CN218460289U - 一种洗净机加液装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种洗净机加液装置，底座支架上分别放置有药液桶、流量泵，药液桶的出口与流量泵的入口连接，流量泵的出口通过第一管道与清洗槽连接，药液桶通过第二管道与氮气瓶出口端阀门连接，药液桶上设置有压差式液位传感器。本实用新型采用打开氮气瓶出口端阀门，让氮气从第二管道进入药液桶，通过吹氮气的方式在药液中和大气压之间形成压差，压差式液位传感器能显示液位的高度，防止药液液位过高或者过低；然后关闭氮气瓶出口端阀门，最后启动流量泵，通过第一管道路向清洗槽中定量加入药液桶中的液体，解决了手动加液不准确的问题，具有方便快捷、安全高效的优点。

Description

一种洗净机加液装置

技术领域

本实用新型涉及洗净机加液技术领域，具体涉及一种洗净机加液装置。

背景技术

对于硅片抛光生产过程中，现有技术的陶瓷板洗净机会使用一种含有KOH的混合药液；一般使用对应规格的量桶来量取以上药液倒入洗净槽内进行配比。存在以下技术缺陷：不同人员之间的手动加液操作存在明显偏差，量筒一般较难准确地量取所需体积，将影响到清洗的效果，手动加液本身也将占用操作人员大量的时间和精力，并且存在一定的安全隐患。

如何解决手动加液不准确的问题，如何方便快捷的自动加液，成为急需解决的问题。

实用新型内容

针对现有技术存在的问题，本实用新型提供一种洗净机加液装置，以解决上述至少一种技术问题。

本实用新型的技术方案是：一种洗净机加液装置，包括底座支架，所述底座支架上分别放置有药液桶、流量泵，药液桶的出口与流量泵的入口连接，流量泵的出口通过第一管道与清洗槽连接，药液桶通过第二管道与氮气瓶出口端阀门连接，药液桶上设置有压差式液位传感器。

本实用新型采用打开氮气瓶出口端阀门，让氮气从第二管道进入药液桶，通过吹氮气的方式在药液中和大气压之间形成压差，压差式液位传感器能显示液位的高度，防止药液液位过高或者过低；然后关闭氮气瓶出口端阀门，最后启动流量泵，通过第一管道路向清洗槽中定量加入药液桶中的液体，解决了手动加液不准确的问题，具有方便快捷、安全高效的优点。

优选，所述第一管道上设置有气动阀，气动阀控制第一管道通断；第二管道上设置有电磁阀，电磁阀控制第二管道通断；药液桶的底部设置有启闭开关，启闭开关与流量泵的开关电路、电磁阀连接。

本实用新型采用在药液桶的底部设置启闭开关，放上药液桶即能通过启闭开关启动电路，拿下药液桶即能断开电路；启闭开关通过与流量泵的开关电路、电磁阀开关连接，控制流量泵及第二管道的通断，避免了安全隐患。

优选，所述底座支架上设置有沉台，沉台位于药液桶的下方，启闭开关位于沉台内。

本实用新型采用沉台安装启闭开关，安装位置巧妙，避免了启闭开关损坏，延长了使用寿命。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图中：1.底座支架；2.药液桶；3.流量泵；4.气动阀；5清洗槽；6.PLC及触摸屏控制系统；7.压差式液位传感器；8.氮气瓶；9.启闭开关。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步的说明。

参阅图1，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。

实施例一、一种洗净机加液装置，参考图1，包括底座支架1，所述底座支架1上分别放置有药液桶2、流量泵3，药液桶2的出口与流量泵3的入口连接，流量泵3的出口通过第一管道与清洗槽5连接，药液桶2通过第二管道与氮气瓶8出口端阀门连接，药液桶2上设置有压差式液位传感器7；药液桶2采用FTFE材质可以盛装酸碱等腐蚀性液体，例如KOH等；第二管道采用特氟龙材质，有效防腐防高温。本实用新型采用打开氮气瓶出口端阀门，让氮气从第二管道进入药液桶，通过吹氮气的方式在药液中和大气压之间形成压差，压差式液位传感器能显示液位的高度，防止药液液位过高或者过低；然后通过观测压差式液位传感器的指针或读数关闭氮气瓶出口端阀门，最后启动流量泵，通过第一管道路向清洗槽中定量加入药液桶中的液体，解决了手动加液不准确的问题，具有方便快捷、安全高效的优点。

实施例二、在实施例一的基础上，所述第一管道上设置有气动阀4，气动阀4控制第一管道通断；第二管道上设置有电磁阀，电磁阀控制第二管道通断；药液桶2的底部设置有启闭开关9，启闭开关9与流量泵3的开关电路、电磁阀连接；启闭开关9为按压开关。本实用新型采用在药液桶的底部设置启闭开关，放上药液桶即能通过启闭开关启动电路，拿下药液桶即能断开电路；启闭开关通过与流量泵的开关电路、电磁阀开关连接，控制流量泵及第二管道的通断，避免了安全隐患。

实施例三、在实施例一的基础上，所述底座支架1上设置有沉台，沉台位于药液桶2的下方，启闭开关9位于沉台内。本实用新型采用沉台安装启闭开关，安装位置巧妙，避免了启闭开关损坏，延长了使用寿命。

实施例四、在实施例二的基础上，所述流量泵3的开关电路上设置有PLC控制器6，PLC控制器6分别连接触摸屏、电磁阀、气动阀4、启闭开关9。所述启闭开关9采用光电传感器。本实用新型采用PLC控制器及触摸屏，通过光电感应器检测有无药液桶来控制流量泵准备信号的开关，并且触摸屏上可以设置加液时间以及加液的量，并在加液过程中实时显示实际数值，能方便快捷的自动加液。

实施例五、在实施例四的基础上，压差式液位传感器7与PLC控制器6连接。本实用新型的操作方法：使用时，打开设备的电源开关，将药液桶2放于底座支架1处，此时由于药液桶2的阻挡，光电感应器将处于接通状态，在触摸屏上设置好加液的流速、加液时间，点击启动键后打开电磁阀，让氮气从第二管道进入药液桶2，通过吹氮气的方式在药液中和大气压之间形成压差，压差式液位传感器7将液位的高度显示在触摸屏上，在满足设定的压力值后启动流量泵3、关闭电磁阀，通过第一管道向清洗槽5中加液，计时结束则停止加液；加完液后取下药液桶2，光电感应器信号断开，再依次放上其它需要加液的药液桶2，重复以上步骤，进行自动加液，并进行计时。本实用新型采用PLC控制器用于接收压差式液位传感器的信号，在满足设定的压力值后启动流量泵，通过第一管道向清洗槽中定量加入药液桶中的液体，供液时间和流速可以在触摸屏上进行设置，能方便快捷的多次定量加液。

以上仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (5)

1.一种洗净机加液装置，包括底座支架(1)，其特征在于：所述底座支架(1)上分别放置有药液桶(2)、流量泵(3)，药液桶(2)的出口与流量泵(3)的入口连接，流量泵(3)的出口通过第一管道与清洗槽(5)连接，药液桶(2)通过第二管道与氮气瓶(8)出口端阀门连接，药液桶(2)上设置有压差式液位传感器(7)。

2.根据权利要求1所述的一种洗净机加液装置，其特征在于：所述第一管道上设置有气动阀(4)，气动阀(4)控制第一管道通断；第二管道上设置有电磁阀，电磁阀控制第二管道通断；药液桶(2)的底部设置有启闭开关(9)，启闭开关(9)与流量泵(3)的开关电路、电磁阀连接。

3.根据权利要求1所述的一种洗净机加液装置，其特征在于：所述底座支架(1)上设置有沉台，沉台位于药液桶(2)的下方，启闭开关(9)位于沉台内。

4.根据权利要求2所述的一种洗净机加液装置，其特征在于：所述流量泵(3)的开关电路上设置有PLC控制器(6)，PLC控制器(6)分别连接触摸屏、电磁阀、气动阀(4)、启闭开关(9)。

5.根据权利要求4所述的一种洗净机加液装置，其特征在于：所述启闭开关(9)采用光电感应器，压差式液位传感器(7)与PLC控制器(6)连接。

Images