CN218455789U - 一种用于测量磁棒长度方向三坐标磁场均匀性检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种用于测量磁棒长度方向三坐标磁场均匀性检测装置。目前的磁棒磁场强度均匀性的检测方式存在检测效率低下，检测数据准确度低的问题。本实用新型包括底座，其特征在于所述的底座上设置主固定底板，所述的主固定底板上设置用于安装磁棒的定位工装，所述的主固定板上还设置三坐标磁探针，所述的三坐标磁探针安装在一能相对磁棒作水平和垂直移动的调节机构上，所述的调节机构还包括半圆形轨道，所述半圆形轨道的圆心对应磁棒的圆心，所述的三坐标磁探针能在电机驱动下沿半圆形轨道滑动。本实用新型能有效提高检测效率和检测精度，减少误差。

Description

一种用于测量磁棒长度方向三坐标磁场均匀性检测装置

技术领域

本实用新型属于磁棒磁场检测技术领域，尤其涉及一种用于测量磁棒长度方向三坐标磁场均匀性检测装置。

背景技术

目前磁控溅射阴极被广泛用于各种镀膜行业，例如建筑玻璃镀膜、太阳能电池镀膜、电子行业镀膜、工具镀膜、装饰镀膜、各类镜片镀膜等等。磁棒作为磁控溅射工艺中的核心组件之一，在磁场长度方向上的均匀性对磁控溅射工艺的均匀性有至关重要的影响。

目前的磁棒磁场强度均匀性的检测方式多数采用纯人工测量，或者半自动测量的方式进行。主要缺点包括以下几点：1、检测效率低下，一米长度方向若是每10mm一个测量点，需要测量时间约为10分钟。2、检测数据准确度低，与实际的使用环境存在较大的差异性。3、只能检测三维坐标中的某一个方向上磁场强度值，无法同时测量。

实用新型内容

本实用新型针对现有技术存在的缺点，提供一种用于测量磁棒长度方向三坐标磁场均匀性检测装置，能有效提高检测效率和检测精度，减少误差。

为此，本实用新型采取如下的技术方案：一种用于测量磁棒长度方向三坐标磁场均匀性的检测装置，包括底座，其特征在于所述的底座上设置主固定底板，所述的主固定底板上设置用于安装磁棒的定位工装，所述的主固定底板上还设置三坐标磁探针，所述的三坐标磁探针安装在一能相对磁棒作水平和垂直移动的调节机构上，所述的调节机构还包括半圆形轨道，所述半圆形轨道的圆心对应磁棒的圆心，所述的三坐标磁探针能在电机驱动下沿半圆形轨道滑动。

作为优选，所述的主固定底板上设置中心滑轨，所述的中心滑轨上设置由另一电机驱动控制的滑块，所述的滑块上安装所述的半圆形轨道。

作为优选，所述的调节机构包括调节块，调节块设置在半圆形轨道上，调节块的一端通过升降机构连接所述的三坐标磁探针。

作为优选，所述的升降机构包括与调节块连接的竖向滑轨，所述的滑轨上设置竖向滑块和锁紧螺母，所述的竖向滑块上设置所述的三坐标磁探针。

作为优选，所述的定位工装包括对称设置的固定支撑板和活动支撑板，两个支撑板的板面上设置定位件定位所述的磁棒。

作为优选，所述活动支撑板的底端设置固定块，所述的固定块安装在主固定底板上的两侧滑轨上。

作为优选，所述滑块的上端通过两个立柱连接所述的半圆形轨道。

作为优选，所述主固定底板的下部均匀布置多个可调支撑机构，可调支撑机构的底部设置底脚固定板。

作为优选，所述的可调支撑机构包括上段支撑柱和下段支撑柱，上段支撑柱的底支撑面和下段支撑柱的顶支撑面之间通过多个调节螺杆连接。

本实用新型的有益效果在于：通过组合机构进行位置调节，实现了测量点的位置立体化，数字化，避免了人工寻找位置，移动位置造成的偏差，能使最终平整度控制在0.1mm以内。

本实用新型能够有效测量磁棒对应位置长度方向的三坐标磁场强度均匀性，弥补了通过数学模型模拟的数据与实际生产中数据的差距分析手段。通过所测量的数据，可以分析得出在生产过程中产生与数学模型出现偏差的原因，并对相对应的零件就行修正。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图。

图2为本实用新型另一角度的结构示意图。

图3为本实用新型省略磁棒的结构示意图。

图4为本实用新型调节机构与三坐标磁探针的连接结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步详细描述。

如图1-图4所示的一种用于测量磁棒长度方向三坐标磁场均匀性检测装置，包括底座，底座上设置主固定底板4，主固定底板上设置用于安装磁棒的定位工装，主固定底板上还设置三坐标磁探针10，所述的三坐标磁探针10安装在一能相对磁棒作水平和垂直移动的调节机构上，所述的调节机构还包括半圆形轨道8，半圆形轨道的圆心对应磁棒11的圆心，所述的三坐标磁探针10能在电机驱动下沿半圆形轨道滑动。

一个实施例中，主固定底板上设置中心滑轨5，中心滑轨5上设置由另一电机驱动控制的滑块7，滑块7上安装所述的半圆形轨道8。中心滑轨布置在磁棒下方且与磁棒的长度方向一致，通过伺服电机驱动滑块能沿磁棒的长度方向作水平移动。

如图4所示，一个实施例中，调节机构包括调节块9，调节块9设置在半圆形轨道8上，调节块9的一端通过升降机构连接所述的三坐标磁探针10。调节块也是通过伺服电机驱动使其能够沿着半圆形轨道进行移动，半圆形轨道上形成凸筋，调节块的下部形成与凸筋相配的卡槽。

具体的，在调节块的外端部设置竖向滑轨16，竖向滑轨上设置竖向滑块 17和锁紧螺母，所述的竖向滑块17上设置所述的三坐标磁探针10。竖向滑块在竖向滑轨上移动能够改变竖向滑块的高度，从而调节三坐标磁探针10的高度。

具体的，滑块7的上端通过两个立柱15连接所述的半圆形轨道。通过左右对称的两个立柱可靠固定和支撑半圆形轨道。

一个具体实施例中，定位工装包括对称设置的固定支撑板6和活动支撑板 14，两个支撑板的板面上设置定位件定位所述的磁棒11。通过设置活动支撑板能够改变两个支撑板的间距，便于定位不同长度的磁棒，满足对不同规格磁棒的测试需求。

具体的，活动支撑板14的底端设置固定块13，所述的固定块安装在主固定底板上的两侧滑轨12上。活动支撑板在底部设置固定块连接在滑轨上，再配置锁紧件，根据待测磁棒的规格选择调节活动支撑板的位置。固定支撑板则通过紧固件可靠固定在底板的一端。

一个实施例中，主固定底板的下部均匀布置多个可调支撑机构，可调支撑机构的底部设置底脚固定板1。

具体的，可调支撑机构包括上段支撑柱3和下段支撑柱，上段支撑柱的底支撑面和下段支撑柱的顶支撑面之间通过多个调节螺杆2连接。为了应对地面平整度的问题，可调支撑机构可以很好地让平台的水平误差得到控制，最终平整度控制在0.1mm以内。

本实用新型测量时先调节半圆形轨道8和调节块9的位置，得到测量点的位置，然后通过滑块7在滑轨上的移动，获得整个长度方向的磁场三坐标数据。再调节半圆形轨道8和调节块9的位置可以得到不同直径以及不同法向位置下的数据，多次测量后，即可勾勒出所需求的磁场分布立体图。

本实用新型通过滑块7、调节块9、半圆形轨道8和竖向滑块17等部件构成的组合调节机构能够带动三坐标磁探针10改变位置，实现了测量点的位置立体化，数字化，准确度更高，且避免了人工寻找位置，移动位置造成偏差的问题，能有效提高检测效率和检测精度，减少误差。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。

Claims (9)

1.一种用于测量磁棒长度方向三坐标磁场均匀性检测装置，包括底座，其特征在于所述的底座上设置主固定底板(4)，所述的主固定底板上设置用于安装磁棒的定位工装，所述的主固定底板上还设置三坐标磁探针(10)，所述的三坐标磁探针(10)安装在一能相对磁棒作水平和垂直移动的调节机构上，所述的调节机构还包括半圆形轨道(8)，所述半圆形轨道的圆心对应磁棒(11)的圆心，所述的三坐标磁探针(10)能在电机驱动下沿半圆形轨道滑动。

2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于所述的主固定底板上设置中心滑轨(5)，所述的中心滑轨(5)上设置由另一电机驱动控制的滑块(7)，所述的滑块(7)上安装所述的半圆形轨道(8)。

3.根据权利要求1或2所述的检测装置，其特征在于所述的调节机构包括调节块(9)，调节块(9)设置在半圆形轨道(8)上，调节块(9)的一端通过升降机构连接所述的三坐标磁探针(10)。

4.根据权利要求3所述的检测装置，其特征在于所述的升降机构包括与调节块连接的竖向滑轨(16)，所述的滑轨上设置竖向滑块(17)和锁紧螺母，所述的竖向滑块(17)上设置所述的三坐标磁探针(10)。

5.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于所述的定位工装包括对称设置的固定支撑板(6)和活动支撑板(14)，两个支撑板的板面上设置定位件定位所述的磁棒(11)。

6.根据权利要求5所述的检测装置，其特征在于所述活动支撑板(14)的底端设置固定块(13)，所述的固定块安装在主固定底板上的两侧滑轨(12)上。

7.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于所述滑块(7)的上端通过两个立柱(15)连接所述的半圆形轨道。

8.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于所述主固定底板的下部均匀布置多个可调支撑机构，可调支撑机构的底部设置底脚固定板(1)。

9.根据权利要求8所述的检测装置，其特征在于所述的可调支撑机构包括上段支撑柱(3)和下段支撑柱，上段支撑柱的底支撑面和下段支撑柱的顶支撑面之间通过多个调节螺杆(2)连接。

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