CN218658095U - 一种亚纳米级离子束抛光设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种亚纳米级离子束抛光设备，属于抛光设备技术领域，该亚纳米级离子束抛光设备包括离子束抛光设备本体，离子束抛光设备本体的一端固定连接有电机，电机的输出端活动贯穿离子束抛光设备本体的一侧内壁并向内延伸，在需要更换基板时，可以通过快拆机构将套壳从连接块的外表面抽出，从而便可以将基板进行更换，而在需要将不同的基板安装至电机的输出端时，可以反向操作上述步骤，而后通过连接机构便可以将套壳固定在连接块的外表面，进而实现基板的快速更换，进而提高基板的多批次的快速抛光，进而提高离子束抛光设备本体本身的抛光效率。

Description

一种亚纳米级离子束抛光设备

技术领域

本实用新型属于抛光设备技术领域，具体涉及一种亚纳米级离子束抛光设备。

背景技术

抛光是指利用机械、化学或电化学的作用，使工件表面粗糙度降低，以获得光亮、平整表面的加工方法。是利用抛光工具和磨料颗粒或其他抛光介质对工件表面进行的修饰加工。

授权公开号“CN210549947U”记载了“本实用新型涉及到电镀技术领域，尤其涉及一种离子束抛光设备。该离子束抛光设备使用真空泵将真空室获得一定真空度。打开离子源将冲入真空室内的惰性气体氩气电离形成等离子体，然后由栅极将离子呈束状引出并加速，对基板进行抛光。电机带动基板旋转，提高抛光的均匀性。在打开离子源的同时打开中和器避免电荷在基板上聚集而产生对后续离子的排斥作用。使用离子束抛光设备可用得到超光滑表面。不仅可用提高抛光质量，而且大大提高了抛光效率，提高了抛光的均匀性和稳定性。此外，该离子束抛光设备结构简单，不仅可用提高抛光质量，而且大大提高了抛光效率，提高了抛光的均匀性和稳定性，适合推广使用。”

上述专利可以利用较为简单的结构以提高抛光质量和对基板的抛光的效率，但上述专利基板是固定在电机的输出轴上的，其本身的不能或难以拆卸的，相对的安装也较为不便，进而不利于多个基板的依次快速的更换抛光，进而影响基板的抛光效率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种亚纳米级离子束抛光设备，旨在解决现有技术中基板是固定在电机的输出轴上的，其本身的不能或难以拆卸的，相对的安装也较为不便，进而不利于多个基板的依次快速的更换抛光，进而影响基板的抛光效率的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种亚纳米级离子束抛光设备，包括：

离子束抛光设备本体，所述离子束抛光设备本体的一端固定连接有电机，所述电机的输出端活动贯穿离子束抛光设备本体的一侧内壁并向内延伸，且电机的输出端固定连接有连接块；

基板，所述基板可拆卸连接于电机的输出端；

套壳，所述套壳固定连接于基板的一端，且套壳套设于连接块的外表面；以及

两组连接机构，每组所述连接机构均由放置槽、卡接弹簧、卡接块和卡接槽组成，所述放置槽开设于连接块的一端，所述卡接弹簧固定连接于放置槽的一侧内壁，所述卡接槽开设于连接块和套壳的一端，所述卡接块固定连接于卡接弹簧的一端，且卡接块活动卡接于卡接槽内。

作为本实用新型一种优选的方案，还包括两组快拆机构，每组所述快拆机构均由拆卸板、拆卸杆和复位弹簧组成，所述复位弹簧固定连接于套壳的一端，所述拆卸板固定连接于复位弹簧的一端，所述拆卸杆固定连接于拆卸板的一端。

作为本实用新型一种优选的方案，所述套壳的一端固定连接有稳定杆，所述拆卸板的一端开设有稳定孔，且拆卸板通过稳定孔滑动连接于稳定杆的圆周表面。

作为本实用新型一种优选的方案，所述连接块的一端固定连接有加紧弹簧，所述加紧弹簧的一端固定连接有加紧板。

作为本实用新型一种优选的方案，所述稳定杆的一端固定连接有防脱板，所述放置槽的一侧内壁固定连接有伸缩杆，所述卡接弹簧套设于伸缩杆的圆周表面。

作为本实用新型一种优选的方案，所述放置槽的一侧内壁开设有稳定槽，所述卡接块的一端固定连接有稳定块，所述稳定块滑动连接于稳定槽内。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本方案中，在需要更换基板时，可以通过快拆机构将套壳从连接块的外表面抽出，从而便可以将基板进行更换，而在需要将不同的基板安装至电机的输出端时，可以反向操作上述步骤，而后通过连接机构便可以将套壳固定在连接块的外表面，进而实现基板的快速更换，进而提高基板的多批次的快速抛光，进而提高离子束抛光设备本体本身的抛光效率。

2、本方案中，通过伸缩杆可以防止卡接弹簧发生弯曲形变，进而提高卡接弹簧的使用寿命和稳定性，而通过防脱板可以防止拆卸板过度滑动而导致的损坏，进而提高本装置的使用稳定性。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1为本实用新型中的主视立体图；

图2为本实用新型中的俯剖立体图；

图3为本实用新型中的图2中A处的局部放大图。

图中：1、离子束抛光设备本体；2、电机；3、基板；4、套壳；5、复位弹簧；6、稳定杆；7、稳定孔；8、防脱板；9、拆卸板；10、拆卸杆；11、连接块；12、放置槽；13、稳定块；14、卡接块；15、卡接弹簧；16、伸缩杆；17、加紧弹簧；18、加紧板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例1

请参阅图1-3，本实用新型提供以下技术方案：

一种亚纳米级离子束抛光设备，包括：

离子束抛光设备本体1，离子束抛光设备本体1的一端固定连接有电机2，电机2的输出端活动贯穿离子束抛光设备本体1的一侧内壁并向内延伸，且电机2的输出端固定连接有连接块11；

基板3，基板3可拆卸连接于电机2的输出端；

套壳4，套壳4固定连接于基板3的一端，且套壳4套设于连接块11的外表面；以及

两组连接机构，每组连接机构均由放置槽12、卡接弹簧15、卡接块14和卡接槽组成，放置槽12开设于连接块11的一端，卡接弹簧15固定连接于放置槽12的一侧内壁，卡接槽开设于连接块11和套壳4的一端，卡接块14固定连接于卡接弹簧15的一端，且卡接块14活动卡接于卡接槽内；

还包括两组快拆机构，每组快拆机构均由拆卸板9、拆卸杆10和复位弹簧5组成，复位弹簧5固定连接于套壳4的一端，拆卸板9固定连接于复位弹簧5的一端，拆卸杆10固定连接于拆卸板9的一端。

在本实用新型的具体实施例中，在需要将基板3进行更换时，可以按压拆卸板9使其靠近套壳4的一端，并同步挤压拆卸杆10使其将卡接块14推离卡接槽并推回放置槽12内部，这时便可以将套壳4从连接块11的外部抽出，进而提高基板3的拆卸便捷性，且通过复位弹簧5还可以将拆卸板9以及拆卸杆10复位，进而提高拆卸杆10的二次使用便捷性，而在需要再次安装基板3时，可以反向操作上述步骤，并将套壳4盖接至连接块11的外表面，而后这时通过放置槽12一侧内壁的卡接弹簧15的弹性扩张，便可以将卡接块14向外推送，进而使得卡接块14可以再次卡接至卡接槽内，进而将基板3安装至电机2的输出端，这时通过离子束抛光设备本体1便可以再次对不同的基板3进行抛光处理，通过这样的设计可以使得基板3的更换更加简单，进而提高不同基板3的抛光速度，进而提高离子束抛光设备本体1的使用效率，需要进行说明的是：具体使用何种型号的电机2由熟悉本领域的相关技术人员自行选择，且以上关于电机2等均属于现有技术，本方案不做赘述。

具体的请参阅图2，套壳4的一端固定连接有稳定杆6，拆卸板9的一端开设有稳定孔7，且拆卸板9通过稳定孔7滑动连接于稳定杆6的圆周表面，，连接块11的一端固定连接有加紧弹簧17，加紧弹簧17的一端固定连接有加紧板18。

本实施例中：在拆卸板9进行移动时，可以通过稳定孔7在稳定杆6的圆周表面进行滑动，进而提高拆卸板9的移动垂直性和稳定性，而通过加紧弹簧17的弹性扩张，可以将加紧板18向外推送，从而使得基板3和连接块11的连接更加紧密。

具体的请参阅图3，稳定杆6的一端固定连接有防脱板8，放置槽12的一侧内壁固定连接有伸缩杆16，卡接弹簧15套设于伸缩杆16的圆周表面，放置槽12的一侧内壁开设有稳定槽，卡接块14的一端固定连接有稳定块13，稳定块13滑动连接于稳定槽内。

本实施例中：通过防脱板8可以防止拆卸板9过度滑动而导致的损坏，而通过伸缩杆16可以防止卡接弹簧15发生弯曲形变，进而提高卡接弹簧15的使用稳定性和使用寿命，而在卡接块14移动的过程中，可以同步带动稳定块13在稳定槽内滑动，进而来防止卡接块14过度移动。

本实用新型的工作原理及使用流程：在需要将基板3进行更换时，可以按压拆卸板9和拆卸杆10使其将卡接块14推离卡接槽并推回放置槽12内部，这时便可以将套壳4从连接块11的外部抽出，而在需要再次安装基板3时，可以将套壳4盖接至连接块11的外表面，而后这时通过放置槽12一侧内壁的卡接弹簧15的弹性扩张，便可以将卡接块14向外推送，进而使得卡接块14可以再次卡接至卡接槽内，进而将基板3安装至电机2的输出端，这时通过离子束抛光设备本体1便可以再次对不同的基板3进行抛光处理。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种亚纳米级离子束抛光设备，其特征在于，包括：

离子束抛光设备本体(1)，所述离子束抛光设备本体(1)的一端固定连接有电机(2)，所述电机(2)的输出端活动贯穿离子束抛光设备本体(1)的一侧内壁并向内延伸，且电机(2)的输出端固定连接有连接块(11)；

基板(3)，所述基板(3)可拆卸连接于电机(2)的输出端；

套壳(4)，所述套壳(4)固定连接于基板(3)的一端，且套壳(4)套设于连接块(11)的外表面；以及

两组连接机构，每组所述连接机构均由放置槽(12)、卡接弹簧(15)、卡接块(14)和卡接槽组成，所述放置槽(12)开设于连接块(11)的一端，所述卡接弹簧(15)固定连接于放置槽(12)的一侧内壁，所述卡接槽开设于连接块(11)和套壳(4)的一端，所述卡接块(14)固定连接于卡接弹簧(15)的一端，且卡接块(14)活动卡接于卡接槽内。

2.根据权利要求1所述的一种亚纳米级离子束抛光设备，其特征在于，还包括两组快拆机构，每组所述快拆机构均由拆卸板(9)、拆卸杆(10)和复位弹簧(5)组成，所述复位弹簧(5)固定连接于套壳(4)的一端，所述拆卸板(9)固定连接于复位弹簧(5)的一端，所述拆卸杆(10)固定连接于拆卸板(9)的一端。

3.根据权利要求2所述的一种亚纳米级离子束抛光设备，其特征在于，所述套壳(4)的一端固定连接有稳定杆(6)，所述拆卸板(9)的一端开设有稳定孔(7)，且拆卸板(9)通过稳定孔(7)滑动连接于稳定杆(6)的圆周表面。

4.根据权利要求3所述的一种亚纳米级离子束抛光设备，其特征在于，所述连接块(11)的一端固定连接有加紧弹簧(17)，所述加紧弹簧(17)的一端固定连接有加紧板(18)。

5.根据权利要求4所述的一种亚纳米级离子束抛光设备，其特征在于，所述稳定杆(6)的一端固定连接有防脱板(8)，所述放置槽(12)的一侧内壁固定连接有伸缩杆(16)，所述卡接弹簧(15)套设于伸缩杆(16)的圆周表面。

6.根据权利要求5所述的一种亚纳米级离子束抛光设备，其特征在于，所述放置槽(12)的一侧内壁开设有稳定槽，所述卡接块(14)的一端固定连接有稳定块(13)，所述稳定块(13)滑动连接于稳定槽内。

Images