CN218471125U - 汞灯灯箱 - Google Patents

Abstract

本申请提供了一种汞灯灯箱，其应用于半导体加工设备，包括：灯箱本体、杯状反射镜、汞灯、电线、固定装置和遮挡部件。杯状反射镜包括开口，杯状反射镜设置于灯箱本体内。汞灯位于杯状反射镜内，汞灯的一端和灯箱本体连接，汞灯可经由开口进行更换。电线的一端和汞灯的另一端连接。固定装置用于将电线的另一端固定于灯箱本体。遮挡部件可盖设在开口上，遮挡部件和杯状反射镜形成容纳腔体，固定装置设置于容纳腔体外。本申请解决了现有技术存在在更换汞灯时反射镜的镜面容易被掉落的螺丝、螺丝刀或螺丝刀头等部件砸坏及反射镜的镜面容易因为暴露在外部环境中而被大的颗粒物污染损坏的问题。

Description

汞灯灯箱

技术领域

本申请涉及半导体加工设备，特别是涉及汞灯灯箱。

背景技术

汞灯是光刻机常用的曝光光源，其可以和杯状反射镜配合使用。汞灯和杯状反射镜通常设置于灯箱(Lamp House)内，而灯箱设置于光刻机内。杯状反射镜设置有开口，汞灯可以经由开口进行更换。杯状反射镜在光刻机内时，光刻机会提供纯化的压缩干燥空气(Compressed Dry Air，缩写为CDA)通过开口吹向镜面以防止颗粒物积聚到镜面。针对佳能I-line光刻机，在光刻机台进行维护保养时，需要进行汞灯更换作业。在进行汞灯更换时，需先关闭汞灯，待汞灯冷却至室温后，再断电将灯箱从光刻机台中拉出，再用螺丝刀松开灯箱上与汞灯电极相连的螺丝，最后将汞灯取出更换新的汞灯。

维护人员在进行汞灯更换作业时，所使用到的螺丝、螺丝刀或螺丝刀头等部件可能会从开口掉落至反射镜的镜面，对镜面造成损伤。另一方面在更换汞灯时，由于灯箱已从光刻机中被拉出暴露在外部环境中，不再有压缩干燥空气吹扫镜面，一些大的颗粒物就会掉落积聚到镜面，造成镜面容易被污染，进而造成不必要的损失。因此现有灯箱存在在更换汞灯时反射镜的镜面容易被掉落的螺丝、螺丝刀或螺丝刀头等部件砸坏及反射镜的镜面容易因为暴露在外部环境中而被大的颗粒物污染损坏的问题。

实用新型内容

针对现有灯箱存在在更换汞灯时反射镜的镜面容易被掉落的螺丝、螺丝刀或螺丝刀头等部件砸坏及反射镜的镜面容易因为暴露在外部环境中而被大的颗粒物污染损坏的问题，本申请提供了一种汞灯灯箱，其应用于半导体加工设备，包括：灯箱本体、杯状反射镜、汞灯、电线、固定装置和遮挡部件。所述杯状反射镜包括开口，所述杯状反射镜设置于所述灯箱本体内。所述汞灯位于所述杯状反射镜内，所述汞灯的一端和所述灯箱本体连接，所述汞灯可经由所述开口进行更换。所述电线的一端和所述汞灯的另一端连接。所述固定装置用于将所述电线的另一端固定于所述灯箱本体。所述遮挡部件可盖设在所述开口上，所述遮挡部件和所述杯状反射镜形成容纳腔体，所述固定装置设置于所述容纳腔体外。

优选地，所述固定装置设置于所述灯箱本体的顶部。

优选地，所述遮挡部件包括第一通孔，所述汞灯的另一端可外露于所述第一通孔。

优选地，所述遮挡部件可和所述灯箱本体连接。

优选地，所述灯箱本体包括卡合部，所述遮挡部件可通过所述卡合部和所述灯箱本体卡接。

优选地，所述卡合部包括缺口，所述遮挡部件为盖体，所述遮挡部件可通过嵌设于所述缺口，和所述灯箱本体卡接。

优选地，所述卡合部的数量为至少两个，所述遮挡部件可卡接于所述至少两个卡合部。

优选地，所述卡合部的数量为两个，所述两个卡合部对称于所述灯箱本体的中心轴线设置。

优选地，所述遮挡部件包括第一遮挡部件和第二遮挡部件，所述第一遮挡部件和所述第二遮挡部件拼合后可盖合所述开口，所述第一遮挡部件和所述第二遮挡部件可与所述卡合部卡接。

优选地，所述第一遮挡部件和所述第二遮挡部件可在其拼合处与所述卡合部卡接。

本申请的有益效果在于：通过设置遮挡部件在杯状反射镜的开口上，让遮挡部件和杯状反射镜形成容纳腔体，并把固定装置设置于容纳腔体外，这样在拆卸固定装置时，由于拆卸固定装置的工具是在容纳腔体外进行拆卸作业，固定装置及拆卸固定装置的工具将不会通过开口落入到容纳腔体中而损坏杯状反射镜的镜面。同时，在拆卸固定装置的过程中，由于遮挡部件盖设在了杯状反射镜的开口上，并和杯状反射镜形成了容纳腔体，也避免了一些大的颗粒物通过开口掉落积聚到镜面，进而避免了杯状反射镜的镜面较长时间地暴露在外部环境中而被颗粒物污染损坏。

上述说明仅是本申请技术方案的概述，为了能够更清楚了解本申请的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本申请较佳的实施例并配合附图对本申请进行详细说明。

附图说明

图1是本申请实施例中，汞灯灯箱的分解图；

图2是本申请实施例中，汞灯灯箱的半剖视图；

图3是本申请实施例中，汞灯灯箱的半剖分解视图；

图4是本申请实施例中，汞灯灯箱的分解俯视图；

图5是本申请实施例中，汞灯灯箱的安装示意图。

其中，附图标记：

1 汞灯灯箱

10 灯箱本体

100 开孔

101 凸台

102 卡合部

1020 缺口

11 杯状反射镜

110 开口

12 汞灯

13 电线

14 固定装置

15 遮挡部件

150 第一遮挡部件

151 第二遮挡部件

H1 第一通孔

H2 第二通孔

2 光刻机台

具体实施方式

以下由特定的具体实施例说明本申请的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所公开的内容轻易地了解本申请的其他优点及功效。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以互相组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。为了使本技术领域的人员更好地理解本申请方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本申请的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范围。

需要说明的是，本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于包覆不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其他步骤或单元。

需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电性连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

如图1所示，在一实施例中提供了一种汞灯灯箱1，其应用于半导体加工设备，包括：灯箱本体10、杯状反射镜11、汞灯12、电线13、固定装置14和遮挡部件15。杯状反射镜11包括开口110，杯状反射镜11设置于灯箱本体10内。灯箱本体10可以是上端带开孔100的圆柱形壳体，杯状反射镜11可以是半椭球壳体。杯状反射镜11可以卡接于开孔100并沿灯箱本体10的轴向设置，开孔100和开口110的朝向相同。杯状反射镜11的镜面朝向汞灯12以便汇聚汞灯12的光线。

如图2所示，汞灯12位于杯状反射镜11内，汞灯12的一端和灯箱本体10连接，汞灯12可经由开口110进行更换。电线13的一端和汞灯12的另一端连接。电线13的一端和汞灯12的另一端的连接可以是可拆卸连接，例如通过螺丝连接。汞灯12的一端可以穿过杯状反射镜11的底部和灯箱本体10的内底面可拆卸地连接。例如，汞灯12的一端可以设置外螺纹以便和灯箱本体10螺接。汞灯12可以由两个圆柱段和一个椭球段构成。两个圆柱段分别和灯箱本体10的内底面及电线13的一端连接。

如图2所示，固定装置14用于将电线13的另一端固定于灯箱本体10。固定装置14可以设置于灯箱本体10的顶部，例如，固定装置14可以固定于灯箱本体10的上端面的边缘。可以在灯箱本体10的顶部向内延伸形成凸台101，固定装置14可以将电线13的另一端固定于凸台101的上侧面。固定装置14可以是螺钉。遮挡部件15可盖设在开口110上，遮挡部件15可以和杯状反射镜11形成容纳腔体，固定装置14设置于容纳腔体外。遮挡部件15可和灯箱本体10连接。遮挡部件15可以是薄圆柱形盖体，其面积可以大致覆盖开口110或覆盖灯箱本体10的上端面。遮挡部件15和灯箱本体10可以是可拆卸地连接，例如可以是卡接或螺接。

通过设置遮挡部件15在杯状反射镜11的开口110上，让遮挡部件15和杯状反射镜11形成容纳腔体，并把固定装置14设置于容纳腔体外，这样在拆卸固定装置14时，由于拆卸固定装置14的工具是在容纳腔体外进行拆卸作业，固定装置14及拆卸固定装置14的工具将不会通过开口110落入到容纳腔体中而损坏杯状反射镜11的镜面。同时，在拆卸固定装置14的过程中，由于遮挡部件15盖设在了杯状反射镜11的开口110上，并和杯状反射镜11形成了容纳腔体，也避免了一些大的颗粒物通过开口110掉落积聚到镜面，进而避免了杯状反射镜11的镜面较长时间地暴露在外部环境中而被颗粒物污染损坏。

如图3所示，优选地，遮挡部件15包括第一通孔H1，汞灯12的另一端可外露于第一通孔H1。也可以在遮挡部件15开设第二通孔H2，固定装置14可以经过第二通孔H2外露。第一通孔H1可以开设在遮挡部件15的中间位置，第二通孔H2可以开设在遮挡部件15的边缘位置。在遮挡部件15设置第一通孔H1和第二通孔H2，可以让工具直接在容纳腔体之外固定电线13，以便更加方便地让电线13连接汞灯12的另一端及固定装置14。第一通孔H1的直径可以和汞灯12的另一端的直径大致相同，以便遮挡部件15能更好地密封盖合开口110，防止螺丝、大的颗粒物从第一通孔H1和汞灯12的另一端之间的间隙落入杯状反射镜11。

如图3所示，优选地，灯箱本体10包括卡合部102，遮挡部件15可通过卡合部102和灯箱本体10卡接。卡合部102和灯箱本体10可以一体成型设置。卡合部102可以包括缺口1020，遮挡部件15可以为盖体，遮挡部件15可通过嵌设于缺口1020，和灯箱本体10卡接。例如，卡合部102可以呈倒L形，卡合部102的两边及灯箱本体10的上端面可以围合成缺口1020，缺口1020的厚度和遮挡部件15的厚度大致相同。遮挡部件15通过卡合部102和灯箱本体10卡接，可以无需借助工具即能实现遮挡部件15在灯箱本体10上的装拆，所需的装拆作业空间较小，适合应用于光刻机内部较小的安装空间。

如图3所示，优选地，卡合部102的数量为至少两个，遮挡部件15可卡接于至少两个卡合部102。至少两个卡合部102可以以灯箱本体10的中心轴线为参考均布设置于灯箱本体10的上外侧，以便从灯箱本体10的多个径向方向实现对遮挡部件15的卡接，进而在灯箱本体10的多个径向方向上防止遮挡部件15在汞灯灯箱1在拉出和推进光刻机的安装空间时掉落，也可以防止单个卡合部102强度不够导致在遮挡部件15盖合开口110的时容易被遮挡部件15撬坏。例如，卡合部102的数量可以为两个，两个卡合部102对称于灯箱本体10的中心轴线设置。

如图4所示，优选地，遮挡部件15包括第一遮挡部件150和第二遮挡部件151，第一遮挡部件150和第二遮挡部件151拼合后可盖合开口110，第一遮挡部件150和第二遮挡部件151可与卡合部102卡接。第一遮挡部件150和第二遮挡部件151可在其拼合处与卡合部102卡接。例如，第一遮挡部件150和第二遮挡部件151可以为尺寸大致相同的两个半薄圆柱体，第一遮挡部件150和第二遮挡部件151的拼合线可以垂直于卡合部102。

如图4所示，第一通孔H1和第二通孔H2可以通过第一遮挡部件150和第二遮挡部件151拼合而成，例如可以在第一遮挡部件150和第二遮挡部件151各设置一个半圆，通过两个半圆拼合成圆形的第一通孔H1及第二通孔H2。此时汞灯12的另一端外露于第一通孔H1时相较于直接从单独的第一通孔H1穿过外露更为方便，固定装置14外露于第二通孔H2时相较于直接从单独的第二通孔H2穿过外露也更为方便。

请同时参考图2和图5，更换汞灯12的步骤通常如下：

1.打开光刻机台2，在光刻机台2内将遮挡部件15盖在杯状反射镜11的开口110上。例如，杯状反射镜11的开口110可以竖直朝上，在光刻机台2内可以设置安装空间用于安装汞灯灯箱1，汞灯灯箱1可以沿水平方向(如图5中双箭头方向)推进和拉出于安装空间。在光刻机台2打开后，可以将遮挡部件15沿水平方向推进到安装空间并卡合到开口110上。

2.将汞灯灯箱1从光刻机台2内的安装空间沿水平方向拉出，拆除固定装置14。

3.移除遮挡部件15，松开汞灯12的一端和灯箱本体10的连接，然后将汞灯12连同电线13(更换汞灯12的过程中，电线13的一端可以保持着和汞灯12的另一端连接，电线13的一端也可以通过螺丝和汞灯12的另一端可分离地连接)从杯状反射镜11上的开口110取出。

4、将新的汞灯12经过开口110放入杯状反射镜11内，并和灯箱本体10连接。

5、将遮挡部件15重新盖合于开口110，然后通过固定装置14将电线13重新固定于灯箱本体10。

6、将汞灯灯箱1推入安装空间，然后取下遮挡部件15并关闭光刻机台2完成汞灯12的更换。

虽然在更换汞灯12时(即步骤3和步骤4)，杯状反射镜11会和外部环境接触，但是由于更换汞灯12的速度很快，耗费时间少，不会造成杯状反射镜11在外部环境暴露的时间过长，外部环境中大的颗粒物积聚在镜面的概率也会比较低。

以上对本申请实施例所提供的汞灯灯箱进行了详细介绍，对于本领域的一般技术人员，依据本申请实施例的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有所改变之处。综上所述，本说明书内容不应理解为对本申请的限制，凡依据本申请的精神与技术思想所做的一切等效修饰或改变，仍应由本申请的权利要求所涵盖。

Claims (10)

1.一种汞灯灯箱(1)，其应用于半导体加工设备，其特征在于，包括：

灯箱本体(10)；

杯状反射镜(11)，其包括开口(110)，所述杯状反射镜(11)设置于所述灯箱本体(10)内；

汞灯(12)，其位于所述杯状反射镜(11)内，所述汞灯(12)的一端和所述灯箱本体(10)连接，所述汞灯(12)可经由所述开口(110)进行更换；

电线(13)，其一端和所述汞灯(12)的另一端连接；

固定装置(14)，其用于将所述电线(13)的另一端固定于所述灯箱本体(10)；以及

遮挡部件(15)，其可盖设在所述开口(110)上，所述遮挡部件(15)和所述杯状反射镜(11)形成容纳腔体，所述固定装置(14)设置于所述容纳腔体外。

2.根据权利要求1所述的汞灯灯箱(1)，其特征在于，所述固定装置(14)设置于所述灯箱本体(10)的顶部。

3.根据权利要求2所述的汞灯灯箱(1)，其特征在于，所述遮挡部件(15)包括第一通孔(H1)，所述汞灯(12)的另一端可外露于所述第一通孔(H1)。

4.根据权利要求1所述的汞灯灯箱(1)，其特征在于，所述遮挡部件(15)可和所述灯箱本体(10)连接。

5.根据权利要求4所述的汞灯灯箱(1)，其特征在于，所述灯箱本体(10)包括卡合部(102)，所述遮挡部件(15)可通过所述卡合部(102)和所述灯箱本体(10)卡接。

6.根据权利要求5所述的汞灯灯箱(1)，其特征在于，所述卡合部(102)包括缺口(1020)，所述遮挡部件(15)为盖体，所述遮挡部件(15)可通过嵌设于所述缺口(1020)，和所述灯箱本体(10)卡接。

7.根据权利要求5所述的汞灯灯箱(1)，其特征在于，所述卡合部(102)的数量为至少两个，所述遮挡部件(15)可卡接于所述至少两个卡合部(102)。

8.根据权利要求7所述的汞灯灯箱(1)，其特征在于，所述卡合部(102)的数量为两个，所述两个卡合部(102)对称于所述灯箱本体(10)的中心轴线设置。

9.根据权利要求5所述的汞灯灯箱(1)，其特征在于，所述遮挡部件(15)包括第一遮挡部件(150)和第二遮挡部件(151)，所述第一遮挡部件(150)和所述第二遮挡部件(151)拼合后可盖合所述开口(110)，所述第一遮挡部件(150)和所述第二遮挡部件(151)可与所述卡合部(102)卡接。

10.根据权利要求9所述的汞灯灯箱(1)，其特征在于，所述第一遮挡部件(150)和所述第二遮挡部件(151)可在其拼合处与所述卡合部(102)卡接。

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