CN218621012U - 一种真空镀膜腔室 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及真空镀膜的技术领域，公开了一种真空镀膜腔室，通过设置腔室本体、底板、圆台、旋转电机、加热元件、可调节支架，腔室本体位于底板上方，与底板可拆卸连接，用于对腔室本体内部的结构进行替换或者调整。旋转电机安装于底板底部，圆台安装于底板上方，旋转电机用于驱动圆台旋转。加热元件设置在底板上方，用于镀膜结束后对腔室内部进行加热稳固。可调节支架用于安装需要镀膜的工件，可调节支架与圆台可拆卸连接，用于对工件进行替换或调整，同时圆台旋转也使得可调节支架上的工件受热更均匀。

Description

一种真空镀膜腔室

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜的技术领域，尤其是一种真空镀膜腔室。

背景技术

真空镀膜设备，主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

目前，现有的真空镀膜腔体中往往采用固定可调节支架来支撑工件，只能适用一种尺寸的工件，无法适应不同尺寸的工件，适用范围小且镀膜效率低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种真空镀膜腔室，旨在解决现有技术中真空镀膜腔室适用范围小且镀膜效率低的问题。

本实用新型是这样实现的，一种真空镀膜腔体，包括腔室本体、底板、圆台、旋转电机、加热元件、可调节支架，腔室本体位于底板上方，腔室本体与底板可拆卸连接；旋转电机安装于底板底部，圆台安装于底板上方，旋转电机用于驱动圆台旋转；加热元件设置在底板上方，加热元件用于对腔室本体内部进行加热；可调节支架用于安装镀膜工件，可调节支架与圆台可拆卸连接。

优选的，圆台固定设置有至少一个安装柱，安装柱的外表面设置有外螺纹。

优选的，可调节支架包括第一安装杆、第一安装架、第二安装杆、第二安装架，第二安装杆两端均开设有内螺纹，第二安装杆上的内螺纹的高度与安装柱外表面的外螺纹高度相同，且第二安装杆上的内螺纹的螺距与安装柱的外螺纹螺距相同；第一安装杆两端均开设有外螺纹，第一安装杆的外螺纹与第二安装杆上内螺纹配合安装。

优选的，第一安装架与第二安装架均呈圆盘状结构，第一安装架通过螺栓安装在第一安装杆上，第二安装架通过螺栓安装在第二安装杆上；第一安装架以及第二安装架上等距离呈环形结构分布的安装孔，安装孔用于配合工件安装；可调节支架还包括至少一个定位装置，每一个定位装置与安装孔相配合，定位装置用于对镀膜工件进行限位。

优选的，定位装置包括定位板、腰孔、定位柱，腰孔位于定位板的一端，定位柱位于定位板另一端，腰孔与安装孔之间通过紧固件连接。

与现有技术相比，本实用新型通过设置腔室本体、底板、圆台、旋转电机、加热元件、可调节支架，腔室本体位于底板上方，与底板可拆卸连接，用于对腔室本体内部的结构进行替换或者调整。旋转电机安装于底板底部，圆台安装于底板上方，旋转电机用于驱动圆台旋转。加热元件设置在底板上方，用于镀膜结束后对腔室内部进行加热稳固。可调节支架用于安装需要镀膜的工件，可调节支架与圆台可拆卸连接，用于对工件进行替换或调整，同时圆台旋转也使得可调节支架上的工件受热更均匀。

附图说明

图1是本实用新型实施例提供的真空镀膜腔室整体结构示意图；

图2是本实用新型实施例提供的真空镀膜腔室可调节支架4结构分解示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

本实施例的附图中相同或相似的标号对应相同或相似的部件；在本实用新型的描述中，需要理解的是，若有术语“上”、“下”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此附图中描述位置关系的用语仅用于示例性说明，不能理解为对本专利的限制，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语的具体含义。

以下结合具体实施例对本实用新型的实现进行详细的描述。

参照图1、图2所示，为本实用新型提供较佳实施例。一种真空镀膜腔室，包括腔室本体6、底板1、圆台2、旋转电机3、加热元件5、可调节支架4，腔室本体6位于底板1上方，与底板1可拆卸连接，用于对腔室本体6内部的结构进行替换或者调整。旋转电机3安装于底板1底部，圆台2安装于底板1上方，旋转电机3用于驱动圆台2旋转。加热元件5设置在底板1上方，用于镀膜结束后对腔室内部进行加热稳固。可调节支架4用于安装需要镀膜的工件，可调节支架4与圆台2可拆卸连接，用于对工件进行替换或调整，同时圆台2旋转也使得可调节支架4上的工件受热更均匀。

本实施例中，圆台2固定设置有至少一个安装柱21，安装柱21的外表面设置有外螺纹。可调节支架4包括第一安装杆41、第一安装架42、第二安装杆44、第二安装架44，第二安装杆44两端均开设有内螺纹，内螺纹的高度与安装柱21外表面的外螺纹高度相同，且内螺纹的螺距与安装柱21外螺纹螺距相同，由此第二安装杆44与安装柱21配合使得可调节支架4可从圆台2上拆卸，方便可调节支架4的更换。第一安装杆41两端均开设有外螺纹，其中，下端外螺纹与第二安装杆44上端的内螺纹相配合，使得第一安装杆41可从可调节支架4上拆卸，方便更换，同时，第二安装杆44也可拆卸更换，极大地方便了后续的调整与维护。

进一步地，第一安装架42与第二安装架44均呈圆盘状结构，第一安装架42通过螺栓安装在第一安装杆41上，第二安装架44通过螺栓安装在第二安装杆44上，其中，当第一安装架42的半径与第二安装架44的半径相等时，可以放置相同尺寸的镀膜工件；当第一安装架42的半径与第二安装架44的半径不相等时，可以放置尺寸不相同的镀膜工件，从而提高了工件适用范围。

进一步地，第一安装架41以及第二安装架44上等距离呈环形结构分布的安装孔43，安装孔43用于配合工件安装。可调节支架4还包括至少一个定位装置，每一个定位装置与安装孔43相配合，用于对工件进行限位，从而提升工件旋转镀膜时的稳定性。具体地，定位装置包括定位板46、腰孔47、定位柱48，腰孔47位于定位板46的一端，定位柱位于定位板46另一端，腰孔47与安装孔43之间通过紧固件连接，优选为螺栓连接，由此将定位装置安装于第一安装架43和第二安装架44上。当镀膜工件半径较大时，螺栓在腰孔47之间移动，以便配合工件安装，这样设置使得可调节支架4上可安装不同尺寸的镀膜工件，适用范围更广，效率更高。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种真空镀膜腔室，其特征在于，包括腔室本体、底板、圆台、旋转电机、加热元件、可调节支架，所述腔室本体位于底板上方，所述腔室本体与所述底板可拆卸连接；所述旋转电机安装于所述底板底部，所述圆台安装于所述底板上方，所述旋转电机用于驱动所述圆台旋转；所述加热元件设置在所述底板上方，所述加热元件用于对所述腔室本体内部进行加热；所述可调节支架用于安装镀膜工件，所述可调节支架与所述圆台可拆卸连接。

2.如权利要求1所述的真空镀膜腔室，其特征在于，所述圆台固定设置有至少一个安装柱，所述安装柱的外表面设置有外螺纹。

3.如权利要求2所述的真空镀膜腔室，其特征在于，所述可调节支架包括第一安装杆、第一安装架、第二安装杆、第二安装架，所述第二安装杆两端均开设有内螺纹，所述第二安装杆上的所述内螺纹的高度与所述安装柱外表面的所述外螺纹高度相同，且所述第二安装杆上的所述内螺纹的螺距与所述安装柱的所述外螺纹螺距相同；所述第一安装杆两端均开设有外螺纹，所述第一安装杆的所述外螺纹与所述第二安装杆上所述内螺纹配合安装。

4.如权利要求3所述的真空镀膜腔室，其特征在于，所述第一安装架与所述第二安装架均呈圆盘状结构，所述第一安装架通过螺栓安装在所述第一安装杆上，所述第二安装架通过螺栓安装在所述第二安装杆上；所述第一安装架以及所述第二安装架上等距离呈环形结构分布的安装孔，所述安装孔用于配合工件安装；所述可调节支架还包括至少一个定位装置，每一个所述定位装置与所述安装孔相配合，所述定位装置用于对所述镀膜工件进行限位。

5.如权利要求4所述的真空镀膜腔室，其特征在于，所述定位装置包括定位板、腰孔、定位柱，所述腰孔位于所述定位板的一端，所述定位柱位于所述定位板另一端，所述腰孔与所述安装孔之间通过紧固件连接。

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