CN218485575U - 一种清洁系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种清洁系统，包括清洁系统箱、空气净化室和前灰尘过滤室，所述清洁系统箱的内前部设置有电解室，且电解室的后侧设置有第一间隔室，所述第一间隔室的后侧设置有吸附沉淀室，且吸附沉淀室的后侧设置有氮气吸附室，所述清洁系统箱的前端固定有前灰尘过滤室，且清洁系统箱的后端固定有空气净化室，所述清洁系统箱的下端面左右两部均固定有支撑柱，且支撑柱的下端固定在底座上；所述电解室内中部安装有多组正极板和负极板，且每两组正极板之间间隔有一组负极板。本实用新型方便对三氟化氮进行先去尘后电解分离，再吸附掉氟离子后沉淀下落，再吸附氮气去除异味，清洁处理更干净彻底，排放安全可靠，更绿色环保。
Description
技术领域
本实用新型涉及清洁系统技术领域，具体涉及一种清洁系统。
背景技术
三氟化氮(NF3)在常温下是一种无色、无臭、性质稳定的气体，在微电子、半导体、光电子、光伏等行业都会用到，是使用频率比较多的气体之一；三氟化氮同时又是一种毒性物质，具有强氧化性，与还原剂能发生强烈反应，引起燃烧爆炸。
在对比文件“CN201510063726.4 三氟化氮废气处理系统及处理方法”的说明书中提及“所述进气管包括用于输送待处理的三氟化氮气体的第一进气管和用于输送吹扫气体的第二进气管；所述加热装置一端与所述吸附装置连通，另一端与所述第一进气管连通，且所述第一进气管的进口设有第一球阀；所述吸附装置一端同时与所述加热装置和所述第二进气管连通，且在与所述第二进气管连通的管路上设有第一手动阀门；所述吸附装置的另一端与所述出气管连通，且所述出气管的出口设有第二球阀”，但是，对比文件中的三氟化氮废气处理需要进行高温加热，不仅所耗费的热量颇多，而且长期高温处理对设备的损耗也大，使用并不经济方便。
实用新型内容
为克服现有技术所存在的缺陷，现提供一种清洁系统，以解决对比文件中的三氟化氮废气处理需要进行高温加热，不仅所耗费的热量颇多，而且长期高温处理对设备的损耗也大，使用并不经济方便的问题。
为实现上述目的，提供一种清洁系统，包括清洁系统箱、空气净化室和前灰尘过滤室，所述清洁系统箱的内前部设置有电解室，且电解室的后侧设置有第一间隔室，所述第一间隔室的后侧设置有吸附沉淀室，且吸附沉淀室的后侧设置有氮气吸附室，所述清洁系统箱的前端固定有前灰尘过滤室，且清洁系统箱的后端固定有空气净化室，所述清洁系统箱的下端面左右两部均固定有支撑柱，且支撑柱的下端固定在底座上。
进一步的，所述电解室内中部安装有多组正极板和负极板，且每两组正极板之间间隔有一组负极板。
进一步的，所述第一间隔室内设置有一组第一输送管，且第一输送管的上端设置有第二涡轮风扇，并且第二涡轮风扇位于电解室的后侧上端，且第一输送管的下端通向吸附沉淀室的内底部。
进一步的，所述吸附沉淀室内装有清洁液，且吸附沉淀室的上端设置有进液管口，且吸附沉淀室的下端设置有排污管口，并且进液管口和排污管口上均安装有一组电磁控制阀。
进一步的，所述氮气吸附室内前部上设置有第二输送管，第二输送管的上端安装有第三涡轮风扇，且第三涡轮风扇位于吸附沉淀室的后侧上端，并且氮气吸附室内后部依次设置有前碳分子筛层、中碳分子筛层和后碳分子筛层，且的后端设置有内排气管口，内排气管口内安装有第四涡轮风扇。
进一步的，所述空气净化室内前部依次设置有前活性炭层、中活性炭层和后活性炭层，且空气净化室的后端设置有外排气管口,并且外排气管口内安装有第五涡轮风扇。
进一步的，所述前灰尘过滤室内后部安装有三组防尘透气网，且前灰尘过滤室的前端设置有进气口，并且进气口内安装有第一涡轮风扇。
本实用新型的有益效果在于：
1.本实用新型中前灰尘过滤室的设置有助于去除气体中的含尘颗粒物，进行初步过滤处理，可处理掉所抽取气体的大部分脏污杂质。
2.本实用新型中电解室的设置可将NF第一间隔室电解分成氮离子和氟离子，在第一间隔室内第二涡轮风扇引动气流作用下，将电解后的气体通过第一输送管输送至吸附沉淀室内。
3.本实用新型中清洁液采用的是硫酸铝加适量石灰可产生氢氧化铝沉淀，氟离子吸附在沉淀物上而被清除。
4.本实用新型所输送的气体中所含有的少量氮气会通过第三涡轮风扇和第二输送管输送至氮气吸附室内，紧固后碳分子筛层、中碳分子筛层和前碳分子筛层的依次吸附，有助于去除剩余的氮气，吸附后的气体会进入到空气净化室内，依次经过前活性炭层、中活性炭层和后活性炭层的吸附处理，去除掉异味，从而使得过滤后的气体更干净卫生。
附图说明
图1为本实用新型实施例的正视示意图；
图2为本实用新型实施例的俯视示意图；
图3为本实用新型实施例的剖面结构示意图。
图中：1、清洁系统箱；10、支撑柱；11、底座；2、电解室；20、正极板；21、负极板；3、第一间隔室；30、第一输送管；31、第二涡轮风扇；4、吸附沉淀室；40、进液管口；41、清洁液；42、排污管口；5、氮气吸附室；50、第三涡轮风扇；51、第二输送管；52、前碳分子筛层；53、中碳分子筛层；54、后碳分子筛层；55、内排气管口；56、第四涡轮风扇；6、空气净化室；60、后活性炭层；61、中活性炭层；62、前活性炭层；63、第五涡轮风扇；64、外排气管口；7、前灰尘过滤室；70、防尘透气网；71、进气口；72、第一涡轮风扇。
具体实施方式
为了使本实用新型所要解决的技术问题、技术方案及有益效果能更清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进一步详细说明。此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型，提出诸如特定系统结构、技术之类的具体细节，以便更加透彻地理解本实用新型实施例。所描述的实施例是本公开一部分实施例，而不是全部的实施例。然而，本领域的技术人员应当清楚，在没有这些具体细节的其它实施例中也可以实现本实用新型。基于本公开中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例， 都属于本公开保护的范围。
下面结合附图来详细描述本实用新型的具体实施方式。
图1为本实用新型实施例的正视示意图、图2为本实用新型实施例的俯视示意图和图3为本实用新型实施例的剖面结构示意图。
参照图1至图3所示，本实用新型提供了一种清洁系统，包括清洁系统箱1、空气净化室6和前灰尘过滤室7，清洁系统箱1的内前部设置有电解室2，且电解室2的后侧设置有第一间隔室3，第一间隔室3的后侧设置有吸附沉淀室4，且吸附沉淀室4的后侧设置有氮气吸附室5，清洁系统箱1的前端固定有前灰尘过滤室7，且清洁系统箱1的后端固定有空气净化室6，清洁系统箱1的下端面左右两部均固定有支撑柱10，且支撑柱10的下端固定在底座11上。
在本实施例中，前灰尘过滤室7内后部安装有三组防尘透气网70，且前灰尘过滤室7的前端设置有进气口71，并且进气口71内安装有第一涡轮风扇72。
作为一种较佳的实施方式，本实用新型中前灰尘过滤室7的设置有助于去除气体中的含尘颗粒物，进行初步过滤处理，可处理掉所抽取气体的大部分脏污杂质。
在本实施例中，电解室2内中部安装有多组正极板20和负极板21，且每两组正极板20之间间隔有一组负极板21；第一间隔室3内设置有一组第一输送管30，且第一输送管30的上端设置有第二涡轮风扇31，并且第二涡轮风扇31位于电解室2的后侧上端，且第一输送管30的下端通向吸附沉淀室4的内底部。
作为一种较佳的实施方式，本实用新型中电解室2的设置可将NF第一间隔室3电解分成氮离子和氟离子，在第一间隔室3内第二涡轮风扇31引动气流作用下，将电解后的气体通过第一输送管30输送至吸附沉淀室4内。
在本实施例中，吸附沉淀室4内装有清洁液41，且吸附沉淀室4的上端设置有进液管口40，且吸附沉淀室4的下端设置有排污管口42，并且进液管口40和排污管口42上均安装有一组电磁控制阀。
作为一种较佳的实施方式，本实用新型中清洁液41采用的是硫酸铝加适量石灰可产生氢氧化铝沉淀，氟离子吸附在沉淀物上而被清除。
在本实施例中，氮气吸附室5内前部上设置有第二输送管51，第二输送管51的上端安装有第三涡轮风扇50，且第三涡轮风扇50位于吸附沉淀室4的后侧上端，并且氮气吸附室5内后部依次设置有前碳分子筛层52、中碳分子筛层53和后碳分子筛层54；空气净化室6内前部依次设置有前活性炭层62、中活性炭层61和后活性炭层60，且空气净化室6的后端设置有外排气管口64,并且外排气管口64内安装有第五涡轮风扇63。
作为一种较佳的实施方式，本实用新型所输送的气体中所含有的少量氮气会通过第三涡轮风扇50和第二输送管51输送至氮气吸附室5内，紧固后碳分子筛层54、中碳分子筛层53和前碳分子筛层52的依次吸附，有助于去除剩余的氮气，吸附后的气体会进入到空气净化室6内，依次经过前活性炭层62、中活性炭层61和后活性炭层60的吸附处理，去除掉异味，从而使得过滤后的气体更干净卫生。
本实用新型可有效解决对比文件中的三氟化氮废气处理需要进行高温加热，不仅所耗费的热量颇多，而且长期高温处理对设备的损耗也大，使用并不经济方便的问题，本实用新型方便对三氟化氮进行先去尘后电解分离，再吸附掉氟离子后沉淀下落，再吸附氮气去除异味，清洁处理更干净彻底，排放安全可靠，更绿色环保。
上述实施例用来解释说明本实用新型，而不是对实用新型进行限制，在本实用新型精神和申请保护权利要求范围内，对本实用新型做出的任何修改和改变，均应包含在本实用新型的保护范围。
Claims (7)
1.一种清洁系统，包括清洁系统箱（1）、空气净化室（6）和前灰尘过滤室（7），其特征在于：所述清洁系统箱（1）的内前部设置有电解室（2），且电解室（2）的后侧设置有第一间隔室（3），所述第一间隔室（3）的后侧设置有吸附沉淀室（4），且吸附沉淀室（4）的后侧设置有氮气吸附室（5），所述清洁系统箱（1）的前端固定有前灰尘过滤室（7），且清洁系统箱（1）的后端固定有空气净化室（6），所述清洁系统箱（1）的下端面左右两部均固定有支撑柱（10），且支撑柱（10）的下端固定在底座（11）上。
2.根据权利要求1所述的一种清洁系统，其特征在于，所述电解室（2）内中部安装有多组正极板（20）和负极板（21），且每两组正极板（20）之间间隔有一组负极板（21）。
3.根据权利要求1所述的一种清洁系统，其特征在于，所述第一间隔室（3）内设置有一组第一输送管（30），且第一输送管（30）的上端设置有第二涡轮风扇（31），并且第二涡轮风扇（31）位于电解室（2）的后侧上端，且第一输送管（30）的下端通向吸附沉淀室（4）的内底部。
4.根据权利要求1所述的一种清洁系统，其特征在于，所述吸附沉淀室（4）内装有清洁液（41），且吸附沉淀室（4）的上端设置有进液管口（40），且吸附沉淀室（4）的下端设置有排污管口（42），并且进液管口（40）和排污管口（42）上均安装有一组电磁控制阀。
5.根据权利要求1所述的一种清洁系统，其特征在于，所述氮气吸附室（5）内前部上设置有第二输送管（51），第二输送管（51）的上端安装有第三涡轮风扇（50），且第三涡轮风扇（50）位于吸附沉淀室（4）的后侧上端，并且氮气吸附室（5）内后部依次设置有前碳分子筛层（52）、中碳分子筛层（53）和后碳分子筛层（54），且5的后端设置有内排气管口（55），内排气管口（55）内安装有第四涡轮风扇（56）。
6.根据权利要求1所述的一种清洁系统，其特征在于，所述空气净化室（6）内前部依次设置有前活性炭层（62）、中活性炭层（61）和后活性炭层（60），且空气净化室（6）的后端设置有外排气管口（64），并且外排气管口（64）内安装有第五涡轮风扇（63）。
7.根据权利要求1所述的一种清洁系统，其特征在于，所述前灰尘过滤室（7）内后部安装有三组防尘透气网（70），且前灰尘过滤室（7）的前端设置有进气口（71），并且进气口（71）内安装有第一涡轮风扇（72）。
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