CN218465936U - 一种化学气相沉积炉的炉底加热装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种化学气相沉积炉的炉底加热装置，包括气相沉积炉，所述气相沉积炉的一侧内壁设置有通气外壳，且气相沉积炉的底端内壁固定连接有分流底盘，所述分流底盘的顶端外壁固定连接有第二导热隔板，且第二导热隔板的顶端外壁设置有加热器，所述第二导热隔板的顶端外壁同时固定连接有导热隔板，且导热隔板覆盖在加热器的上方，所述分流底盘的底端外壁固定连接有第三导热隔板，且第三导热隔板的底端外壁固定连接有底座，所述底座的底端内壁设置有第二加热器，所述气相沉积炉的顶端内壁固定连接有进气口，本实用新型公开的化学气相沉积炉的炉底加热装置具有通过两次均匀加热提高气体的升温速度，有效提高反应效率的效果。

Description

一种化学气相沉积炉的炉底加热装置

技术领域

本实用新型涉及气相沉积炉加热技术领域，尤其涉及一种化学气相沉积炉的炉底加热装置。

背景技术

化学气相沉积是指化学气体或蒸汽在基质表面反应合成涂层或纳米材料的方法，是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积多种材料的技术，包括大范围的绝缘材料，大多数金属材料和金属合金材料，在化学气相沉积的时候，将两种气态的原材料通入到反应室，然后他们相互之间发生化学反应，形成一种新的材料，沉积到晶片表面上。

一般使用沉积炉作为化学气相沉积的容器，现有技术下，一般会在沉积炉的外壁或是中间位置设置加热装置用于加热，前者加热不均匀，容易导致靠近外壁的气体加热块，中间加热慢，后者的体积过大，较为浪费沉积炉内部体积。

实用新型内容

本实用新型公开一种化学气相沉积炉的炉底加热装置，旨在现有技术下，外壁加热存在的加热不均和中间位置加热浪费炉内体积的技术问题。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种化学气相沉积炉的炉底加热装置，包括气相沉积炉，所述气相沉积炉的一侧内壁设置有通气外壳，且气相沉积炉的底端内壁固定连接有分流底盘，所述分流底盘的顶端外壁固定连接有第二导热隔板，且第二导热隔板的顶端外壁设置有加热器，所述第二导热隔板的顶端外壁同时固定连接有导热隔板，且导热隔板覆盖在加热器的上方，所述分流底盘的底端外壁固定连接有第三导热隔板，且第三导热隔板的底端外壁固定连接有底座，所述底座的底端内壁设置有第二加热器，所述气相沉积炉的顶端内壁固定连接有进气口，且进气口与通气外壳相连，所述气相沉积炉的顶端外壁固定连接有气体传输泵，且气体传输泵包括输出端和输入端，所述气体传输泵的输出端连接有出气管，且气体传输泵的输入端连接有进气管。

通过设置有气体传输泵、分流底盘、加热器和第二加热器，当化学气体通过通气外壳进入到分流底盘内时，气体会在分流底盘内进行分散，且压缩气体流通高度，在上方加热器和第二加热器的作用下，对流经分流底盘的气体进行均匀加热，当气体穿过分流底盘进入到气相沉积炉内时，通过加热器对上方气相沉积炉内的气体继续加热，并在气体传输泵的作用下，带动气相沉积炉内的气体流通，从而保证二次加热也能实现均匀加热，通过两次均匀加热可提高气体的升温速度，有效提高反应效率。

在一个优选的方案中，所述出气管的一端连接在气相沉积炉的顶端内壁，且进气管的一端设置在气相沉积炉内靠近第二导热隔板的位置，所述分流底盘的一侧内壁固定连接有多个隔板，且多个隔板将分流底盘分为多个分流槽，所述通气外壳包括通气槽，且通气槽的位置对应于位于中间位置的分流槽，所述通气外壳的一侧内壁固定连接有多个第二隔板，且多个第二隔板的位置对应于位于外侧的分流槽位置，多个所述第二隔板的顶端固定连接有引流板。

通过设置有隔板、第二隔板和引流板，当气体在通气外壳内部流通时，通过设置的第二隔板能将通气外壳内的通气槽隔开，并与多个分流槽的位置对应，从而实现将气体进行分割，降低气体流通分流底盘的速度，强化加热效果，同时通过设置的引流板可使气体在通气槽内均匀分割。

在一个优选的方案中，所述分流底盘的一侧内壁设置有卡槽，且卡槽的内部穿插有多个置物架，多个所述置物架的位置与多个分流槽相对应，多个所述置物架的一侧外壁固定连接有支板，且支板与卡槽的内壁贴合，所述支板和卡槽的连接位置设置有密封垫，且支板的一侧外壁固定连接有把手，所述底座的一侧外壁固定连接有连接扣，且分流底盘的一侧外壁固定连接有支撑壳，所述支撑壳的内壁活动穿插有插块，且插块同时穿插在连接扣的内壁，所述插块的一侧外壁固定连接有拨块，且拨块穿过支撑壳。

通过设置有多个支架，多个支架通过卡槽穿插在分流底盘的内壁，并通过密封垫、连接扣、插块和支撑壳保证连接位置的密封性，其中支架上可放置用于沉积的晶片，从而使停止输气后残留在分流底盘内的化学气体也能充分利用，避免浪费。

由上可知，一种化学气相沉积炉的炉底加热装置，包括气相沉积炉，所述气相沉积炉的一侧内壁设置有通气外壳，且气相沉积炉的底端内壁固定连接有分流底盘，所述分流底盘的顶端外壁固定连接有第二导热隔板，且第二导热隔板的顶端外壁设置有加热器，所述第二导热隔板的顶端外壁同时固定连接有导热隔板，且导热隔板覆盖在加热器的上方，所述分流底盘的底端外壁固定连接有第三导热隔板，且第三导热隔板的底端外壁固定连接有底座，所述底座的底端内壁设置有第二加热器，所述气相沉积炉的顶端内壁固定连接有进气口，且进气口与通气外壳相连，所述气相沉积炉的顶端外壁固定连接有气体传输泵，且气体传输泵包括输出端和输入端，所述气体传输泵的输出端连接有出气管，且气体传输泵的输入端连接有进气管。本实用新型提供的化学气相沉积炉的炉底加热装置具有通过两次均匀加热提高气体的升温速度，有效提高反应效率的技术效果。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种化学气相沉积炉的炉底加热装置的整体结构示意图。

图2为本实用新型提出的一种化学气相沉积炉的炉底加热装置的拆分结构示意图。

图3为本实用新型提出的一种化学气相沉积炉的炉底加热装置的分流底盘拆分结构示意图。

图4为本实用新型提出的一种化学气相沉积炉的炉底加热装置的通气外壳截面图。

附图中：1、进气管；2、气体传输泵；3、出气管；4、进气口；5、气相沉积炉；6、通气外壳；7、导热隔板；8、加热器；9、第二导热隔板；10、分流底盘；11、隔板；12、第三导热隔板；13、第二加热器；14、底座；15、连接扣；16、把手；17、支板；18、卡槽；19、置物架；20、插块；21、拨块；22、支撑壳；23、通气槽；24、引流板；25、第二隔板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

本实用新型公开的一种化学气相沉积炉的炉底加热装置主要应用于化学气相沉积炉加热的场景。

参照图1和图2，一种化学气相沉积炉的炉底加热装置，包括气相沉积炉5，气相沉积炉5的一侧内壁设置有通气外壳6，且气相沉积炉5的底端内壁固定连接有分流底盘10，分流底盘10的顶端外壁固定连接有第二导热隔板9，且第二导热隔板9的顶端外壁设置有加热器8，第二导热隔板9的顶端外壁同时固定连接有导热隔板7，且导热隔板7覆盖在加热器8的上方，分流底盘10的底端外壁固定连接有第三导热隔板12，且第三导热隔板12的底端外壁固定连接有底座14，底座14的底端内壁设置有第二加热器13，气相沉积炉5的顶端内壁固定连接有进气口4，且进气口4与通气外壳6相连，气相沉积炉5的顶端外壁固定连接有气体传输泵2，且气体传输泵2包括输出端和输入端，气体传输泵2的输出端连接有出气管3，且气体传输泵2的输入端连接有进气管1。

参照图1，在一个优选的实施方式中，出气管3的一端连接在气相沉积炉5的顶端内壁，且进气管1的一端设置在气相沉积炉5内靠近第二导热隔板9的位置。

参照图2和图3，在一个优选的实施方式中，分流底盘10的一侧内壁固定连接有多个隔板11，且多个隔板11将分流底盘10分为多个分流槽。

参照图4，在一个优选的实施方式中，通气外壳6包括通气槽23，且通气槽23的位置对应于位于中间位置的分流槽，通气外壳6的一侧内壁固定连接有多个第二隔板25，且多个第二隔板25的位置对应于位于外侧的分流槽位置，多个第二隔板25的顶端固定连接有引流板24，通过设置有隔板11、第二隔板25和引流板24，当气体在通气外壳6内部流通时，通过设置的第二隔板25能将通气外壳6内的通气槽23隔开，并与多个分流槽的位置对应，从而实现将气体进行分割，降低气体流通分流底盘10的速度，强化加热效果，同时通过设置的引流板24可使气体在通气槽23内均匀分割。

参照图3，在一个优选的实施方式中，分流底盘10的一侧内壁设置有卡槽18，且卡槽18的内部穿插有多个置物架19，多个置物架19的位置与多个分流槽相对应。

参照图3，在一个优选的实施方式中，多个置物架19的一侧外壁固定连接有支板17，且支板17与卡槽18的内壁贴合，支板17和卡槽18的连接位置设置有密封垫，且支板17的一侧外壁固定连接有把手16。

参照图3，在一个优选的实施方式中，底座14的一侧外壁固定连接有连接扣15，且分流底盘10的一侧外壁固定连接有支撑壳22，支撑壳22的内壁活动穿插有插块20，且插块20同时穿插在连接扣15的内壁，插块20的一侧外壁固定连接有拨块21，且拨块21穿过支撑壳22，通过设置有多个支架19，多个支架19通过卡槽18穿插在分流底盘10的内壁，并通过密封垫、连接扣15、插块20和支撑壳22保证连接位置的密封性，其中支架19上可放置用于沉积的晶片，从而使停止输气后残留在分流底盘10内的化学气体也能充分利用，避免浪费。

工作原理：使用时，当化学气体通过通气外壳6进入到分流底盘10内时，气体会在分流底盘10内进行分散，且压缩气体流通高度，在上方加热器8和第二加热器13的作用下，对流经分流底盘10的气体进行均匀加热，当气体穿过分流底盘10进入到气相沉积炉5内时，通过加热器8对上方气相沉积炉5内的气体继续加热，并在气体传输泵2的作用下，带动气相沉积炉5内的气体流通，从而保证二次加热也能实现均匀加热，通过两次均匀加热可提高气体的升温速度，有效提高反应效率。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此。所述替代可以是部分结构、器件、方法步骤的替代，也可以是完整的技术方案。根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种化学气相沉积炉的炉底加热装置，包括气相沉积炉(5)，其特征在于，所述气相沉积炉(5)的一侧内壁设置有通气外壳(6)，且气相沉积炉(5)的底端内壁固定连接有分流底盘(10)，所述分流底盘(10)的顶端外壁固定连接有第二导热隔板(9)，且第二导热隔板(9)的顶端外壁设置有加热器(8)，所述第二导热隔板(9)的顶端外壁同时固定连接有导热隔板(7)，且导热隔板(7)覆盖在加热器(8)的上方，所述分流底盘(10)的底端外壁固定连接有第三导热隔板(12)，且第三导热隔板(12)的底端外壁固定连接有底座(14)，所述底座(14)的底端内壁设置有第二加热器(13)，所述气相沉积炉(5)的顶端内壁固定连接有进气口(4)，且进气口(4)与通气外壳(6)相连，所述气相沉积炉(5)的顶端外壁固定连接有气体传输泵(2)，且气体传输泵(2)包括输出端和输入端，所述气体传输泵(2)的输出端连接有出气管(3)，且气体传输泵(2)的输入端连接有进气管(1)。

2.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积炉的炉底加热装置，其特征在于，所述出气管(3)的一端连接在气相沉积炉(5)的顶端内壁，且进气管(1)的一端设置在气相沉积炉(5)内靠近第二导热隔板(9)的位置。

3.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积炉的炉底加热装置，其特征在于，所述分流底盘(10)的一侧内壁固定连接有多个隔板(11)，且多个隔板(11)将分流底盘(10)分为多个分流槽。

4.根据权利要求3所述的一种化学气相沉积炉的炉底加热装置，其特征在于，所述通气外壳(6)包括通气槽(23)，且通气槽(23)的位置对应于位于中间位置的分流槽，所述通气外壳(6)的一侧内壁固定连接有多个第二隔板(25)，且多个第二隔板(25)的位置对应于位于外侧的分流槽位置，多个所述第二隔板(25)的顶端固定连接有引流板(24)。

5.根据权利要求4所述的一种化学气相沉积炉的炉底加热装置，其特征在于，所述分流底盘(10)的一侧内壁设置有卡槽(18)，且卡槽(18)的内部穿插有多个置物架(19)，多个所述置物架(19)的位置与多个分流槽相对应。

6.根据权利要求5所述的一种化学气相沉积炉的炉底加热装置，其特征在于，多个所述置物架(19)的一侧外壁固定连接有支板(17)，且支板(17)与卡槽(18)的内壁贴合，所述支板(17)和卡槽(18)的连接位置设置有密封垫，且支板(17)的一侧外壁固定连接有把手(16)。

7.根据权利要求6所述的一种化学气相沉积炉的炉底加热装置，其特征在于，所述底座(14)的一侧外壁固定连接有连接扣(15)，且分流底盘(10)的一侧外壁固定连接有支撑壳(22)，所述支撑壳(22)的内壁活动穿插有插块(20)，且插块(20)同时穿插在连接扣(15)的内壁，所述插块(20)的一侧外壁固定连接有拨块(21)，且拨块(21)穿过支撑壳(22)。

Images