CN218574443U - 一种掺镓硅片加工用清洗装置 - Google Patents
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- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 71
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 52
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 51
- 239000010703 silicon Substances 0.000 title claims abstract description 51
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims abstract description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 8
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 abstract description 19
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 17
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 abstract description 17
- 238000000926 separation method Methods 0.000 abstract description 5
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 10
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 4
- 235000017166 Bambusa arundinacea Nutrition 0.000 description 1
- 235000017491 Bambusa tulda Nutrition 0.000 description 1
- 241001330002 Bambuseae Species 0.000 description 1
- 235000015334 Phyllostachys viridis Nutrition 0.000 description 1
- 239000011425 bamboo Substances 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010865 sewage Substances 0.000 description 1
- 238000002791 soaking Methods 0.000 description 1
- 235000013547 stew Nutrition 0.000 description 1
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Abstract
本实用新型提供一种掺镓硅片加工用清洗装置，包括基座和设置在基座上的清洗模块；清洗模块包括清洗槽、排水管、控制阀、U型的安装架、伸缩推杆、设置在伸缩推杆的输出轴下端的驱动电机、设置在驱动电机的输出轴下端的竖杆、可拆卸设置在竖杆外侧壁上的放置筛槽、设置在放置筛槽中的分隔筛板和可拆卸设置在放置筛槽上端的防护筛盖。通过本实用新型的掺镓硅片加工用清洗装置，不仅能够通过具有冲击力的水流快速高效地对掺镓硅片进行清理处理、从而提高对掺镓硅片的清洗效果，而且还能快速方便地将需要进行清洗处理的掺镓硅片与清洗装置固定到一起、将完成清洗处理的掺镓硅片与清洗装置分离，从而提高对掺镓硅片的清洗效率。
Description
技术领域
本实用新型属于硅片加工技术领域，特别涉及一种掺镓硅片加工用清洗装置。
背景技术
硅片在经过一系列加工后，其表面会形成一层活跃的单晶硅原子以及其他的一些杂质，为了对这个杂质进行清理，我们需要使用到硅片清洗机。
公告号为的实用新型公开了一种硅片加工用清洗装置，包括机箱、支撑架和顶盖，支撑架的底部与机箱的顶部固定连接，顶盖的底部与支撑架的顶部固定连接，机箱的内部开设有空腔，空腔的内部固定连接有隔板，空腔的内部设置有支撑板。该硅片加工用清洗装置，当硅片清洗完成后，通过电机带动蜗杆转动，然后带动两侧的蜗轮转动，通过蜗轮在转动的过程中带动两个转动板旋转，使得转动板远离蜗轮的一侧在固定管的内部向上移动，然后带动伸缩柱在固定管的内部向上移动，通过伸缩柱推动支撑板向上移动，带动放置箱向上移动，使得放置箱移动到离清洗液面较远的位置处，然后再便于将放置箱从装置的内部取出。然而，本专利的技术方案却存在着如下缺陷：本专利的技术方案，仅能通过静置浸泡的方式对加工后的硅片进行清洗，不能利用具有冲击力的水流对硅片进行清洗，是以存在着清洗效果差的缺陷。
实用新型内容
有鉴于此，本实用新型针对现有技术的不足，提供一种掺镓硅片加工用清洗装置，不仅能够通过具有冲击力的水流快速高效地对掺镓硅片进行清理处理、从而提高对掺镓硅片的清洗效果，而且还能快速方便地将需要进行清洗处理的掺镓硅片与清洗装置固定到一起、将完成清洗处理的掺镓硅片与清洗装置分离，从而提高对掺镓硅片的清洗效率。
为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种掺镓硅片加工用清洗装置，包括基座和设置在基座上的清洗模块；清洗模块包括通过支撑杆设置在基座顶部且上端开口的清洗槽、设置在清洗槽底部的排水管、设置在排水管上的控制阀、设置在基座顶部且横跨清洗槽的U型的安装架、设置在安装架顶部底壁上的伸缩推杆、设置在伸缩推杆的输出轴下端的驱动电机、设置在驱动电机的输出轴下端的竖杆、可拆卸设置在竖杆外侧壁上的放置筛槽、设置在放置筛槽中的分隔筛板和可拆卸设置在放置筛槽上端的防护筛盖。
进一步的，竖杆的侧端设置有连接筒，放置筛槽的外侧壁上设置有能够与连接筒卡接固定的连接杆，连接筒上设置有用于对连接杆进行固定的第一手拧螺栓。通过连接筒、连接杆、第一手拧螺栓的配合，能够灵活且方便地实现放置筛槽与竖杆的连接和拆卸。
进一步的，防护筛盖与放置筛槽卡接固定，防护筛盖上设置有用于对防护筛盖进行固定的第二手拧螺栓。通过第二手拧螺栓，能够方便地实现防护筛盖与放置筛槽的灵活连接和拆卸。
进一步的，防护筛盖的侧端预制有与第二手拧螺栓相适配的紧固筒。通过紧固筒，能够使得地第二手拧螺栓与防护筛盖的连接处具有更好的连接牢固性，从而提高对防护筛盖与放置筛槽的连接处的连接牢固性。
进一步的，防护筛盖上还设置有提手。通过提手，能够使得用户方便地对防护筛盖、放置筛槽、储存在放置筛槽中的掺镓硅片进行移动。
进一步的，提手上还设置有防滑套。通过防滑套，能够方便地对提手进行操作。
进一步的，清洗槽的下端内侧壁上设置有与排水管相适配的出水导引斗。通过出水导引斗，能够更快速、彻底地将清洗槽中的对掺镓硅片进行了清洗处理后的污水排出。
进一步的，基座的底部拐角处还设置有支撑腿，支撑腿的底部还设置有行走轮，支撑腿的侧端还设置有延伸板，延伸板上还设置有用来与地面进行固定的地脚螺栓。通过行走轮，用户能够省时省力地将装置移动到合适的位置，之后可以使得地脚螺栓穿过延伸板并与地面相连接，从而避免装置轻易地发生偏移；随后需要再次移动装置时，只需先使得地脚螺栓与地面分离即可。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：通过基座、清洗槽、排水管、控制阀、安装架、伸缩推杆、驱动电机、竖杆、放置筛槽、分隔筛板和防护筛盖的配合，不仅能够通过具有冲击力的水流快速高效地对掺镓硅片进行清理处理、从而提高对掺镓硅片的清洗效果，而且还能快速方便地将需要进行清洗处理的掺镓硅片与清洗装置固定到一起、将完成清洗处理的掺镓硅片与清洗装置分离，从而提高对掺镓硅片的清洗效率。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为本实用新型的紧固筒的结构示意图；
图3为本实用新型的提手的结构示意图；
图4为本实用新型的防滑套的结构示意图。
图中：101、基座；102、支撑腿；103、行走轮；104、延伸板；105、地脚螺栓；201、支撑杆；202、清洗槽；203、排水管；204、控制阀；205、安装架；206、伸缩推杆；207、驱动电机；208、竖杆；209、放置筛槽；210、分隔筛板；211、防护筛盖；212、连接筒；213、连接杆；214、第一手拧螺栓；215、第二手拧螺栓；216、紧固筒；217、提手；218、防滑套；219、出水导引斗。
具体实施方式
为了更好地理解本实用新型，下面结合实施例进一步清楚阐述本实用新型的内容，但本实用新型的保护内容不仅仅局限于下面的实施例。在下文的描述中，给出了大量具体的细节以便提供对本实用新型更为彻底的理解。然而，对于本领域技术人员来说显而易见的是，本实用新型可以无需一个或多个这些细节而得以实施。
如图1所示，一种掺镓硅片加工用清洗装置，包括基座101和设置在基座101上的清洗模块；清洗模块包括通过支撑杆201设置在基座101顶部且上端开口的清洗槽202、设置在清洗槽202底部的排水管203、设置在排水管203上的控制阀204、设置在基座101顶部且横跨清洗槽202的U型的安装架205、设置在安装架205顶部底壁上的伸缩推杆206、设置在伸缩推杆206的输出轴下端的驱动电机207、设置在驱动电机207的输出轴下端的竖杆208、可拆卸设置在竖杆208外侧壁上的放置筛槽209、设置在放置筛槽209中的分隔筛板210和可拆卸设置在放置筛槽209上端的防护筛盖211。
竖杆208的侧端设置有连接筒212，放置筛槽209的外侧壁上设置有能够与连接筒212卡接固定的连接杆213，连接筒212上设置有用于对连接杆213进行固定的第一手拧螺栓214。通过连接筒212、连接杆213、第一手拧螺栓214的配合，能够灵活且方便地实现放置筛槽209与竖杆208的连接和拆卸。
防护筛盖211与放置筛槽209卡接固定，防护筛盖211上设置有用于对防护筛盖211进行固定的第二手拧螺栓215。通过第二手拧螺栓215，能够方便地实现防护筛盖211与放置筛槽209的灵活连接和拆卸。
先将需要进行清洗处理的硅片卡接放置到相邻的分隔筛板210或分隔筛板210与放置筛槽209的侧壁所围成的存储空间中，之后使得防护筛盖211与放置筛槽209卡接固定到一起，并使得第二手拧螺栓215穿过防护筛盖211的侧壁且与放置筛槽209相连接，从而实现对防护筛盖211与放置筛槽209的连接处的固定，之后使得连接筒212与连接杆213卡接固定到一起，并使得第一手拧螺栓214穿过连接筒212的侧壁并与连接杆213相连接、从而实现对连接筒212与连接杆213的连接处的固定，使得放置筛槽209与竖杆208间接连接到一起。
之后便可在清洗槽中加入足量的清洗液，随后可以使得伸缩推杆206的输出轴向下伸长一定的长度，使得竖杆208的下端、多个放置筛槽209、多个掺镓硅片被一同放入到清洗槽中，并使得多个放置筛槽209、多个掺镓硅片浸没到清洗液中，之后就可以启动驱动电机207，使得竖杆208、多个放置筛槽209、多个掺镓硅片在清洗槽中进行转动，并带动清洗液进行流动、且产生冲击力，从而更好地对掺镓硅片进行清洗处理；在清洗的过程中，掺镓硅片上的杂质会在清洗液的冲击下离开掺镓硅片，并穿过放置筛槽209的筛孔、分隔筛板210的筛孔、防护筛盖211的筛孔而进入到清洗槽中。
一段时间后，完成对掺镓硅片的清洗处理之后便可使得伸缩推杆206的输出轴向上缩短一定的长度，使得竖杆208、多个放置筛槽209、多个掺镓硅片移动到清洗槽的上方，之后便可松动第一手拧螺栓214、解除对连接筒212与连接杆213的连接处的固定，之后便可将放置筛槽209取下；之后只需松动第二手拧螺栓215、解除对连接筒212与连接杆213的连接处的固定，打开防护筛盖211，将完成清洗处理的掺镓硅片从放置筛槽209中取出。
需要对清洗槽中的混杂有杂质的清洗液进行清理时，只需打开控制阀204，便可通过污化的清洗液离开清洗槽。
根据本实用新型的另一个实施例，如图2所示，防护筛盖211的侧端预制有与第二手拧螺栓215相适配的紧固筒216。通过紧固筒216，能够使得地第二手拧螺栓215与防护筛盖211的连接处具有更好的连接牢固性，从而提高对防护筛盖211与放置筛槽209的连接处的连接牢固性。
根据本实用新型的另一个实施例，如图3所示，防护筛盖211上还设置有提手217。通过提手217，能够使得用户方便地对防护筛盖211、放置筛槽209、储存在放置筛槽209中的掺镓硅片进行移动。提手217上还设置有防滑套218。通过防滑套218，能够方便地对提手217进行操作。
根据本实用新型的另一个实施例，如图4所示，清洗槽202的下端内侧壁上设置有与排水管203相适配的出水导引斗219。通过出水导引斗219，能够更快速、彻底地将清洗槽202中的对掺镓硅片进行了清洗处理后的污水排出。
根据本实用新型的另一个实施例，如图1所示，基座101的底部拐角处还设置有支撑腿102，支撑腿102的底部还设置有行走轮103，支撑腿102的侧端还设置有延伸板104，延伸板104上还设置有用来与地面进行固定的地脚螺栓105。通过行走轮103，用户能够省时省力地将装置移动到合适的位置，之后可以使得地脚螺栓105穿过延伸板104并与地面相连接，从而避免装置轻易地发生偏移；随后需要再次移动装置时，只需先使得地脚螺栓105与地面分离即可。
最后说明的是，以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制，本领域普通技术人员对本实用新型的技术方案所做的其他修改或者等同替换，只要不脱离本实用新型技术方案的精神和范围，均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。
Claims (7)
1.一种掺镓硅片加工用清洗装置，包括基座(101)和设置在基座(101)上的清洗模块；其特征在于：所述清洗模块包括通过支撑杆(201)设置在基座(101)顶部且上端开口的清洗槽(202)、设置在清洗槽(202)底部的排水管(203)、设置在排水管(203)上的控制阀(204)、设置在基座(101)顶部且横跨清洗槽(202)的U型的安装架(205)、设置在安装架(205)顶部底壁上的伸缩推杆(206)、设置在伸缩推杆(206)的输出轴下端的驱动电机(207)、设置在驱动电机(207)的输出轴下端的竖杆(208)、可拆卸设置在竖杆(208)外侧壁上的放置筛槽(209)、设置在放置筛槽(209)中的分隔筛板(210)和可拆卸设置在放置筛槽(209)上端的防护筛盖(211)。
2.如权利要求1所述的掺镓硅片加工用清洗装置，其特征在于：所述竖杆(208)的侧端设置有连接筒(212)，所述放置筛槽(209)的外侧壁上设置有能够与连接筒(212)卡接固定的连接杆(213)，所述连接筒(212)上设置有用于对连接杆(213)进行固定的第一手拧螺栓(214)。
3.如权利要求2所述的掺镓硅片加工用清洗装置，其特征在于：所述防护筛盖(211)与放置筛槽(209)卡接固定，所述防护筛盖(211)上设置有用于对防护筛盖(211)进行固定的第二手拧螺栓(215)。
4.如权利要求3所述的掺镓硅片加工用清洗装置，其特征在于：所述防护筛盖(211)的侧端预制有与第二手拧螺栓(215)相适配的紧固筒(216)。
5.如权利要求4所述的掺镓硅片加工用清洗装置，其特征在于：所述防护筛盖(211)上还设置有提手(217)。
6.如权利要求5所述的掺镓硅片加工用清洗装置，其特征在于：所述提手(217)上还设置有防滑套(218)。
7.如权利要求1-6任一项所述的掺镓硅片加工用清洗装置，其特征在于：所述清洗槽(202)的下端内侧壁上设置有与排水管(203)相适配的出水导引斗(219)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202222126151.4U CN218574443U (zh) | 2022-08-12 | 2022-08-12 | 一种掺镓硅片加工用清洗装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202222126151.4U CN218574443U (zh) | 2022-08-12 | 2022-08-12 | 一种掺镓硅片加工用清洗装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN218574443U true CN218574443U (zh) | 2023-03-07 |
Family
ID=85361467
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202222126151.4U Active CN218574443U (zh) | 2022-08-12 | 2022-08-12 | 一种掺镓硅片加工用清洗装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN218574443U (zh) |
-
2022
- 2022-08-12 CN CN202222126151.4U patent/CN218574443U/zh active Active
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| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
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