CN218608427U - 一种电子级双氧水生产装置 - Google Patents

Abstract

一种电子级双氧水生产装置，包括反渗透机构（1），进液口与所述反渗透机构（1）的渗透液出口连通的紫外线去除TOC机构（2），进液口与所述紫外线去除TOC机构（2）的出液口连通的树脂吸附罐（3），进液口与所述树脂吸附罐（3）的出液口连通的过滤器（4）。本实用新型提供的技术方案，组合应用膜分离技术，紫外线消解除去TOC技术，树脂吸附去除有机碳和部分金属离子杂质技术，能有效地去除工业级过氧化氢水溶液中的带电离子、无机物、胶体微粒、有机物等，能得到电子级过氧化氢，加入稳定剂过滤后能稳定贮存。

Description

一种电子级双氧水生产装置

技术领域

本实用新型涉及双氧水生产技术领域，尤其是涉及一种电子级双氧水生产装置。

背景技术

双氧水水溶液又被称为双氧水，是一种生产过氧乙酸、过氧化硫脲等过氧化物的重要原料，并广泛用于医药、纺织印染，造纸漂白等行业。高浓度双氧水具有强氧化性和不稳定性，常温下为透明、无色液体，具有刺激性气味，黏度稍大于水，该物质属于甲类火灾危险品，主要特点包括助燃性、易分解产生水和氧气。

电子级过氧化氢直接影响到集成电路性能及其生产的连续性和稳定性。电子级过氧化氢水溶液一般是以工业级过氧化氢水溶液作原料，经一系列精制、净化得到。常用方法有蒸馏法、吸附法、萃取法、反渗透膜分离法、冷冻结晶法、树脂法、超滤法。采用单一单元操作对工业过氧化氢水溶液进行纯化，虽然能够提高过氧化氢水溶液的品质， 但单一的方法生产能耗大、成本高且效率低，因而多采用组合方法。

电子级过氧化氢的生产技术在不断发展过程之中，现有电子级双氧水生产系统仍需优化。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种电子级双氧水生产装置，能有效地去除工业级过氧化氢水溶液中的带电离子、无机物、胶体微粒、有机物等，尤其是能提高电子级双氧水中总有机碳的除去率，且流程相对简洁，结构紧凑。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种电子级双氧水生产装置，包括反渗透机构，进液口与所述反渗透机构的渗透液出口连通的紫外线去除TOC机构，进液口与所述紫外线去除TOC机构的出液口连通的树脂吸附罐，进液口与所述树脂吸附罐的出液口连通的过滤器。

作为进一步改进技术方案，本实用新型提供的电子级双氧水生产装置，所述反渗透机构包括第一级反渗透机构和与第一级反渗透机构串联的第二级反渗透机构；与所述第一级反渗透机构的浓缩液出口管道连接的第一控制阀，与所述第二级反渗透机构的浓缩液出口管道连接的第二控制阀。

作为进一步改进技术方案，本实用新型提供的电子级双氧水生产装置，所述树脂吸附罐包括罐体，与所述罐体底部连接的双氧水进口，与所述罐体顶部连接的双氧水出口，与所述罐体顶部连接的排气机构；所述排气机构包括与所述罐体顶部连接的阀体，设置在所述阀体下部的阀座，位于阀座上方的阀芯。

作为进一步改进技术方案，本实用新型提供的电子级双氧水生产装置，所述罐体的内壁衬有聚四氟乙烯层。

在不冲突的情况下，前述改进技术方案可以单独或组合实施。

本实用新型提供的技术方案，组合应用膜分离技术，紫外线消解除去TOC（总有机碳）技术，树脂吸附去除有机碳和部分金属离子杂质技术，能有效地去除工业级过氧化氢水溶液中的带电离子、无机物、胶体微粒、有机物等，加入稳定剂过滤后能得到导电率达到电子级过氧化氢要求，且能稳定贮存的过氧化氢水溶液。大幅度降低了生产成本。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本申请的一部分，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，但并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1为实施例中电子级双氧水生产装置的结构原理示意图；

图2为实施例中树脂吸附罐的结构示意图；

图3为图2中的Ａ部放大图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步详细的说明。

如图1所示的电子级双氧水生产装置，包括反渗透机构1，进液口与所述反渗透机构1的渗透液出口连通的紫外线去除 TOC机构2，进液口与所述紫外线去除 TOC机构2的出液口连通的树脂吸附罐3，进液口与所述树脂吸附罐3的出液口连通的过滤器4。反渗透机构1和紫外线去除 TOC机构2采购市场上的成熟产品，其中紫外线去除 TOC机构2采用波长为185 nm 的紫外光。

工作原理：反渗透机构1的反渗透膜可采用芳香聚酰胺膜、聚酰胺哌嗪膜、聚砜膜、聚氯乙烯膜等，在压力作用下，水和过氧化氢小分子物质能通过反渗透膜，而带电离子、分子量较大的无机物、胶体微粒不能通过反渗透膜，因而从反渗透机构的渗透液出口的过氧化氢溶液能有效地去除带电离子、分子量较大的无机物、胶体微粒，从而提高过氧化氢水溶液的纯度，降低导电率。紫外线去除 TOC机构2采用波长为185nm的紫外光，此能量会促使形成自由基，进而使有机物氧化为CO₂和H₂O。TOC（总有机碳）被消解除去。过氧化氢在树脂吸附罐3内通过离子交换树脂纯化，不仅可以去除有机碳，而且也可去除部分金属离子杂质。经树脂吸附罐3后的过氧化氢，加入稳定剂后，再经过滤器4过滤，能过滤掉稳定剂中的固体物。工业级过氧化氢经反渗透机构1，水和过氧化氢通过反渗透机构1的反渗透膜后进入紫外线去除TOC机构2，经波长为185nm的紫外光照射，消解除去部分TOC（总有机碳）后进入树脂吸附罐3进一步去除有机碳和部分金属离子杂质，加入稳定剂经过滤器4过滤后获得能稳定贮存的电子级双氧水。

本实用新型提供的技术方案，组合应用膜分离技术，紫外线消解除去TOC（总有机碳）技术，树脂吸附去除有机碳和部分金属离子杂质技术，能有效地去除工业级过氧化氢水溶液中的带电离子、无机物、胶体微粒、有机物等，加入稳定剂过滤后能得到导电率达到电子级过氧化氢要求，且能稳定贮存的过氧化氢水溶液。流程合理，能大幅度降低了生产成本。

如图1所示，作为其中的一个实施例，本实用新型提供的电子级双氧水生产装置，在上述基础方案的基础上，所述反渗透机构1包括第一级反渗透机构5和与第一级反渗透机构5串联的第二级反渗透机构6；与所述第一级反渗透机构5的浓缩液出口管道连接的第一控制阀7，与所述第二级反渗透机构6的浓缩液出口管道连接的第二控制阀8。第一级反渗透机构5的进液口通过管道与工业级过氧化氢来料管连通，所述第二级反渗透机构6的进液口通过管道与所述第一级反渗透机构5的渗透液出口连通，所述紫外线去除 TOC机构2的进液口与所述第二级反渗透机构6的渗透液出口连通。第一级反渗透机构5和第二级反渗透机构6的浓缩液出口管道上设有控制阀，能方便灵活调节生产，通过压力控制保障反渗透机构的反渗透压力，在稳定的反渗透压力下生产，能提高生产效率，防止反渗透机构超压运行。

如图2和图3所示，作为其中的一个实施例，本实用新型提供的电子级双氧水生产装置，所述树脂吸附罐3包括罐体9，与所述罐体9底部连接的双氧水进口10，与所述罐体9顶部连接的双氧水出口11，与所述罐体9顶部连接的排气机构；所述排气机构包括与所述罐体9顶部连接的阀体12，设置在所述阀体12下部的阀座13，位于阀座上方的阀芯14。罐体9的内壁衬有聚四氟乙烯层或喷涂有聚四氟乙烯层。

当树脂吸附罐3内的气体聚集产生压力后，阀芯14受到气体的压力作用后，克服重力作用，阀芯14被顶升，使阀座13与阀芯14之间产生间隙，罐体9内的气体排出，当气体排出降压后，阀芯14在重力的作用下下降复位。能及时将有机物被紫外线氧化产生的CO₂和双氧水分解的气体排出，有利于维持树脂吸附罐3的正常生产。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不以任何方式限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (4)

1.一种电子级双氧水生产装置，其特征在于，包括反渗透机构（1），进液口与所述反渗透机构（1）的渗透液出口连通的紫外线去除TOC机构（2），进液口与所述紫外线去除TOC机构（2）的出液口连通的树脂吸附罐（3），进液口与所述树脂吸附罐（3）的出液口连通的过滤器（4）。

2.根据权利要求1所述的电子级双氧水生产装置，其特征在于，所述反渗透机构（1）包括第一级反渗透机构（5）和与第一级反渗透机构（5）串联的第二级反渗透机构（6）；与所述第一级反渗透机构（5）的浓缩液出口管道连接的第一控制阀（7），与所述第二级反渗透机构（6）的浓缩液出口管道连接的第二控制阀（8）。

3.根据权利要求1所述的电子级双氧水生产装置，其特征在于，所述树脂吸附罐（3）包括罐体（9），与所述罐体（9）底部连接的双氧水进口（10），与所述罐体（9）顶部连接的双氧水出口（11），与所述罐体（9）顶部连接的排气机构；所述排气机构包括与所述罐体（9）顶部连接的阀体（12），设置在所述阀体（12）下部的阀座（13），位于阀座上方的阀芯（14）。

4.根据权利要求3所述的电子级双氧水生产装置，其特征在于，所述罐体（9）的内壁衬有聚四氟乙烯层。

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