CN218525558U - 一种精度标定机构 - Google Patents

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颜智德
陈善礼
孙明亮
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CYG Semiconductor Equipment Zhuhai Co Ltd
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Abstract

本实用新型旨在提供一种结构简单、成本低且具备多种机构标定功能的精度标定机构。本实用新型包括Y轴移动模组、Z轴移动模组、工业相机、物料取放头和标定组件,所述Z轴移动模组和所述物料取放头设置在所述Y轴移动模组上,所述工业相机设置在所述Z轴移动模组上,所述标定组件位于工业相机和所述物料取放头的下方,所述标定组件包括标定座和均设置在所述标定座上的压力传感器、光学玻璃、真空平台,所述压力传感器和所述真空平台均与所述物料取放头配合,所述光学玻璃与所述工业相机配合。本实用新型可应用于精度校准的技术领域。

Description

一种精度标定机构
技术领域
本实用新型涉及精度校准的技术领域,特别涉及一种精度标定机构。
背景技术
在晶圆贴装设备、IGBT固晶机等自动化精密设备通常用于芯片、精密电子装配工作,而这些精密设备在工作时需要保证极高的工作精度,因此都会配备有工业相机对工作位置进行拍摄定位。另外这类精密设备由于针对的产品或零件较小,取料机构通常采用真空吸取的结构进行取件。而设备在长时间工作后,由于运动机构的不断动作,不可避免造成震动,因此可能会使得工业相机的拍摄精度、取料机构的取料精度逐渐下降,导致整台设备的工作精度下降。而针对这样的情况,需要采用标定机构对工业相机、取料机构进行精度标定,以判断精度是否足够从而进行应对。
公开号为CN 216936819 U的实用新型专利公开了一种固晶机,该固晶机中包含了一个摄像标定机构,用于对摄像机的精度进行校准;具体地,摄像标定机构包括装设于机台的标定座、装设于标定座的第三摄像机、套设于第三摄像机的镜头外的补光灯及位于镜头的上方的校准件,校准件开设有标定孔,第三摄像机的镜头朝上设置。上述中的摄像标定机构虽然能够实现对摄像进行精度校准,然而还存在着不足:整体机构结构复杂,所需部件多且要多配备一个摄像机,成本较高;功能单一,仅能进行摄像机的精度校准,对于具有取料机构的设备需要额外配备另外的标定结构。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是克服现有技术的不足,提供了一种结构简单、成本低且具备多种机构标定功能的精度标定机构。
本实用新型所采用的技术方案是:本实用新型包括Y轴移动模组、Z轴移动模组、工业相机、物料取放头和标定组件,所述Z轴移动模组和所述物料取放头设置在所述Y轴移动模组上,所述工业相机设置在所述Z轴移动模组上,所述标定组件位于工业相机和所述物料取放头的下方,所述标定组件包括标定座和均设置在所述标定座上的压力传感器、光学玻璃、真空平台,所述压力传感器和所述真空平台均与所述物料取放头配合,所述光学玻璃与所述工业相机配合。
进一步,所述标定座上设置有气管接头,所述标定座内开设有连接气路,所述真空平台上开设有若干个气孔,所述连接气路的两端分别与所述气孔和所述气管接头连通,所述气管接头外接真空发生器。
进一步,所述标定座的上端开设有与所述光学玻璃相适配的导向安装槽,所述导向安装槽处在所述压力传感器和所述真空平台之间,所述光学玻璃的中心设置有十字准星。
进一步,所述标定座的上端左端开设有传感器槽,所述压力传感器设置在所述传感器槽内。
进一步,所述标定座的上端右端开设有安装阶梯,所述安装阶梯上开设有密封槽,所述密封槽上适配设置有密封圈,所述连接气路位于所述密封圈内,所述真空平台设置在所述安装阶梯上并与所述密封圈配合。
进一步,所述光学玻璃上覆盖有压盖,所述压盖的中部开设有让位通槽,所述压盖与所述标定座螺钉连接。
进一步,所述Y轴移动模组和所述Z轴移动模组上均设置有位移传感器及位移感应片,所述位移传感器与所述位移感应片配合。
进一步,本实用新型还包括安装底板,所述安装底板的下端设置有四个支脚,所述安装底板上设置有安装竖板,所述Y轴移动模组设置在所述安装竖板上,所述标定组件设置在所述安装竖板的前端。
本实用新型的有益效果是:本实用新型采用Y轴移动模组带动工业相机和物料取放头进行Y轴方向的移动,由Z轴移动模组带动工业相机进行移动,再在工业相机和物料取放头的下方设置标定组件进行标定工作,标定组件包括标定座、压力传感器、光学玻璃和真空平台,标定座用于其余三者的安装,压力传感器用于物料取放头的取放力度的检测,光学玻璃用于工业相机的拍摄定位精度的检测,真空平台用于物料取放头的移动精度的检测,具有三种类型的标定功能。
附图说明
图1是本实用新型的立体结构示意图;
图2是图1中A部分的放大图;
图3是图1中B部分的放大图;
图4是本实用新型所述标定组件的立体结构示意图;
图5是本实用新型所述标定组件的爆炸图。
具体实施方式
如图1至图5所示,在本实施例中,本实用新型包括Y轴移动模组1、Z轴移动模组2、工业相机3、物料取放头4和标定组件5,所述Z轴移动模组2和所述物料取放头4设置在所述Y轴移动模组1上,所述工业相机3设置在所述Z轴移动模组2上,所述标定组件5位于工业相机3和所述物料取放头4的下方,所述标定组件5包括标定座51和均设置在所述标定座51上的压力传感器52、光学玻璃53、真空平台54,所述压力传感器52和所述真空平台54均与所述物料取放头4配合,所述光学玻璃53与所述工业相机3配合。
上述中,所述Y轴移动模组1用于带动所述工业相机3和所述物料取放头4进行Y轴方向上的移动,即左右移动,所述Z轴移动模组2用于带动所述工业相机3进行Z轴方向上的移动,即上下移动,因此所述工业相机3能够进行两个方向上的动作,而所述物料取放头4本身具有一定的升降功能及转动功能,因此所述物料取放头4具有三个方向上的动作(Y轴、Z轴和R轴),需要说明的是,所述Y轴移动模组1和所述Z轴移动模组2均为丝杆结构的直线模组。所述标定组件5用于对所述工业相机3和所述物料取放头4进行标定工作;所述标定组件5包括标定座51和设置在所述标定座51上的压力传感器52、光学玻璃53、真空平台54,所述压力传感器52与所述物料取放头4配合对所述物料取放头4起到力度标定/检测作用,所述光学玻璃53与所述工业相机3配合对所述工业相机3起到拍摄定位精度标定/检测作用,所述真空平台54与所述物料取放头4配合对所述物料取放头4的移动精度进行标定/检测。在进行标定时,所述Y轴移动模组1和所述Z轴移动模组2动作将所述工业相机3移动至所述光学玻璃53的正上方,然后所述工业相机3正对所述光学玻璃53进行拍摄,根据拍摄成像效果判断工业相机3的中心与所述光学玻璃53的中心是否一致从而确定所述工业相机3的拍摄定位精度有无出现偏差,从而进行相应的调校;所述工业相机3标定完毕后,进行所述物料取放头4的取放力度标定,所述物料取放头4由所述Y轴移动模组1带动移动至所述压力传感器52的正上方,随后所述物料取放头4本身的升降结构驱动使得所述物料取放头4的取料吸头下降并与所述压力传感器52接触,所述物料取放头4的取料吸头在下降的过程中先与所述压力传感器52接触并继续下压一段距离,此时取料吸头由于内部的浮动元件如弹簧的弹力作用会产生浮动效果,从而对所述压力传感器52造成一定的压力,所述压力传感器52即可判断出取料吸头的浮动力是否处在设定的范围内,从而实现所述物料取放头4的力度标定;所述物料取放头4的力度标定完毕后,进行所述物料取放头4的移动精度标定,所述Y轴移动模组1带动所述物料取放头4移动至取料位置吸取一个产品,然后再移动至所述真空平台54的正上方,随后所述物料取放头4将产品放置在所述真空平台54上并由所述真空平台54吸紧,随后所述物料取放头4复位,所述工业相机3移动至所述真空平台54的上方进行拍摄,从而判别产品的放置位置是否符合要求,从而实现对所述物料取放头4的移动精度进行标定。由上述可见,本实用新型整体结构简单,制造成本低,具有三种类型的标定功能,功能多元化;并且标定组件5结构紧凑、占用空间小,可独立应用至其他设备。
在本实施例中,所述标定座51上设置有气管接头55,所述标定座51内开设有连接气路56,所述真空平台54上开设有若干个气孔57,所述连接气路56的两端分别与所述气孔57和所述气管接头55连通,所述气管接头55外接真空发生器。所述真空平台54上开设多个所述气孔57组成网格孔,所述气孔57通过所述连接气路56与所述气管接头55连通,所述气管接头55外接真空发生器从而能够形成负压,因此当产品放置在网格孔上时,通过所述真空发生器能够将产品吸附在所述真空平台54上,实现产品的固定。另外,所述真空平台54上还设有产品垫板,产品垫板呈方向且中部开设有若干通气孔57,产品垫板用于产品的放置并对产品起到参照作用,从而更好地判断产品的放置位置及状态。
在本实施例中,所述标定座51的上端开设有与所述光学玻璃53相适配的导向安装槽58,所述导向安装槽58处在所述压力传感器52和所述真空平台54之间,所述光学玻璃53的中心设置有十字准星59。所述导向安装槽58与所述光学玻璃53适配,用于所述光学玻璃53的安装,所述光学玻璃53的中心设置所述十字准星59,通过所述十字准星59标记使得所述工业相机3在标定时能够更好地对中,方便判断及校准。
在本实施例中,所述标定座51的上端左端开设有传感器槽60,所述压力传感器52设置在所述传感器槽60内。所述传感器槽60用于所述压力传感器52的安装,从而使得所述压力传感器52的感应端面与所述标定座51的端面平齐。
在本实施例中,所述标定座51的上端右端开设有安装阶梯61,所述安装阶梯61上开设有密封槽62,所述密封槽62上适配设置有密封圈63,所述连接气路56位于所述密封圈63内,所述真空平台54设置在所述安装阶梯61上并与所述密封圈63配合。所述安装阶梯61用于所述真空平台54的安装,避免所述真空平台54安装后过于凸出,所述密封槽62为环形槽,所述密封圈63套设在所述密封槽62上并且使得所述连接气路56处在所述密封圈63内,所述真空平台54设置在所述安装阶梯61后,所述气孔57处在所述密封圈63的上方,所述密封圈63使得所述真空平台54与所述安装阶梯61之间的间隙被密封起来,使得整个气路密封,从而避免漏气,保证产品放置时的稳定。
在本实施例中,所述光学玻璃53上覆盖有压盖64,所述压盖64的中部开设有让位通槽65,所述压盖64与所述标定座51螺钉连接。所述压盖64用于压紧所述光学玻璃53,对所述光学玻璃53进行限位,以免所述光学玻璃53受到外界因素影响而造成位移甚至脱落,所述压盖64中部开设所述让位通槽65用于标定工作的顺利进行,所述压盖64采用螺钉连接的方式与所述标定座51固定连接,便于拆装。
在本实施例中,所述Y轴移动模组1和所述Z轴移动模组2上均设置有位移传感器6及位移感应片7,所述位移传感器6与所述位移感应片7配合。通过所述位移传感器6和所述位移感应片7的配合,所述Y轴移动模组1和所述Z轴移动模组2都能够对移动行程进行监测,以便于更好地工作。
在本实施例中,本实用新型还包括安装底板8,所述安装底板8的下端设置有四个支脚9,所述安装底板8上设置有安装竖板10,所述Y轴移动模组1设置在所述安装竖板10上,所述标定组件5设置在所述安装竖板10的前端。所述安装底板8和四个所述支脚9组成安装台,所述安装竖板10设置在所述安装底板8的后端,所述Y轴移动模组1设置在所述安装竖板10上可以提升高度,所述支脚9可以调节,因此可以根据地面情况适时调整。
虽然本实用新型的实施例是以实际方案来描述的,但是并不构成对本实用新型含义的限制,对于本领域的技术人员,根据本说明书对其实施方案的修改及与其他方案的组合都是显而易见的。

Claims (8)

1.一种精度标定机构,它包括Y轴移动模组(1)、Z轴移动模组(2)、工业相机(3)、物料取放头(4)和标定组件(5),所述Z轴移动模组(2)和所述物料取放头(4)设置在所述Y轴移动模组(1)上,所述工业相机(3)设置在所述Z轴移动模组(2)上,所述标定组件(5)位于工业相机(3)和所述物料取放头(4)的下方,其特征在于:所述标定组件(5)包括标定座(51)和均设置在所述标定座(51)上的压力传感器(52)、光学玻璃(53)、真空平台(54),所述压力传感器(52)和所述真空平台(54)均与所述物料取放头(4)配合,所述光学玻璃(53)与所述工业相机(3)配合。
2.根据权利要求1所述的一种精度标定机构,其特征在于:所述标定座(51)上设置有气管接头(55),所述标定座(51)内开设有连接气路(56),所述真空平台(54)上开设有若干个气孔(57),所述连接气路(56)的两端分别与所述气孔(57)和所述气管接头(55)连通,所述气管接头(55)外接真空发生器。
3.根据权利要求1所述的一种精度标定机构,其特征在于:所述标定座(51)的上端开设有与所述光学玻璃(53)相适配的导向安装槽(58),所述导向安装槽(58)处在所述压力传感器(52)和所述真空平台(54)之间,所述光学玻璃(53)的中心设置有十字准星(59)。
4.根据权利要求1所述的一种精度标定机构,其特征在于:所述标定座(51)的上端左端开设有传感器槽(60),所述压力传感器(52)设置在所述传感器槽(60)内。
5.根据权利要求2所述的一种精度标定机构,其特征在于:所述标定座(51)的上端右端开设有安装阶梯(61),所述安装阶梯(61)上开设有密封槽(62),所述密封槽(62)上适配设置有密封圈(63),所述连接气路(56)位于所述密封圈(63)内,所述真空平台(54)设置在所述安装阶梯(61)上并与所述密封圈(63)配合。
6.根据权利要求3所述的一种精度标定机构,其特征在于:所述光学玻璃(53)上覆盖有压盖(64),所述压盖(64)的中部开设有让位通槽(65),所述压盖(64)与所述标定座(51)螺钉连接。
7.根据权利要求1所述的一种精度标定机构,其特征在于:所述Y轴移动模组(1)和所述Z轴移动模组(2)上均设置有位移传感器(6)及位移感应片(7),所述位移传感器(6)与所述位移感应片(7)配合。
8.根据权利要求1所述的一种精度标定机构,其特征在于:它还包括安装底板(8),所述安装底板(8)的下端设置有四个支脚(9),所述安装底板(8)上设置有安装竖板(10),所述Y轴移动模组(1)设置在所述安装竖板(10)上,所述标定组件(5)设置在所述安装竖板(10)的前端。
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