施本实用新型而了解。本实用新型的目的和其他优点可通过在所写的说明书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。
下面通过附图和实施例,对本实用新型的技术方案做进一步的详细描述。
附图说明
附图用来提供对本实用新型的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的限制。在附图中:
图1为本实用新型一种精密定量液体供给装置的结构示意图之一;
图2为本实用新型一种精密定量液体供给装置的结构示意图之二;
图中:1为储液罐,2为吸液管,3为单向阀Ⅰ,4为泵送腔,5为输送液,6为单向阀Ⅱ,7为供液管,8为喷嘴,9为伸缩囊,10为工作液,11为工作液输送管路,12为液压缸,13为活塞杆,14为丝母,15为丝杠,16为电机。
具体实施方式
在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。
此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中,“多个”的含义是两个或两个以上,除非另有明确具体的限定。
在本实用新型中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明,应当理解,此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。
如图1-2所示,本实用新型实施例提供一种精密定量液体供给装置,包括泵送腔4、伸缩囊9及伸缩囊伸缩驱动机构,其中伸缩囊9容置于泵送腔4内,伸缩囊9内盛装有工作液10,伸缩囊伸缩驱动机构设置于泵送腔4的外侧,且与伸缩囊9连接,伸缩囊伸缩驱动机构通过改变伸缩囊9内的液体容积来驱动伸缩囊9伸缩,从而实现泵送腔4的吸液和供液功能。
本实用新型的实施例中,伸缩囊9为两端均封闭的波纹管结构,且伸缩囊9的一端与泵送腔4一端内壁连接,伸缩囊9的另一端可沿泵送腔4的轴向伸缩。优选地,泵送腔4为中空圆柱体结构。
本实用新型的实施例中,伸缩囊伸缩驱动机构包括液压缸12和直线驱动机构,其中液压缸12通过工作液输送管路11与伸缩囊连接,液压缸12的活塞杆13与直线驱动机构连接,直线驱动机构用于驱动活塞杆13往复直线运动,活塞杆13往复直线运动使液压缸12进行往复吸液和排液,从而改变伸缩囊9内工作液10的容积。
本实用新型的实施例中,直线驱动机构包括固定座、丝母14、丝杠15及电机16,其中丝杠15可转动地安装在固定座上,且丝杠15与活塞杆13平行设置。丝母14与丝杠15螺纹连接,形成螺纹副,丝母14通过连接件与活塞杆13连接。电机16安装在固定座上且输出端与丝杠15的一端部连接。优选地,电机16采用伺服电机或步进电机,通过伺服电机或步进电机驱动丝杠15旋转,丝杠15带动丝母14和活塞杆13作直线运动,从而可实现高泵送压力和高泵送精度。
如图1-2所示,在上述实施例的基础上,本实用新型提供的一种精密定量液体供给装置,还包括储液罐1、吸液管2、供液管7及喷嘴8,其中储液罐1通过吸液管2与泵送腔4的吸液口连接,喷嘴8通过供液管7与泵送腔4的排液口连接。
本实用新型的实施例中,吸液管2和供液管7连接在泵送腔4的另一端,且对称设置。吸液管2上设有单向阀Ⅰ3,供液管7上设有单向阀Ⅱ6;或者将单向阀Ⅰ3和单向阀Ⅱ6替换为气动阀。
本实用新型实施例提供的一种精密定量液体供给装置,其工作原理是:
如图1-2所示,电机16驱动丝杠15转动,丝杠15带动丝母14作直线运动,丝母14带动活塞杆13进行直线运动,使液压缸12内的活塞位置改变,从而驱动工作液10对伸缩囊9作用来完成其伸缩,从而使伸缩囊9内部的容积发生变化。同时,伸缩囊9的伸缩对其外侧的输送液5进行作用,使伸缩囊9与泵送腔4之间的输送液5的容积发生变化,从而完成对输送液5的泵送。
具体地,如图1所示,电机16驱动丝杠15正转,丝母14沿丝杠15向下运动,进而带动活塞杆13下行,驱动伸缩囊9内的工作液10进入液压缸12内,使伸缩囊9在泵送腔4内收缩,进而使储液罐1内的输送液5通过吸液管2进入泵送腔4内,完成吸液过程。如图2所示,电机16驱动丝杠15反转,丝母14沿丝杠15上升,进而带动活塞杆13上行,驱动液压缸12内的工作液10进入伸缩囊9内,使伸缩囊9在泵送腔4内伸展,进而泵送腔4内的输送液5通过供液管7为喷嘴8定量供液,以完成泵送过程。
本实用新型通过伸缩囊9伸缩,改变泵送腔4的腔室容积,配合单向阀Ⅰ3和单向阀Ⅱ6,实现从储液罐1内吸液及从喷嘴8出液。进一步地,两个单向阀可以变通,改成通断阀(气控或电动)。因泵送腔4内设置伸缩囊9,所以没有摩擦,不会对输送液产生污染。同时因伸缩囊9的两侧具有液体,即外侧为输送液5,内侧为工作液10,如工作液10为硅油、液压油等,所以伸缩囊9两侧压差小,且受力均匀,寿命长。本实用新型采用步进电机或伺服电机驱动丝杠15运动,可实现高泵送压力和高泵送精度,特别适合于对洁净要求、精度要求非常高的液体输送应用场景,如半导体行业、制药行业。
显然,本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样,倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内,则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
Claims (7)
1.一种精密定量液体供给装置,其特征在于,包括泵送腔(4)、伸缩囊(9)及伸缩囊伸缩驱动机构,其中伸缩囊(9)容置于泵送腔(4)内,伸缩囊(9)内盛装有工作液(10),伸缩囊伸缩驱动机构设置于泵送腔(4)的外侧,且与伸缩囊(9)连接,伸缩囊伸缩驱动机构通过改变伸缩囊(9)内工作液(10)的容积来驱动伸缩囊(9)伸缩,从而实现泵送腔(4)吸液和供液;
所述伸缩囊(9)为两端均封闭的波纹管结构,且所述伸缩囊(9)的一端与所述泵送腔(4)一端内壁连接,所述伸缩囊(9)的另一端可向沿所述泵送腔(4)的轴向伸缩;
所述伸缩囊伸缩驱动机构包括液压缸(12)和直线驱动机构,其中液压缸(12)通过工作液输送管路(11)与所述伸缩囊(9)连接,液压缸(12)的活塞杆(13)与直线驱动机构连接,直线驱动机构用于驱动活塞杆(13)往复直线运动,从而改变所述伸缩囊(9)内工作液(10)的容积大小。
2.根据权利要求1所述的精密定量液体供给装置,其特征在于,所述直线驱动机构包括固定座、丝母(14)、丝杠(15)及电机(16),其中丝杠(15)转动安装在固定座上,丝母(14)与丝杠(15)螺纹连接,丝母(14)通过连接件与所述活塞杆(13)连接,电机(16)设置于固定座上且输出端与丝杠(15)的端部连接。
3.根据权利要求2所述的精密定量液体供给装置,其特征在于,所述丝杠(15)与所述活塞杆(13)平行设置。
4.根据权利要求1-3任一项所述的精密定量液体供给装置,其特征在于,还包括储液罐(1)、吸液管(2)、供液管(7)及喷嘴(8),其中储液罐(1)通过吸液管(2)与所述泵送腔(4)的吸液口连接,喷嘴(8)通过供液管(7)与所述泵送腔(4)的排液口连接。
5.根据权利要求4所述的精密定量液体供给装置,其特征在于,所述吸液管(2)和所述供液管(7)连接在所述泵送腔(4)的另一端,且对称设置。
6.根据权利要求4所述的精密定量液体供给装置,其特征在于,所述吸液管(2)上设有单向阀Ⅰ(3),所述供液管(7)上设有单向阀Ⅱ(6)。
7.根据权利要求4所述的精密定量液体供给装置,其特征在于,所述吸液管(2)和所述供液管(7)上均设有气动阀。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202223359151.5U CN218669753U (zh) | 2022-12-13 | 2022-12-13 | 一种精密定量液体供给装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202223359151.5U CN218669753U (zh) | 2022-12-13 | 2022-12-13 | 一种精密定量液体供给装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN218669753U true CN218669753U (zh) | 2023-03-21 |
Family
ID=85549737
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202223359151.5U Active CN218669753U (zh) | 2022-12-13 | 2022-12-13 | 一种精密定量液体供给装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN218669753U (zh) |
-
2022
- 2022-12-13 CN CN202223359151.5U patent/CN218669753U/zh active Active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN101354028A (zh) | 单活塞驱动多膜腔隔膜压缩机 | |
CN218669753U (zh) | 一种精密定量液体供给装置 | |
CN105673378A (zh) | 双向计量泵系统 | |
CN103470473A (zh) | 液压气体真空泵 | |
CN207018180U (zh) | 一种直线式高精度蠕动泵 | |
CN217080768U (zh) | 一种用于液压泵的自润滑装置 | |
CN202040039U (zh) | 单作用液压驱动往复式柱塞泵 | |
CN212403435U (zh) | 一种用于液体消毒剂灌装的容量可调灌装机 | |
CN203463254U (zh) | 一种液压气体真空泵 | |
CN216111151U (zh) | 一种电机直驱压裂装置 | |
CN107269502B (zh) | 一种直线式高精度蠕动泵 | |
CN209908877U (zh) | 一种回转油缸的驱动装置 | |
CN201513310U (zh) | 一种往复活塞泵 | |
CN212318281U (zh) | 一种适用于高粘度化工物料输送的柱塞式输送泵 | |
CN214007472U (zh) | 一种具有波纹管状隔膜件的柱塞泵 | |
CN112539167A (zh) | 一种具有波纹管状隔膜件的柱塞泵 | |
CN208431147U (zh) | 一种具有流量计量功能的气动隔膜泵 | |
CN107676250B (zh) | 往复式注射泵 | |
CN111706487A (zh) | 一种齿动式往复泵 | |
CN217297273U (zh) | 一种农药灌装机构 | |
CN220705851U (zh) | 双向出液的高效率数控注液泵 | |
CN112228299B (zh) | 一种高效往复柱塞式高压水泵 | |
CN220350015U (zh) | 一种用于膏体的往复活塞式灌装机 | |
CN219605529U (zh) | 一种高端双泵头Hydro液压隔膜计量泵 | |
CN212867795U (zh) | 一种高粘度化工物料输送泵 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant | ||
CP03 | Change of name, title or address |
Address after: No. 26, Venture Capital Industrial Park, Suzhou Industrial Park, Jiangsu 215101 Patentee after: Xinda semiconductor equipment (Suzhou) Co.,Ltd. Country or region after: China Address before: Unit C2-202, Artificial Intelligence Industrial Park, No. 88, Jinjihu Avenue, Suzhou Industrial Park, Jiangsu Province, 215000 Patentee before: Xinda semiconductor equipment (Suzhou) Co.,Ltd. Country or region before: China |
|
CP03 | Change of name, title or address |