CN218666260U - 一种节能型磁控溅射镀膜机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种节能型磁控溅射镀膜机，涉及镀膜机技术领域。本实用新型包括底座和加工箱，加工箱焊接在底座上表面，加工箱内表面焊接有转动套筒，转动套筒内表面嵌合有转动轴，转动轴上表面焊接有转动板，转动板上表面焊接有若干伸缩杆，伸缩杆上表面焊接有升降板，升降板内表面设置有移动槽，移动槽内表面嵌合有移动板，移动板外表面焊接有固定夹板，移动槽内表面安装有螺纹杆。本实用新型通过旋转转动块，带动螺纹杆进行旋转，然后利用螺纹杆外表面与螺纹套筒内表面之间的螺纹连接，从而带动移动板在移动槽内部进行定向滑动，从而方便带动固定夹板进行移动，从而方便对不同尺寸的薄膜的进行固定，从而方便对薄膜进行加工。

Description

一种节能型磁控溅射镀膜机

技术领域

本实用新型属于镀膜机技术领域，特别是涉及一种节能型磁控溅射镀膜机。

背景技术

现有的磁控溅射镀膜机在进行溅射加工时，由于薄膜的位置为固定，在进行溅射加工容易造成薄膜不均匀的问题；而且在对不同尺寸的薄膜溅射加工时不方便对其进行固定，不方便对薄膜进行加工。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种节能型磁控溅射镀膜机，解决现有的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：

本实用新型为一种节能型磁控溅射镀膜机，包括底座和加工箱，所述加工箱焊接在底座上表面，所述加工箱内表面焊接有转动套筒，所述转动套筒内表面嵌合有转动轴，所述转动轴上表面焊接有转动板，所述转动板上表面焊接有若干伸缩杆，所述伸缩杆上表面焊接有升降板，所述升降板内表面设置有移动槽，所述移动槽内表面嵌合有移动板，所述移动板外表面焊接有固定夹板，所述移动槽内表面安装有螺纹杆，所述移动板内表面焊接有螺纹套筒，所述螺纹杆外表面与螺纹套筒内表面螺纹连接，所述螺纹杆外表面焊接有转动块，通过旋转转动块，带动螺纹杆进行旋转，然后利用螺纹杆外表面与螺纹套筒内表面之间的螺纹连接，从而带动移动板在移动槽内部进行定向滑动，从而方便带动固定夹板进行移动，从而方便对不同尺寸的薄膜的进行固定，从而方便对薄膜进行加工。

优选地，所述转动轴下表面焊接有传动锥齿轮，所述底座下表面焊接有电机座，所述电机座下表面焊接有转动电机，所述转动电机输出端安装有动力锥齿轮，所述动力锥齿轮与传动锥齿轮啮合，通过控制转动电机，带动动力锥齿轮旋转，利用动力锥齿轮与传动锥齿轮之间的啮合，从而带动转动轴进行转动，同时利用限位转块外表面与限位框架内表面之间的滑动连接，从而带动转动板进行旋转，从而方便带动薄膜进行旋转，然后通过控制溅射靶，从而方便对薄膜进行均匀的溅射加工。

优选地，所述加工箱内表面焊接有限位框架，所述转动板下表面焊接有限位转块，所述限位转块嵌合在限位框架内表面。

优选地，所述底座上表面焊接有若干液压杆，所述液压杆上表面焊接有顶板，所述底座下表面焊接有若干支撑腿，所述顶板下表面焊接有移动箱，所述移动箱内表面焊接有溅射靶。

本实用新型具有以下有益效果：

本实用新型通过控制转动电机，带动动力锥齿轮旋转，利用动力锥齿轮与传动锥齿轮之间的啮合，从而带动转动轴进行转动，同时利用限位转块外表面与限位框架内表面之间的滑动连接，从而带动转动板进行旋转，从而方便带动薄膜进行旋转，然后通过控制溅射靶，从而方便对薄膜进行均匀的溅射加工。

本实用新型通过旋转转动块，带动螺纹杆进行旋转，然后利用螺纹杆外表面与螺纹套筒内表面之间的螺纹连接，从而带动移动板在移动槽内部进行定向滑动，从而方便带动固定夹板进行移动，从而方便对不同尺寸的薄膜的进行固定，从而方便对薄膜进行加工。

当然，实施本实用新型的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型的主视结构示意图；

图3为本实用新型的左视结构示意图；

图4为图3中A-A剖面结构示意图；

图5为本实用新型的仰视结构示意图。

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

1、底座；2、加工箱；3、转动套筒；4、转动轴；5、转动板；6、伸缩杆；7、升降板；8、移动槽；9、螺纹杆；10、移动板；11、螺纹套筒；12、固定夹板；13、转动块；14、传动锥齿轮；15、电机座；16、转动电机；17、动力锥齿轮；18、限位框架；19、限位转块；20、液压杆；21、顶板；22、移动箱；23、溅射靶；24、支撑腿。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“中”、“外”、“内”等指示方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的组件或元件必须具有特定的方位，以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

如图所示，本实用新型为一种节能型磁控溅射镀膜机，包括底座1和加工箱2，加工箱2焊接在底座1上表面，加工箱2内表面焊接有转动套筒3，转动套筒3内表面嵌合有转动轴4，转动轴4上表面焊接有转动板5，转动板5上表面焊接有若干伸缩杆6，伸缩杆6上表面焊接有升降板7，升降板7内表面设置有移动槽8，移动槽8内表面嵌合有移动板10，移动板10外表面焊接有固定夹板12，移动槽8内表面安装有螺纹杆9，移动板10内表面焊接有螺纹套筒11，螺纹杆9外表面与螺纹套筒11内表面螺纹连接，螺纹杆9外表面焊接有转动块13，通过旋转转动块13，带动螺纹杆9进行旋转，然后利用螺纹杆9外表面与螺纹套筒11内表面之间的螺纹连接，从而带动移动板10在移动槽8内部进行定向滑动，从而方便带动固定夹板12进行移动，从而方便对不同尺寸的薄膜的进行固定，从而方便对薄膜进行加工。

其中，转动轴4下表面焊接有传动锥齿轮14，底座1下表面焊接有电机座15，电机座15下表面焊接有转动电机16，转动电机16输出端安装有动力锥齿轮17，动力锥齿轮17与传动锥齿轮14啮合。

其中，加工箱2内表面焊接有限位框架18，转动板5下表面焊接有限位转块19，限位转块19嵌合在限位框架18内表面。

其中，底座1上表面焊接有若干液压杆20，液压杆20上表面焊接有顶板21，底座1下表面焊接有若干支撑腿24，顶板21下表面焊接有移动箱22，移动箱22内表面焊接有溅射靶23。

本实用新型为一种节能型磁控溅射镀膜机，其中转动电机16的型号为Y80S2-2，首先将薄膜放置在升降板7，然后通过旋转转动块13，带动螺纹杆9进行旋转，然后利用螺纹杆9外表面与螺纹套筒11内表面之间的螺纹连接，从而带动移动板10在移动槽8内部进行定向滑动，从而方便带动固定夹板12进行移动，从而对不同尺寸的薄膜的进行固定，然后通过控制转动电机16，带动动力锥齿轮17旋转，利用动力锥齿轮17与传动锥齿轮14之间的啮合，从而带动转动轴4进行转动，同时利用限位转块19外表面与限位框架18内表面之间的滑动连接，从而带动转动板5进行旋转，从而方便带动薄膜进行旋转，然后通过控制溅射靶23，从而方便对薄膜进行均匀的溅射加工。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上公开的本实用新型优选实施例只是用于帮助阐述本实用新型。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本实用新型。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。

Claims (7)

1.一种节能型磁控溅射镀膜机，包括底座(1)和加工箱(2)，其特征在于：所述加工箱(2)焊接在底座(1)上表面，所述加工箱(2)内表面焊接有转动套筒(3)，所述转动套筒(3)内表面嵌合有转动轴(4)，所述转动轴(4)转动轴(4)上表面焊接有转动板(5)，所述转动板(5)上表面焊接有若干伸缩杆(6)，所述伸缩杆(6)上表面焊接有升降板(7)，所述升降板(7)内表面设置有移动槽(8)，所述移动槽(8)内表面嵌合有移动板(10)，所述移动板(10)外表面焊接有固定夹板(12)，所述移动槽(8)内表面安装有螺纹杆(9)。

2.根据权利要求1所述的一种节能型磁控溅射镀膜机，其特征在于，所述移动板(10)内表面焊接有螺纹套筒(11)，所述螺纹杆(9)外表面与螺纹套筒(11)内表面螺纹连接，所述螺纹杆(9)外表面焊接有转动块(13)。

3.根据权利要求1所述的一种节能型磁控溅射镀膜机，其特征在于，所述转动轴(4)下表面焊接有传动锥齿轮(14)，所述底座(1)下表面焊接有电机座(15)，所述电机座(15)下表面焊接有转动电机(16)。

4.根据权利要求3所述的一种节能型磁控溅射镀膜机，其特征在于，所述转动电机(16)输出端安装有动力锥齿轮(17)，所述动力锥齿轮(17)与传动锥齿轮(14)啮合。

5.根据权利要求1所述的一种节能型磁控溅射镀膜机，其特征在于，所述加工箱(2)内表面焊接有限位框架(18)，所述转动板(5)下表面焊接有限位转块(19)，所述限位转块(19)嵌合在限位框架(18)内表面。

6.根据权利要求1所述的一种节能型磁控溅射镀膜机，其特征在于，所述底座(1)上表面焊接有若干液压杆(20)，所述液压杆(20)上表面焊接有顶板(21)，所述底座(1)下表面焊接有若干支撑腿(24)。

7.根据权利要求6所述的一种节能型磁控溅射镀膜机，其特征在于，所述顶板(21)下表面焊接有移动箱(22)，所述移动箱(22)内表面焊接有溅射靶(23)。

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