CN218666415U - 一种晶体生长炉炉体及晶体生长炉 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及晶体生长领域，公开一种晶体生长炉炉体及包括该晶体生长炉炉体的晶体生长炉。与现有炉体相比，本实用新型提供的晶体生长炉炉体将原有下一体式压环改为分体设置的下第一压环和下第二压环，将原有上一体式压环改为分体设置的上第一压环和上第二压环，并在下第一压环与下第二压环之间、外套管上套设的下第三密封圈的外侧壁与下第二定位环槽的侧壁之间、上第一压环与上第二压环之间以及外套管上套设的上第二密封圈的外侧壁与上第二定位环槽的侧壁之间均留有活动间隙。活动间隙的存在，使得装配难度降低。同时，由于留有活动间隙，对于内套管和外套管的端面同轴度要求降低，夹套管制造难度降低。

Description

一种晶体生长炉炉体及晶体生长炉

技术领域

本实用新型涉及晶体生长领域，特别是涉及一种晶体生长炉炉体及包括该晶体生长炉炉体的晶体生长炉。

背景技术

碳化硅材料主要依靠人工合成，一般的碳化硅晶体生长炉主要包括感应线圈、炉体、真空系统和控制系统，感应线圈设置在炉体外部，利用感应线圈对炉体内部感应加热。如图4和图5所示，炉体一般包括夹套管和设置于夹套管两端的下环形板组件和上环形组件，夹套管包括内套管和外套管，外套管套设于内套管外部，外套管和内套管之间形成有环形夹层，上环形板组件能够密封环形夹层的顶端，下环形板组件能够密封环形夹层的底端，感应线圈工作时，环形夹层内通入冷却水，以实现夹套管的冷却。

具体地，下环形板组件均包括下第一环形板、下第二环形板以及下一体式压环，下第一环形板上设置有下第一定位环槽，内套管的端部与下第一定位环槽的底面相贴合，且下第一定位环槽的侧面与内套管的侧面之间设置有下第一密封圈，下第二环形板设置于下第一环形板和下一体式压环之间，且下第一环形板和下一体式压环均与下第二环形板相连，下第二环形板套设于内套管外部，下第二环形板上设置有下第二定位环槽，外套管的端面和侧面分别与下第二定位环槽的底面和侧面相贴合，且下第二环形板的内侧壁与内套管的外侧壁相贴合，下一体式压环套设于外套管外部，且下一体式压环的内侧壁与外套管的外侧壁之间设置有下第二密封圈；上环形板组件均包括上第一环形板、上第二环形板以及上一体式压环，上第一环形板上设置有上第一定位环槽，上第一定位环槽的侧面与内套管的侧面之间设置有上第一密封圈，上第二环形板设置于上第一环形板和上一体式压环之间，且上第一环形板和上一体式压环均与上第二环形板相连，上第二环形板套设于内套管外部，上第二环形板上设置有上第二定位环槽，外套管的顶端伸入上第二定位环槽内，上一体式压环套设于外套管外部，且上一体式压环的内侧壁与外套管的外侧壁之间设置有上第二密封圈。

图4和图5中所示炉体存在的最主要的缺陷是，在实际装配中，内套管安装和外套管的安装需要以内套管为基准定位，再安装外套管，若内套管和外套管的两个端面出现不同轴的现象，会导致内套管和外套管受到较大的径向应力，进而导致内套管和外套管容易发生损坏。这种安装方式对内套管和外套管的端面同轴度和装配工人的安装技能要求极高，这使得夹套管制造及装配难度高。

因此，如何克服夹套管制造及装配难度高的缺陷成为本领域技术人员目前所亟待解决的问题。

实用新型内容

为解决以上技术问题，本实用新型提供一种夹套管制造及装配难度更低的晶体生长炉炉体及包括该晶体生长炉炉体的晶体生长炉。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下方案：

本实用新型提供一种晶体生长炉炉体，包括：

夹套管，所述夹套管包括同轴设置的外套管和内套管，所述内套管套设于所述外套管内部，且所述外套管和内套管之间形成有环形夹层；

下定位密封组件，所述下定位密封组件包括：

相对设置，且二者相对的两个端面相贴合的下第一环形板和下第二环形板，所述下第一环形板靠近所述下第二环形板的一端设置有下第一定位环槽，所述下第二环形板套设于所述内套管的外部，所述下第二环形板远离所述下第一环形板的一端设置有下第二定位环槽；

下第一密封圈，所述下第一密封圈设置于所述下第一定位环槽内，所述下第一密封圈上设置有与所述内套管的底端形状相匹配的下第一定位槽，所述内套管的底端设置于所述下第一定位槽内；

下第二密封圈，所述下第一密封圈的顶部、所述下第一定位环槽的侧壁以及所述下第二环形板靠近所述下第一环形板的一端形成有下环形槽，所述下第二密封圈设置于所述下环形槽内，所述下第二密封圈套设于所述内套管上，且所述下第二密封圈的内侧壁与所述内套管的外侧壁相贴合；

下第三密封圈，所述下第三密封圈设置于所述下第二定位环槽内，且所述下第三密封圈上设置有与所述外套管的底端形状相匹配的下第二定位槽，所述外套管的底端设置于所述下第二定位槽内，所述下第三密封圈的外侧壁与所述下第二定位环槽的侧壁之间具有下第一环形活动间隙；

下分体式压环，所述下分体式压环包括下第一压环和下第二压环，所述下第一压环套设于所述外套管外部，所述下第二压环套设于所述下第一压环外部，且所述下第一压环和所述下第二压环均与所述下第二环形板远离所述下第一环形板的一端相贴合，所述下第一压环的外侧壁上设置有下第一环形凸台，所述下第二压环的内侧壁上设置有下第二环形凸台，所述下第一环形凸台与所述下第二环形凸台相互搭接，所述下第一环形凸台设置于所述下第二环形凸台和所述下第二环形板之间，所述下第一环形凸台靠近所述下第二环形板的一端与所述下第二环形板相贴合，且所述下第一环形凸台的侧壁与所述下第二压环的内侧壁之间设置有下第二环形活动间隙，所述下第二环形凸台的侧壁与所述下第一压环的外侧壁之间设置有下第三环形活动间隙，所述下第二压环和所述下第一环形板均与所述下第二环形板能够拆卸地连接；

下第四密封圈，所述下第一压环与所述外套管之间具有下环形间隙，所述下第四密封圈设置于所述下环形间隙内，以密封所述下环形间隙，所述下第四密封圈与所述下第三密封圈相对设置，且二者相对的两个端面相抵；

上定位密封组件，所述上定位密封组件包括：

相对设置，且二者相对的两个端面相贴合的上第一环形板和上第二环形板，所述上第一环形板靠近所述上第二环形板的一端设置有上第一定位环槽，所述上第一环形板和所述上第二环形板均套设于所述内套管的外部，所述上第一定位环槽的底部、所述上第一定位环槽的侧壁以及所述上第二环形板靠近所述上第一环形板的一端形成有上环形槽，所述上第二环形板远离所述上第一环形板的一端设置有上第二定位环槽，所述外套管的顶端伸入所述上第二定位环槽内；

上第一密封圈，所述上第一密封圈设置于所述上环形槽内，所述上第一密封圈套设于所述内套管上，且所述上第一密封圈的内侧壁与所述内套管的外侧壁相贴合；

上第二密封圈，所述上第二密封圈套设于所述外套管上，所述上第二密封圈的内侧壁与所述外套管的外侧壁相贴合，且所述上第二密封圈的外侧壁与所述上第二定位环槽的侧壁之间具有上第一环形活动间隙；

上分体式压环，所述上分体式压环包括上第一压环和上第二压环，所述上第一压环套设于所述外套管外部，所述上第二压环套设于所述上第一压环外部，且所述上第一压环和所述上第二压环均与所述上第二环形板远离所述上第一环形板的一端相贴合，所述上第一压环的外侧壁上设置有上第一环形凸台，所述上第二压环的内侧壁上设置有上第二环形凸台，所述上第一环形凸台与所述上第二环形凸台相互搭接，所述上第一环形凸台设置于所述上第二环形凸台和所述上第二环形板之间，所述上第一环形凸台靠近所述上第二环形板的一端与所述上第二环形板相贴合，且所述上第一环形凸台的侧壁与所述上第二压环的内侧壁之间设置有上第二环形活动间隙，所述上第二环形凸台的侧壁与所述上第一压环的外侧壁之间设置有上第三环形活动间隙，所述上第二压环和所述上第一环形板均与所述上第二环形板能够拆卸地连接；

上第三密封圈，所述上第一压环与所述外套管之间具有上环形间隙，所述上第三密封圈设置于所述上环形间隙内，以密封所述上环形间隙，所述上第三密封圈与所述上第二密封圈相对设置，且二者相对的两个端面相抵；

所述下第二环形板上设置有与所述环形夹层相连通的进液通道，所述上第二环形板上设置有与所述环形夹层相连通的排液通道。

可选地，晶体生长炉炉体还包括下第五密封圈和上第四密封圈，所述下第二环形板远离所述下第一环形板的一端还设置有下第一环形凹槽，所述下第五密封圈设置于所述第一环形凹槽内，且所述下第五密封圈与所述下第一压环和/或所述下第一环形凸台相抵；所述上第二环形板远离所述上第一环形板的一端还设置有上第一环形凹槽，所述上第四密封圈设置于所述第一环形凹槽内，且所述上第四密封圈与所述上第一压环和/或所述上第一环形凸台相抵。

可选地，所述下第二压环和所述下第二环形板之间通过下第一螺栓能够拆卸地连接，所述下第一环形板和所述下第二环形板之间通过下第二螺栓能够拆卸地连接；所述上第二压环和所述上第二环形板之间通过上第一螺栓能够拆卸地连接，所述上第一环形板和所述上第二环形板之间通过上第二螺栓能够拆卸地连接。

可选地，所述外套管采用聚甲基丙烯酸甲酯材料制成，所述内套管采用石英材料制成。

可选地，所述下第一压环的内侧壁倾斜设置，且下第一压环远离所述下第二环形板的一端到其自身轴线的距离小于所述下第一压环靠近所述下第二环形板的一端到其自身轴线之间的距离；所述上第一压环的内侧壁倾斜设置，且上第一压环远离所述上第二环形板的一端到其自身轴线的距离小于所述上第一压环靠近所述上第二环形板的一端到其自身轴线之间的距离。

本实用新型还提供一种晶体生长炉，包括：所述的晶体生长炉炉体，还包括：上炉盖、下炉盖和多个连接柱，所述上炉盖和所述下炉盖分别用于封堵所述内套管的顶端和底端，所述上炉盖与所述上第一环形板能够拆卸地连接，所述下炉盖与所述下第一环形板能够拆卸地连接，全部所述连接柱沿所述夹套管的周向均匀设置，各个所述连接柱的顶端均与所述上第二环形板能够拆卸地连接，各个所述连接柱的底端均与所述下第一环形板能够拆卸地连接。

可选地，晶体生长炉还包括上第五密封圈和下第六密封圈，所述上炉盖靠近所述上第一环形板的一端设置有上第二环形凹槽，所述上第五密封圈设置于所述上第二环形凹槽内，且所述上第五密封圈的一端与所述上炉盖相抵；所述下炉盖靠近所述下第一环形板的一端设置有下第二环形凹槽，所述下第六密封圈设置于所述下第二环形凹槽内，且所述下第六密封圈的一端与所述下炉盖相抵。

可选地，所述上第二环形凹槽的截面为正梯形，所述上第五密封圈嵌设于所述上第二环形凹槽内，所述下第二环形凹槽为倒梯形，所述下第六密封圈嵌设于所述下第二环形凹槽内。

可选地，所述下炉盖和所述下第一环形板之间通过下第三螺栓能够拆卸地连接；所述上炉盖和所述上第一环形板之间通过上第三螺栓能够拆卸地连接。

本实用新型相对于现有技术取得了以下技术效果：

本实用新型的提供的晶体生长炉炉体下第三密封圈的外侧壁与下第二定位环槽的侧壁之间具有下第一环形活动间隙，下第一环形凸台的侧壁与下第二压环的内侧壁之间设置有下第二环形活动间隙，下第二环形凸台的侧壁与下第一压环的外侧壁之间设置有下第三环形活动间隙，上第二密封圈的外侧壁与上

第二定位环槽的侧壁之间具有上第一环形活动间隙，上第一环形凸台的侧壁与上第二压环的内侧壁之间设置有上第二环形活动间隙，上第二环形凸台的侧壁与上第一压环的外侧壁之间设置有上第三环形活动间隙。与背景技术提及的现有炉体结构相比，由于下第一环形活动间隙、下第二环形活动间隙、下第三环形活动间隙、上第一环形活动间隙、上第二环形活动间隙以及上第三环形活动间隙的存在，本实用新型的提供的晶体生长炉炉体，装配难度更低。同时，由于留有下第一环形活动间隙、下第二环形活动间隙、下第三环形活动间隙、上第一环形活动间隙、上第二环形活动间隙以及上第三环形活动间隙，对于内套管和外套管的端面同轴度要求降低，这使得夹套管制造难度降低。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例中提供的晶体生长炉的结构示意图；

图2为图1的I处放大图；

图3为图1的II处放大图；

图4为现有晶体生长炉的结构示意图；

图5为图4的B处放大图。

图1附图标记说明：1、外套管；2、内套管；3、环形夹层；4、上第一环形板；5、上第二环形板；6、进液通道；7、排液通道；8、下第一密封圈；9、下第二密封圈；10、下第一环形活动间隙；11、下第一压环；12、下第二压环；13、下第一环形凸台；14、下第二环形凸台；15、下第二环形活动间隙；16、下第三环形活动间隙；17、下第三密封圈；18、下第四密封圈；19、上第一螺栓；20、上第二螺栓；21、上炉盖；22、连接柱；23、上第三螺栓；24、下第五密封圈；25、下第六密封圈；26、下第一环形板；27、下第二环形板；28、上第一密封圈；29、上第二密封圈；30、上第一环形活动间隙；31、上第一压环；32、上第二压环；33、上第一环形凸台；34、上第二环形凸台；35、上第二环形活动间隙；36、上第三环形活动间隙；37、上第三密封圈；38、上第四密封圈；39、下第一螺栓；40、下第二螺栓；41、下炉盖；42、下第三螺栓；43、上第五密封圈。

图2附图标记说明：1^’、内套管；2^’、外套管；3^’、环形夹层；4^’、下第一环形板；5^’、下第二环形板；6^’、下一体式压环；7^’、下第一密封圈；8^’、下第二密封圈。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型的目的是提供一种夹套管制造及装配难度更低的晶体生长炉炉体及包括该晶体生长炉炉体的晶体生长炉。

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。

参考图1-图3所示，本实施例提供的晶体生长炉炉体，包括：夹套管、下定位密封组件以及上定位密封组件。

夹套管包括同轴设置的外套管1和内套管2，内套管2套设于外套管1内部，且外套管1和内套管2之间形成有环形夹层3。感应线圈套设于外套管11的外部，在利用感应线圈对内套管22内部，即炉体内部进行感应加热时，需要同时向环形夹层33内注入冷却液，来对夹套管进行降温。冷却液一般选用冷却水，但并不仅限于为冷却水，这里仅举例说明。

下定位密封组件包括：

相对设置，且二者相对的两个端面相贴合的下第一环形板26和下第二环形板27，下第一环形板26靠近下第二环形板27的一端设置有下第一定位环槽，下第二环形板套设于内套管2的外部，下第二环形板27远离下第一环形板26的一端设置有下第二定位环槽；

下第一密封圈8，下第一密封圈8设置于下第一定位环槽内，下第一密封圈8上设置有与内套管2的底端形状相匹配的下第一定位槽，内套管2的底端设置于下第一定位槽内，如此，内套管2的底端支撑于下第一密封圈8上，避免了内套管2的底端磕碰；

下第二密封圈9，下第一密封圈8的顶部、下第一定位环槽的侧壁以及下第二环形板27靠近下第一环形板26的一端形成有下环形槽，下第二密封圈9设置于下环形槽内，下第二密封圈9套设于内套管2上，且下第二密封圈9的内侧壁与内套管2的外侧壁相贴合；

下第三密封圈17，下第三密封圈17设置于下第二定位环槽内，且下第三密封圈17上设置有与外套管1的底端形状相匹配的下第二定位槽，外套管1的底端设置于下第二定位槽内，如此，外套管1的底端支撑于下第三密封圈17上，避免了外套管1的底端磕碰，下第三密封圈17的外侧壁与下第二定位环槽的侧壁之间具有下第一环形活动间隙10；

下分体式压环，下分体式压环包括下第一压环11和下第二压环12，下第一压环11套设于外套管1外部，下第二压环12套设于下第一压环11外部，且下第一压环11和下第二压环12均与下第二环形板27远离下第一环形板26的一端相贴合，下第一压环11的外侧壁上设置有下第一环形凸台13，下第二压环12的内侧壁上设置有下第二环形凸台14，下第一环形凸台13与下第二环形凸台14相互搭接，下第一环形凸台13设置于下第二环形凸台14和下第二环形板27之间，下第一环形凸台13靠近下第二环形板27的一端与下第二环形板27相贴合，且下第一环形凸台13的侧壁与下第二压环12的内侧壁之间设置有下第二环形活动间隙15，下第二环形凸台14的侧壁与下第一压环11的外侧壁之间设置有下第三环形活动间隙16，下第二压环12和下第一环形板26均与下第二环形板27能够拆卸地连接；

下第四密封圈18，下第一压环11与外套管1之间具有下环形间隙，下第四密封圈18设置于下环形间隙内，以密封下环形间隙，下第四密封圈18与下第三密封圈17相对设置，且二者相对的两个端面相抵。

下第一环形活动间隙10、下第二环形活动间隙15以及下第三环形活动间隙16的大小根据加工时候的累计公差而定，一般取5-8mm。

上定位密封组件包括：

相对设置，且二者相对的两个端面相贴合的上第一环形板4和上第二环形板5，上第一环形板4靠近上第二环形板5的一端设置有上第一定位环槽，上第一环形板4和上第二环形板5均套设于内套管2的外部，上第一定位环槽的底部、上第一定位环槽的侧壁以及上第二环形板5靠近上第一环形板4的一端形成有上环形槽，上第二环形板5远离上第一环形板4的一端设置有上第二定位环槽，外套管1的顶端伸入上第二定位环槽内；

上第一密封圈28，上第一密封圈28设置于上环形槽内，上第一密封圈28套设于内套管2上，且上第一密封圈28的内侧壁与内套管2的外侧壁相贴合；

上第二密封圈29，上第二密封圈29套设于外套管1上，上第二密封圈29的内侧壁与外套管1的外侧壁相贴合，且上第二密封圈29的外侧壁与上第二定位环槽的侧壁之间具有上第一环形活动间隙30；

上分体式压环，上分体式压环包括上第一压环31和上第二压环32，上第一压环31套设于外套管1外部，上第二压环32套设于上第一压环31外部，且上第一压环31和上第二压环32均与上第二环形板5远离上第一环形板4的一端相贴合，上第一压环31的外侧壁上设置有上第一环形凸台33，上第二压环32的内侧壁上设置有上第二环形凸台34，上第一环形凸台33与上第二环形凸台34相互搭接，上第一环形凸台33设置于上第二环形凸台34和上第二环形板5之间，上第一环形凸台33靠近上第二环形板5的一端与上第二环形板5相贴合，且上第一环形凸台33的侧壁与上第二压环32的内侧壁之间设置有上第二环形活动间隙35，上第二环形凸台34的侧壁与上第一压环31的外侧壁之间设置有上第三环形活动间隙36，上第二压环32和上第一环形板4均与上第二环形板5能够拆卸地连接；

上第三密封圈37，上第一压环31与外套管1之间具有上环形间隙，上第三密封圈37设置于上环形间隙内，以密封上环形间隙，上第三密封圈37与上第二密封圈29相对设置，且二者相对的两个端面相抵。

同理，上第一环形活动间隙30、上第二环形活动间隙35以及上第三环形活动间隙36的大小根据加工时候的累计公差而定，一般取5-8mm。

下第二环形板27上设置有与环形夹层3相连通的进液通道6，上第二环形板5上设置有与环形夹层3相连通的排液通道7，冷却液自进液通道6进入环形夹层3内部，由排液通道7自环形夹层3内部排出。

背景技术中提及的现有炉体结构上一体式压环和下一体式压环均是一体式结构，不设置活动间隙，与背景技术提及的现有炉体结构相比，本实施例提供的晶体生长炉炉体将上一体式压环改为分体设置的上第一压环31和上第二压环32，将下一体式压环改为分体设置的下第一压环11和下第二压环12，并在下第三密封圈17的外侧壁与下第二定位环槽的侧壁之间设置下第一环形活动间隙10，下第一环形凸台13的侧壁与下第二压环12的内侧壁之间设置下第二环形活动间隙15，下第二环形凸台14的侧壁与下第一压环11的外侧壁之间设置下第三环形活动间隙16，上第二密封圈29的外侧壁与上第二定位环槽的侧壁之间设置上第一环形活动间隙30，上第一环形凸台33的侧壁与上第二压环32的内侧壁之间设置上第二环形活动间隙35，上第二环形凸台34的侧壁与上第一压环31的外侧壁之间设置上第三环形活动间隙36，由于下第一环形活动间隙10、下第二环形活动间隙15、下第三环形活动间隙16、上第一环形活动间隙30、上第二环形活动间隙35以及上第三环形活动间隙36的存在，释放了外套管1和内套管2因安装过程中产生的应力，使得本实施例提供的晶体生长炉炉体装配难度更低。同时，由于留有下第一环形活动间隙10、下第二环形活动间隙15、下第三环形活动间隙16、上第一环形活动间隙30、上第二环形活动间隙35以及上第三环形活动间隙36，本实施例提供的晶体生长炉炉体对于内套管2和外套管1的端面同轴度要求降低，这使得本实施例提供的晶体生长炉炉体的夹套管制造难度更低。

于本实用新型另一实施例中，如图1-图3所示，晶体生长炉炉体还包括下第五密封圈24和上第四密封圈38，下第二环形板27远离下第一环形板26的一端还设置有下第一环形凹槽，下第五密封圈24设置于第一环形凹槽内，且下第五密封圈24与下第一压环11和/或下第一环形凸台13相抵；上第二环形板5远离上第一环形板4的一端还设置有上第一环形凹槽，上第四密封圈38设置于第一环形凹槽内，且上第四密封圈38与上第一压环31和/或上第一环形凸台33相抵。下第五密封圈24用于密封下第一压环11和下第二环形板27之间的缝隙，使得下第一压环11和下第二环形板27之间密封性更好，上第四密封圈38用于密封上第一压环31和上第二环形板5之间的缝隙，使得上第一压环31和上第二环形板5之间密封性更好。

于本实用新型另一实施例中，如图1-图3所示，下第二压环12和下第二环形板27之间通过下第一螺栓39能够拆卸地连接，下第一环形板26和下第二环形板27之间通过下第二螺栓40能够拆卸地连接；上第二压环32和上第二环形板5之间通过上第一螺栓19能够拆卸地连接，上第一环形板4和上第二环形板5之间通过上第二螺栓20能够拆卸地连接。

具体地，下第一螺栓39和下第二螺栓40的数量均为多个，详细数量根据实际情况而定，全部下第一螺栓39和全部下第二螺栓40均沿下第二环形板27的周向均匀设置。上第一螺栓19和上第二螺栓20的数量均为多个，详细数量根据实际情况而定，全部上第一螺栓19和全部上第二螺栓20均沿上第二环形板5的周向均匀设置。需要说明的是，下第二压环12和下第二环形板27之间、下第一环形板26和下第二环形板27之间、上第二压环32和上第二环形板5之间以及上第一环形板4和上第二环形板5之间并不仅限于采用螺栓来实现可拆卸连接，还可以采用其它方式，这里仅举例说明。

于本实用新型另一实施例中，外套管1采用聚甲基丙烯酸甲酯材料制成，内套管2采用石英材料制成。需要说明的是，外套管1的材料并不仅限于采用聚甲基丙烯酸甲酯材料，还可以是其它非金属材料，例如，外套管1采用聚碳酸酯(PC)材料制成。

背景技术提及的现有炉体外套管1一般采用石英玻璃制成，与石英玻璃相比，聚甲基丙烯酸甲酯材料具有以下优点：

1.重量轻(密度为石英材料的1/2)，便于搬运和安装。

2.强度高，抗冲击性能好(抗冲击性能为石英材料的7-18倍)。相较于石英材料不易碎裂。

3.成本较低，采购周期短。

于本实用新型另一实施例中，如图1-图3所示，下第一压环11的内侧壁倾斜设置，且下第一压环11远离下第二环形板27的一端到其自身轴线的距离小于下第一压环11靠近下第二环形板27的一端到其自身轴线之间的距离；上第一压环31的内侧壁倾斜设置，且上第一压环31远离上第二环形板5的一端到其自身轴线的距离小于上第一压环31靠近上第二环形板5的一端到其自身轴线之间的距离。

本实施例还提供一种晶体生长炉，其包括：上述任一实施例中提供的晶体生长炉炉体，如图1-图3所示，其还包括：上炉盖21、下炉盖41和多个连接柱22，上炉盖21和下炉盖41分别用于封堵内套管2的顶端和底端，上炉盖21与上第一环形板4能够拆卸地连接，下炉盖41与下第一环形板26能够拆卸地连接，全部连接柱22沿夹套管的周向均匀设置，各个连接柱22的顶端均与上第二环形板5能够拆卸地连接，各个连接柱22的底端均与下第一环形板26能够拆卸地连接。

于本实用新型另一实施例中，如图1-图3所示，晶体生长炉还包括上第五密封圈43和下第六密封圈25，上炉盖21靠近上第一环形板4的一端设置有上第二环形凹槽，上第五密封圈43设置于上第二环形凹槽内，且上第五密封圈43的一端与上炉盖21相抵；下炉盖41靠近下第一环形板26的一端设置有下第二环形凹槽，下第六密封圈25设置于下第二环形凹槽内，且下第六密封圈25的一端与下炉盖41相抵。

具体地，下炉盖41和下第一环形板26之间通过下第三螺栓42能够拆卸地连接；上炉盖21和上第一环形板4之间通过上第三螺栓23能够拆卸地连接。更具体地，下第三螺栓42和上第三螺栓23的数量均为多个，全部下第三螺栓42沿下第一环形板26的周向均匀设置，全部上第三螺栓23沿上第一环形板4的周向均匀设置，下第三螺栓42和上第三螺栓23的详细数量根据实际情况而定。同理，下炉盖41和下第一环形板26之间以及上炉盖21和上第一环形板4之间均并不仅限于采用螺栓，来实现可拆卸连接，还可以选用其它能够拆卸的方式。

如图1-图3所示，为了卡紧上第五密封圈43和下第六密封圈25，上第二环形凹槽的截面为正梯形，上第五密封圈43嵌设于上第二环形凹槽内，下第二环形凹槽为倒梯形，下第六密封圈25嵌设于下第二环形凹槽内。

需要指出的是，本实用新型提供的晶体生长炉炉体及晶体生长炉不仅适用于碳化硅晶体的生长，还适用于其它晶体的生长。

本说明书中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处。综上，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。

Claims (9)

1.一种晶体生长炉炉体，其特征在于，包括：

夹套管，所述夹套管包括同轴设置的外套管和内套管，所述内套管套设于所述外套管内部，且所述外套管和内套管之间形成有环形夹层；

下定位密封组件，所述下定位密封组件包括：

相对设置，且二者相对的两个端面相贴合的下第一环形板和下第二环形板，所述下第一环形板靠近所述下第二环形板的一端设置有下第一定位环槽，所述下第二环形板套设于所述内套管的外部，所述下第二环形板远离所述下第一环形板的一端设置有下第二定位环槽；

下第一密封圈，所述下第一密封圈设置于所述下第一定位环槽内，所述下第一密封圈上设置有与所述内套管的底端形状相匹配的下第一定位槽，所述内套管的底端设置于所述下第一定位槽内；

下第二密封圈，所述下第一密封圈的顶部、所述下第一定位环槽的侧壁以及所述下第二环形板靠近所述下第一环形板的一端形成有下环形槽，所述下第二密封圈设置于所述下环形槽内，所述下第二密封圈套设于所述内套管上，且所述下第二密封圈的内侧壁与所述内套管的外侧壁相贴合；

下第三密封圈，所述下第三密封圈设置于所述下第二定位环槽内，且所述下第三密封圈上设置有与所述外套管的底端形状相匹配的下第二定位槽，所述外套管的底端设置于所述下第二定位槽内，所述下第三密封圈的外侧壁与所述下第二定位环槽的侧壁之间具有下第一环形活动间隙；

下分体式压环，所述下分体式压环包括下第一压环和下第二压环，所述下第一压环套设于所述外套管外部，所述下第二压环套设于所述下第一压环外部，且所述下第一压环和所述下第二压环均与所述下第二环形板远离所述下第一环形板的一端相贴合，所述下第一压环的外侧壁上设置有下第一环形凸台，所述下第二压环的内侧壁上设置有下第二环形凸台，所述下第一环形凸台与所述下第二环形凸台相互搭接，所述下第一环形凸台设置于所述下第二环形凸台和所述下第二环形板之间，所述下第一环形凸台靠近所述下第二环形板的一端与所述下第二环形板相贴合，且所述下第一环形凸台的侧壁与所述下第二压环的内侧壁之间设置有下第二环形活动间隙，所述下第二环形凸台的侧壁与所述下第一压环的外侧壁之间设置有下第三环形活动间隙，所述下第二压环和所述下第一环形板均与所述下第二环形板能够拆卸地连接；

下第四密封圈，所述下第一压环与所述外套管之间具有下环形间隙，所述下第四密封圈设置于所述下环形间隙内，以密封所述下环形间隙，所述下第四密封圈与所述下第三密封圈相对设置，且二者相对的两个端面相抵；

上定位密封组件，所述上定位密封组件包括：

相对设置，且二者相对的两个端面相贴合的上第一环形板和上第二环形板，所述上第一环形板靠近所述上第二环形板的一端设置有上第一定位环槽，所述上第一环形板和所述上第二环形板均套设于所述内套管的外部，所述上第一定位环槽的底部、所述上第一定位环槽的侧壁以及所述上第二环形板靠近所述上第一环形板的一端形成有上环形槽，所述上第二环形板远离所述上第一环形板的一端设置有上第二定位环槽，所述外套管的顶端伸入所述上第二定位环槽内；

上第一密封圈，所述上第一密封圈设置于所述上环形槽内，所述上第一密封圈套设于所述内套管上，且所述上第一密封圈的内侧壁与所述内套管的外侧壁相贴合；

上第二密封圈，所述上第二密封圈套设于所述外套管上，所述上第二密封圈的内侧壁与所述外套管的外侧壁相贴合，且所述上第二密封圈的外侧壁与所述上第二定位环槽的侧壁之间具有上第一环形活动间隙；

上分体式压环，所述上分体式压环包括上第一压环和上第二压环，所述上第一压环套设于所述外套管外部，所述上第二压环套设于所述上第一压环外部，且所述上第一压环和所述上第二压环均与所述上第二环形板远离所述上第一环形板的一端相贴合，所述上第一压环的外侧壁上设置有上第一环形凸台，所述上第二压环的内侧壁上设置有上第二环形凸台，所述上第一环形凸台与所述上第二环形凸台相互搭接，所述上第一环形凸台设置于所述上第二环形凸台和所述上第二环形板之间，所述上第一环形凸台靠近所述上第二环形板的一端与所述上第二环形板相贴合，且所述上第一环形凸台的侧壁与所述上第二压环的内侧壁之间设置有上第二环形活动间隙，所述上第二环形凸台的侧壁与所述上第一压环的外侧壁之间设置有上第三环形活动间隙，所述上第二压环和所述上第一环形板均与所述上第二环形板能够拆卸地连接；

上第三密封圈，所述上第一压环与所述外套管之间具有上环形间隙，所述上第三密封圈设置于所述上环形间隙内，以密封所述上环形间隙，所述上第三密封圈与所述上第二密封圈相对设置，且二者相对的两个端面相抵；

所述下第二环形板上设置有与所述环形夹层相连通的进液通道，所述上第二环形板上设置有与所述环形夹层相连通的排液通道。

2.根据权利要求1所述的晶体生长炉炉体，其特征在于，还包括下第五密封圈和上第四密封圈，所述下第二环形板远离所述下第一环形板的一端还设置有下第一环形凹槽，所述下第五密封圈设置于所述第一环形凹槽内，且所述下第五密封圈与所述下第一压环和/或所述下第一环形凸台相抵；所述上第二环形板远离所述上第一环形板的一端还设置有上第一环形凹槽，所述上第四密封圈设置于所述第一环形凹槽内，且所述上第四密封圈与所述上第一压环和/或所述上第一环形凸台相抵。

3.根据权利要求1所述的晶体生长炉炉体，其特征在于，所述下第二压环和所述下第二环形板之间通过下第一螺栓能够拆卸地连接，所述下第一环形板和所述下第二环形板之间通过下第二螺栓能够拆卸地连接；所述上第二压环和所述上第二环形板之间通过上第一螺栓能够拆卸地连接，所述上第一环形板和所述上第二环形板之间通过上第二螺栓能够拆卸地连接。

4.根据权利要求1所述的晶体生长炉炉体，其特征在于，所述外套管采用聚甲基丙烯酸甲酯材料制成，所述内套管采用石英材料制成。

5.根据权利要求1所述的晶体生长炉炉体，其特征在于，所述下第一压环的内侧壁倾斜设置，且下第一压环远离所述下第二环形板的一端到其自身轴线的距离小于所述下第一压环靠近所述下第二环形板的一端到其自身轴线之间的距离；所述上第一压环的内侧壁倾斜设置，且上第一压环远离所述上第二环形板的一端到其自身轴线的距离小于所述上第一压环靠近所述上第二环形板的一端到其自身轴线之间的距离。

6.一种晶体生长炉，其特征在于，包括：如权利要求1-5任一项所述的晶体生长炉炉体，还包括：上炉盖、下炉盖和多个连接柱，所述上炉盖和所述下炉盖分别用于封堵所述内套管的顶端和底端，所述上炉盖与所述上第一环形板能够拆卸地连接，所述下炉盖与所述下第一环形板能够拆卸地连接，全部所述连接柱沿所述夹套管的周向均匀设置，各个所述连接柱的顶端均与所述上第二环形板能够拆卸地连接，各个所述连接柱的底端均与所述下第一环形板能够拆卸地连接。

7.根据权利要求6所述的晶体生长炉，其特征在于，还包括上第五密封圈和下第六密封圈，所述上炉盖靠近所述上第一环形板的一端设置有上第二环形凹槽，所述上第五密封圈设置于所述上第二环形凹槽内，且所述上第五密封圈的一端与所述上炉盖相抵；所述下炉盖靠近所述下第一环形板的一端设置有下第二环形凹槽，所述下第六密封圈设置于所述下第二环形凹槽内，且所述下第六密封圈的一端与所述下炉盖相抵。

8.根据权利要求7所述的晶体生长炉，其特征在于，所述上第二环形凹槽的截面为正梯形，所述上第五密封圈嵌设于所述上第二环形凹槽内，所述下第二环形凹槽为倒梯形，所述下第六密封圈嵌设于所述下第二环形凹槽内。

9.根据权利要求6所述的晶体生长炉，其特征在于，所述下炉盖和所述下第一环形板之间通过下第三螺栓能够拆卸地连接；所述上炉盖和所述上第一环形板之间通过上第三螺栓能够拆卸地连接。

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