CN218571391U - 雾化芯和雾化设备 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种雾化芯和雾化设备，雾化芯包括基底和导电部，所述基底设有沿所述基底的厚度方向贯穿所述基底的穿孔阵列；所述导电部呈片状并铺设在所述基底上，所述导电部包括第一区域和与所述第一区域绝缘的第二区域，所述第一区域与所述穿孔阵列至少部分重叠。如此，第一区域可以加热通过穿孔阵列的油液，使得油液雾化，第二区域可以加快雾化芯其他部位的散热效率，避免雾化芯其他部位部温度过高而对雾化芯周围的零部件造成不良的影响。

Description

雾化芯和雾化设备

技术领域

本申请涉及雾化装置技术领域，更具体而言，涉及一种雾化芯和雾化设备。

背景技术

目前，电子雾化装置的应用越来越广。电子雾化装置通过雾化芯加热油液以使得油液烟雾化从而形成烟雾。在相关技术中，雾化芯包括基底和形成于基底上作为发热膜的电阻层，在大规模制造中，电阻层采用掩膜工艺形成于基底上。此种工艺中，需要使用掩膜板，使得工艺复杂且对精度要求较高，不利于降低雾化芯的生产成本。

实用新型内容

本申请实施方式提供了一种雾化芯和雾化设备。

一种雾化芯，包括：

基底，所述基底设有沿所述基底的厚度方向贯穿所述基底的穿孔阵列；

导电部，所述导电部呈片状并铺设在所述基底上，所述导电部包括第一区域和与所述第一区域绝缘的第二区域，所述第一区域与所述穿孔阵列至少部分重叠。

在某些实施方式中，所述导电部上形成有第一绝缘槽，所述第一绝缘槽将所述导电部划分为第一区域和第二区域，所述第一绝缘槽穿过所述穿孔阵列。

在某些实施方式中，所述第一绝缘槽包括第一槽和第二槽，所述第一槽和所述第二槽间隔设置并均穿过所述穿孔阵列，所述第一区域位于所述第一槽和所述第二槽之间。

在某些实施方式中，所述第一区域上布置有电极，所述电极与所述第一区域电连接。

在某些实施方式中，所述第一区域包括加热区和与所述加热区连接的接电区，所述接电区位于所述穿孔阵列外，所述加热区与所述穿孔阵列至少部分重叠，所述电极布置在所述接电区上。

在某些实施方式中，所述第二区域设有第二绝缘槽，所述第二绝缘槽将所述第二区域划分为绝缘的第一子区和第二子区，所述第一子区对应于所述接电区，所述电极自所述接电区延伸至所述第一子区并遮盖至少部分所述第二子区。

在某些实施方式中，所述第一槽和所述第二槽均呈弧形，所述第一槽和所述第二槽关于所述穿孔阵列的长轴线对称。

在某些实施方式中，所述第一区域的电阻范围为0.5Ω-10Ω。

在某些实施方式中，所述导电部的厚度范围为100nm～100um。

在本申请实施方式的雾化设备包括上述任一实施方式所述的雾化芯。

本申请的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。

附图说明

本申请的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施方式的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是本申请实施方式的制造方法的过程示意图；

图2是本申请实施方式的制造方法的流程示意图；

图3是本申请实施方式的雾化芯的剖面示意图；

图4是本申请实施方式的制造方法的流程示意图；

图5是本申请实施方式的制造方法的过程示意图；

图6是本申请实施方式的雾化芯的中间产品的示意图；

图7是本申请实施方式的制造方法的过程示意图；

图8是本申请实施方式的制造方法的流程示意图；

图9是本申请实施方式的制造方法的过程示意图；

图10是本申请实施方式的制造方法的流程示意图；

图11是本申请实施方式的制造方法的过程示意图；

图12是本申请实施方式的制造方法的流程示意图；

图13是本申请实施方式的雾化设备的立体示意图。

主要标记说明：

雾化芯100、基板10、第一表面12、第二表面14、基体单元16、穿孔阵列18、电阻层20、导电部22、第一区域24、第二区域26、第一绝缘槽28、第一槽30、第二槽32、电极34、加热区36、接电区38、第二绝缘槽40、第一子区42、第二子区44、芯片46、基底48、雾化设备200。

具体实施方式

下面详细描述本申请的实施方式，所述实施方式的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施方式是示例性的，仅用于解释本申请，而不能理解为对本申请的限制。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本申请的不同结构。为了简化本申请的公开，下文中对特定例子的部件和设定进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本申请。此外，本申请可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设定之间的关系。此外，本申请提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。

请参阅图1-图3，本申请公开了一种雾化芯100的制造方法，该制造方法包括步骤：

S10，提供一基板10，基板10包括相背的第一表面12和第二表面14，基板10具有多个基体单元16，每个基体单元16设有贯穿第一表面12和第二表面14的穿孔阵列18；

S20，在整个第一表面12上形成电阻层20，电阻层20具有与基体单元16一一对应的导电部22；

S30，加工基体单元16上的导电部22以形成第一区域24和与第一区域24绝缘的第二区域26，第一区域24与穿孔阵列18至少部分重叠。

本申请实施方式的制造方法中，先在基板10的整个第一表面12上形成电阻层20，之后再加工电阻层20的导电部22，使得导电部22形成与穿孔阵列18至少部分重叠的第一区域24，工艺过程无需使用掩膜板，可以节约雾化芯100的生产成本。

具体地，在相关技术中，在雾化芯的制备过程中，通过掩膜板在基材的穿孔区域镀上发热膜，基材的其他区域没有发热膜，因此掩膜工艺需要精确定位，否则发热膜有可能发生偏移造成不良，此外掩膜板需要时时更换，形成相当的成本。另外掩膜板接触接触基材会增加划伤风险。

而本申请的雾化芯100的制造方法中，在基板10的整个第一表面12设置电阻层20，因此省略了采用掩膜板精准定位的工艺，制造过程简便，可以简化工艺，提高效率。

进一步地，在每个基体单元16的导电部22上加工出相互绝缘的第一区域24和第二区域26，并且使得第一区域24与穿孔阵列18至少部分重叠，使得雾化芯100在使用时，第一区域24可以加热油液，以使油液雾化，保证雾化芯100的正常使用。

具体地，在步骤S10中，可以理解，基板10可以呈平板状。基板10整体可以为方形板、圆形板等满足需求的各种形状的板。基板10可以采用蓝宝石单晶、其他单晶或多晶材料、致密陶瓷等致密材料制成，也可以采用石英玻璃、硼硅玻璃或铝硅玻璃等耐高温抗热震玻璃制成。

基板10可以根据雾化芯100的最终尺寸划分为多个基体单元16，每个基体单元16最终可以加工成一个雾化芯100。多个基体单元16可以呈矩形阵列排布，这样使得基体单元16上的穿孔阵列18加工更加方便，也有利于后续将基体单元16分割的工艺。

穿孔阵列18可以激光穿孔等玻璃穿孔技术制造得到。穿孔阵列18包括多个穿孔，每个穿孔的孔径范围1μm-100μm。可以理解，穿孔的孔径可以根据油液的粘度进行具体设计，例如，油液的粘度越大，穿孔的孔径可以设计越大，本申请的不限制穿孔的孔径的具体尺寸。

本申请实施方式中，在多个穿孔中，每个穿孔的孔径可以相等，也可以不相等。在多个穿孔的排布方式，多个穿孔可以呈矩形阵列排布，例如，多个穿孔可以排列成8行10列的方式。

在每个基体单元16中，穿孔的孔隙率可以为20％至70％。孔隙率指的是穿孔的总体积与基体单元16的总体积的比值。

在步骤S20中，电阻层20可以采用涂层或丝网印刷、气相沉积、溅射工艺或直接键合在第一表面12上。例如，可以将整版带有穿孔阵列18的基板10放入磁控溅射仪内镀膜，直接在整个第一表面12上溅射形成电阻层20，以电阻层20可以形成与基体单元16一一对应的导电部22。本申请实施方式电阻层20的加工速度可以达到1000mm/s，大幅提高了加工效率。

电阻层20可以采用金属、合金等导电并且容易发热的材料制成。例如，电阻层20的材料可以为铂、钯、钯铜合金、金银铂合金、钛锆合金、镍铬合金、金银合金、钯银合金、金铂合金等。电阻层20的厚度范围为100nm～10um。

需要指出的是，电阻层20是连续分布的，或者说，在一些例子中，在整个第一表面12上形成整个电阻层20。也即是说，在一些例子中，电阻层20连续布满整个第一表面12。

在步骤S30中，第一区域24和第二区域26可以通过去除导电部22的部分材料制得，例如，可以通过激光雕刻、机加工等方式得到。第一区域24和第二区域26绝缘，使得第一区域24在施加电压的情况下，第二区域26不会导电，保证电能的利用率。采用激光雕刻实现了与基板的无接触加工，相对于掩膜板工艺，避免了划伤风险。另外激光雕刻的精度超高，其偏离度在10微米以下，相比掩膜板工艺的100微米公差，极大的提高了发热膜的位置精度，使得发热膜与穿孔边缘保持合适的距离，不会覆盖边缘穿孔，也不会过于远离边缘穿孔，提高了雾化芯的效率的同时避免了干烧的风险。

另外，将导电部22划分为第一区域24和第二区域26，使得与穿孔阵列18至少部分重叠的第一区域24具有合适的尺寸，进而使得第一区域24的电阻值适合，通常电阻范围为0.5Ω-10Ω，有利于第一区域24在被施加电压的情况下发热。通过控制第一区域24的尺寸，可以将第一区域24的阻偏差控制在0.1Ω内。

需要指的是，第一区域24与穿孔阵列18至少部分重叠，第一区域24和穿孔阵列18具有交集，第一区域24的面积可以大于穿孔阵列18的面积，也可以小于或等于穿孔阵列18的面积。第一区域24的边界可以位于穿孔阵列18的区域内，也可以位于穿孔阵列18的区域外；或者第一区域24的部分边界位于穿孔阵列18的区域内，部分边界位于穿孔阵列18之外。

可以理解，第一区域24与穿孔阵列18重叠的部分为第一区域24的有效部分，在第一区域24被施加电压后，该有效部分可以与油液接触，以使加热油液，使得油液形成烟雾。

第一区域24和第二区域26可以为规则的形状，可以为不规则形状。例如，第一区域24和第二区域26均可以呈长方形，这样使得第一区域24和第二区域26更加容易加工得到。还有，第二区域26可以帮助雾化芯100散热，可以提高雾化芯100的散热效果。

本申请实施方式中，第一区域24的数量为一个，第二区域26的数量为两个，两个第二区域26分别位于第一区域24相对的两侧，或者说，第一区域24位于两个第二区域26之间。

当然，在其他实施方式中，第一区域24和第二区域26的数量可以其他数量。例如，第一区域24的数量可以为一个，第二区域26的数量也可以为一个，一个第一区域24与一个第二区域26并列排布；又如，第一区域24和第二区域26可以均为多个，各个区域之间绝缘设置，第一区域24位于第二区域26之间。

在第一区域24的数量可以为多个的情况下，可以对一个或多个第一区域24施加电压。

请参阅图1及图4，在某些实施方式中，加工基体单元16上的导电部22以形成第一区域24和与第一区域24绝缘的第二区域26(步骤S30)，包括：

S31，在导电部22上规划加工路径；

S32，按加工路径去除导电部22的材料以形成第一绝缘槽28，第一绝缘槽28将导电部22划分为第一区域24和第二区域26，第一绝缘槽28穿过穿孔阵列18。

如此，采用第一绝缘槽28可以有效地将第一区域24和第二区域26绝缘，避免第一区域24和第二区域26电连接，另外，第一绝缘槽28穿过穿孔阵列18，也即是说，穿孔阵列18部分位于第二区域26中，这样使得油液能充分供应而不会发生干烧。

具体的，在步骤S31中，加工路径可以通过坐标定位的方式确定，也可以通过视觉系统的方式确定。

在步骤S32中，可以采用激光雕刻的方式加工得到第一绝缘槽28，可以理解，为了使得第一区域24和第二区域26有效绝缘，第一绝缘槽28贯穿导电部22。第一绝缘槽28可以为直线槽，也可以为曲线槽，第一绝缘槽28的具体形状可以根据第一区域24和第二区域26的具体形状去确定，本申请不限制第一绝缘槽28的形状。

请参阅图5，在某些实施方式中，按加工路径去除导电部22的材料以形成第一绝缘槽28(步骤S32)，包括：

按加工路径去除导电部22的材料以形成第一槽30和第二槽32，第一槽30和第二槽32间隔设置并均穿过穿孔阵列18，第一区域24形成在第一槽30和第二槽32之间，第一绝缘槽28包括第一槽30和第二槽32。

如此，穿孔阵列18的边缘部分位于第二区域26中，或者说，穿孔阵列18部分位于第一区域24外，这样使得第一区域24的宽度适宜，保证第一区域24的电阻可以有效地发热，以加热油液。另外，穿孔阵列18部分位于第一区域24外，可以使得位于第一区域24的加热过程中均与油液接触，避免第一区域24干烧而损坏。

具体地，第一槽30和第二槽32均可以通过激光雕刻的方式形成。第一槽30和第二槽32均可以为直线槽，也可以其他形状的槽。如图5的示例中，在第一槽30和第二槽32为直线槽的情况下，第一槽30和第二槽32可以平行设置。

如图6的示例中，第一槽30和第二槽32均可以呈弧形，第一槽30和第二槽32之间区域类似椭圆形的一部分。

本申请实施方式中，第一槽30和第二槽32关于穿孔阵列18的长轴线对称，也即是说，在基板10的同一宽度方向上，第一槽30与穿孔阵列18中心的距离等于第二槽32与穿孔阵列18中心的距离。

如以上所讨论的，本申请实施方式中，第一绝缘槽28包括第一槽30和第二槽32，也是说，第一绝缘槽28的数量为两个。当然，在其他实施方式中，第一绝缘槽28的数量可以为一个，也可以为三个以上的数量，本申请不限制第一绝缘槽28的具体数量。

请参阅图7及图8，在某些实施方式中，方法还包括：

S40，在第一区域24上布置电极34。如此，电极34有利于第一区域24与外部电路连接，使得外部电路可以通过电极34向第一区域24施加电压。

具体地，电极34的数量为两个，两个电极34分别布置在第一区域24的两个端部。电极34可以采用电阻率低的金属材料，例如金银等。本申请不做具体限定。例如可以选择银作为电极34，因为银不仅导电性能良好，而且成本相对较低。

电极34可以采用涂布、溅镀等方式设置在第一区域24上。可以理解的是，电极34与第一区域24导电连接。

请参阅图7，在某些实施方式中，第一区域24包括加热区36和与加热区36连接的接电区38，接电区38位于穿孔阵列18外，加热区36与穿孔阵列18至少部分重叠；

第一区域24上布置电极34的步骤包括：

在接电区38布置电极34。

如此，电极34可以通过接电区38向加热区36施加电压，从而使得加热区36可以产生热量。具体地，加热区36与接电区38连接的一端伸出在穿孔阵列18外。本申请实施方式中，接电区38的数量为两个，每个接电区38均布置有电极34，两个接电区38分别连接在加热区36的两端。加热区36的面积大于其中一个接电区38的面积。

本申请实施方式中，接电区38的形状可以呈方形，这样使得接电区38的形状简单，容易识别，从而方便在接电区38上布置电极34，有利于提高雾化芯100的制造效率。

请参阅图9和图10，在某些实施方式中，制造方法还包括：

去除第二区域26的材料以形成第二绝缘槽40，第二绝缘槽40将第二区域26划分为绝缘的第一子区42和第二子区44，第二子区44对应于第一区域24的端部；

在第一区域24上布置电极34(步骤S40)，包括：

S41，将导电材料涂布在第一子区42和第一区域24上；

S42，固化导电材料以形成电极34。

如此，将电极34同时布置在第一子区42和第一区域24上，方便电极34的设置；同时，第二绝缘槽40可以有效地将第一子区42和第二子区44隔离，防止电极34与第第二子区44电连接，保证第一区域24的发热性能。

具体地，第一子区42作为导电部22的边界区域，将导电材料由第一子区42涂布经过第一区域24，这样无需特意设计电极34的边界，提高了导电材料的涂布效率，进而提高雾化芯100的制作效率。

由于电极34涂布在第一子区42第一区域24上，因此，电极34的宽度大于第一区域24的宽度。当然，在其他实施方式中，当电极34只涂布在第一区域24上的情况下，电极34的宽度可以与第一区域24的宽度相等，也可以小于第一区域24的宽度。

本申请实施方式中，电极34覆盖部分穿孔阵列18，从而使得与穿孔阵列18对应的第一区域24的电阻均能够与油液接触，防止电阻干烧而损坏，提高了雾化芯100的寿命。

需要指出的是，形成第二绝缘槽40的步骤可以在涂布导电材料的步骤之前执行，也可以在涂布导电材料的步骤之后执行。例如，可以先在第一区域24和第二区域26上涂布导电材料，固化导电材料形成电极34后，之后在第二区域26上形成第二绝缘槽40。可以理解，导电材料涂布在第一区域24的接电区38上。

请参阅图11和图12，在某些实施方式中，制造方法还包括：

S50，按基体单元16的位置分割带有电阻层20的基板10以形成多个芯片46，每个芯片46包括一个基体单元16和一个导电部22。

如此，将基板10分割开，从而可以形成雾化芯100的最小单元。具体地，带有电阻层20的基板10可以通过激光切割的方式加工得到，每个基体单元16作为一个雾化芯100的最小单元，在切割基板10后，可以得到雾化芯100，也可以得到雾化芯100的中间产物。

需要指出的是，步骤S50可以在步骤S30之前步骤S20之后执行，也可以在步骤S30之后执行；当步骤S50在步骤S30之后执行时，步骤S50可以在步骤S40之前执行，也可以在步骤S40之后执行。

例如，可以先将带有电阻层20的基板10分割成多个芯片46后，然后在每个芯片46上加工形成第一绝缘槽28，之后再在第一区域24上布置电极34，最后加工形成第二绝缘槽40。

又如，可以先在电阻层20上加工第一绝缘槽28，然后将带有电阻层20的基板10分割成多个芯片46，之后再在第一区域24上布置电极34，最后加工形成第二绝缘槽40。

请再次参阅图3，本申请还提供一种雾化芯100，雾化芯100采用以上任一实施方式的方法制得。

请再次参阅图1和图3，在本申请一个实施方式中，雾化芯100包括基底48和导电部22，基底48设有沿基底48的厚度方向贯穿基底48的穿孔阵列18；导电部22呈片状并铺设在基底48上，导电部22包括第一区域24和与第一区域24绝缘的第二区域26，第一区域24与穿孔阵列18至少部分重叠。

如此，第一区域24可以加热通过穿孔阵列18的油液，使得油液雾化，第二区域26可以加快雾化芯100其他部位的散热效率，避免雾化芯100其他部位部温度过高而对雾化芯100周围的零部件造成不良的影响。

在某些实施方式中，导电部22上形成有第一绝缘槽28，第一绝缘槽28将导电部22划分为第一区域24和第二区域26，第一绝缘槽28穿过穿孔阵列18。

如此，用第一绝缘槽28可以有效地将第一区域24和第二区域26绝缘，避免第一区域24和第二区域26电连接，另外，第一绝缘槽28穿过穿孔阵列18，也即是说，穿孔阵列18部分位于第二区域26中，这样使得第一区域24在被施加电压后产生的热量可以完全加热油液，电能的利用率较高利用。

请参阅图7，在某些实施方式中，第一绝缘槽28包括第一槽30和第二槽32，第一槽30和第二槽32间隔设置并均穿过穿孔阵列18，第一区域24位于第一槽30和第二槽32之间。

如此，穿孔阵列18的边缘部分位于第二区域26中，或者说，穿孔阵列18部分位于第一区域24外，这样使得第一区域24的宽度适宜，保证第一区域24的电阻可以有效地发热，以加热油液。

请参阅图3和图7，在某些实施方式中，第一区域24上布置有电极34，电极34与第一区域24电连接。

如此，电极34有利于第一区域24与外部电路连接，使得外部电路可以通过电极34向第一区域24施加电压。

在某些实施方式中，第一区域24包括加热区36和与加热区36连接的接电区38，接电区38位于穿孔阵列18外，加热区36与穿孔阵列18至少部分重叠，电极34布置在接电区38上。

如此，电极34可以通过接电区38向加热区36施加电压，从而使得加热区36可以产生热量。具体地，加热区36与接电区38连接的一端伸出在穿孔阵列18外。本申请实施方式中，接电区38的数量为两个，每个接电区38均布置有电极34，两个接电区38分别连接在加热的两端。加热区36的面积大于其中一个接电区38的面积。

请参阅图3和图9，在某些实施方式中，第二区域26设有第二绝缘槽40，第二绝缘槽40将第二区域26划分为绝缘的第一子区42和第二子区44，第一子区42对应于接电区38，电极34自接电区38延伸至第一子区42并遮盖至少部分第二子区44。

如此，将电极34同时布置在第一子区42和第一区域24上，方便电极34的设置，有利于提高雾化芯100的生产效率；同时，第二绝缘槽40可以有效地将第一子区42和第二子区44隔离，防止电极34与第二子区44电连接，保证第一区域24的发热性能。

需要指出的是，本申请实施方式的雾化芯100的其他未展开部分请参考上述制造方法中相同或类似的部分，在此不再赘述。或者说，上述实施方式的制造方法的解释说明适用于本申请的雾化芯100。

请参阅图13，在本申请实施方式的雾化设备200包括上述任一实施方式的雾化芯100。本申请实施方式的雾化设备200是一种通过加热等方式将油液形成烟雾的设备。需要说明的是，在本申请实施方式采用的油液可以为形成烟雾的液体。

在本申请的实施方式的描述中，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本申请的实施方式的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施方式”、“一些实施方式”、“示意性实施方式”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合所述实施方式或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本申请的至少一个实施方式或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施方式或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施方式或示例中以合适的方式结合。

尽管上面已经示出和描述了本申请的实施方式，可以理解的是，上述实施方式是示例性的，不能理解为对本申请的限制，本领域的普通技术人员在本申请的范围内可以对上述实施方式进行变化、修改、替换和变型。

Claims (10)

1.一种雾化芯，其特征在于，包括：

基底，所述基底设有沿所述基底的厚度方向贯穿所述基底的穿孔阵列；

导电部，所述导电部呈片状并铺设在所述基底上，所述导电部包括第一区域和与所述第一区域绝缘的第二区域，所述第一区域与所述穿孔阵列至少部分重叠。

2.根据权利要求1所述的雾化芯，其特征在于，所述导电部上形成有第一绝缘槽，所述第一绝缘槽将所述导电部划分为第一区域和第二区域，所述第一绝缘槽穿过所述穿孔阵列。

3.根据权利要求2所述的雾化芯，其特征在于，所述第一绝缘槽包括第一槽和第二槽，所述第一槽和所述第二槽间隔设置并均穿过所述穿孔阵列，所述第一区域位于所述第一槽和所述第二槽之间。

4.根据权利要求3所述的雾化芯，其特征在于，所述第一槽和所述第二槽均呈弧形，所述第一槽和所述第二槽关于所述穿孔阵列的长轴线对称。

5.根据权利要求1所述的雾化芯，其特征在于，所述第一区域上布置有电极，所述电极与所述第一区域电连接。

6.根据权利要求5所述的雾化芯，其特征在于，所述第一区域包括加热区和与所述加热区连接的接电区，所述接电区位于所述穿孔阵列外，所述加热区与所述穿孔阵列至少部分重叠，所述电极布置在所述接电区上。

7.根据权利要求6所述的雾化芯，其特征在于，所述第二区域设有第二绝缘槽，所述第二绝缘槽将所述第二区域划分为绝缘的第一子区和第二子区，所述第一子区对应于所述接电区，所述电极自所述接电区延伸至所述第一子区并遮盖至少部分所述第一子区。

8.根据权利要求1所述的雾化芯，其特征在于，所述第一区域的电阻范围为0.5Ω-10Ω。

9.根据权利要求1所述的雾化芯，其特征在于，所述导电部的厚度范围为100nm～10um。

10.一种雾化设备，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的雾化芯。

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