CN218445591U - 一种用于芯片晶圆测试台的固定机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种用于芯片晶圆测试台的固定机构，包括有底座，所述底座的顶部设置有检测台，所述检测台的内部设置有固定机构，所述固定机构包括有方槽，所述方槽开设于检测台的内部，所述方槽的内腔右侧壁转动连接有一端贯穿并延伸至检测台外部的活动杆。该用于芯片晶圆测试台的固定机构，通过设置有固定机构，从而使得工作人员可以方便快捷的将晶圆固定在检测台的顶部，而且方便左右调节晶圆在检测台顶部的位置，从而方便工作人员的测试工作的开展，避免晶圆受到外力影响而产生震动或者偏移，使得对晶圆的测试可以保障其高效准确，从而使得工作人员的工作强度降低，并且使得用于芯片晶圆测试台的固定机构的实用性增强。
Description
技术领域
本实用新型涉及芯片晶圆技术领域，具体为一种用于芯片晶圆测试台的固定机构。
背景技术
晶圆是指制作半导体芯片所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨、抛光和切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，国内晶圆生产线以八英寸和十二英寸为主，晶圆的主要加工方式为片加工和批加工，即同时加工一片或多片晶圆，随着半导体特征尺寸越来越小，加工及测量设备越来越先进，使得晶圆加工出现了新的数据特点，所以对于芯片行业来说，对晶圆的测试是必不可少的，一般是要求高效准确，实现实时检测，因此常用芯片晶圆测试台来对生产的晶圆进行测试。
目前现有技术中芯片晶圆测试台缺少固定限制晶圆的装置结构，使得在工作人员对晶圆进行测试时不太方便，在测试过程中，晶圆容易受到外力影响而产生偏移或者震动，进而影响了对晶圆测试结果的高效准确性，并且使得工作人员的测试工作需要重复多次进行，使得该工作的工作强度较高，故而提出一种用于芯片晶圆测试台的固定机构来解决上述问题。
实用新型内容
针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种用于芯片晶圆测试台的固定机构，具备方便固定的优点，解决了芯片晶圆测试台缺少固定限制晶圆的装置结构，使得在工作人员对晶圆进行测试时不太方便，在测试过程中，晶圆容易受到外力影响而产生偏移或者震动，进而影响了对晶圆测试结果的高效准确性，并且使得工作人员的测试工作需要重复多次进行，使得该工作的工作强度较高的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于芯片晶圆测试台的固定机构，包括有底座，所述底座的顶部设置有检测台，所述检测台的内部设置有固定机构；
所述固定机构包括有方槽，所述方槽开设于检测台的内部，所述方槽的内腔右侧壁转动连接有一端贯穿并延伸至检测台外部的活动杆，所述活动杆的外表面螺纹连接有安装板，所述安装板的正面转动连接有两个安装杆，两个所述安装杆的顶部均固定连接有伸缩杆，两个所述伸缩杆的顶部均铰接有连接杆，两个所述连接杆的顶部均固定连接有位于检测台顶部的限制块，所述安装板的正面设置有辅助机构。
进一步，所述辅助机构包括有两个挡板，两个所述挡板的背面均与安装板的正面固定连接，两个所述挡板的相对一侧固定连接有直杆，所述直杆的外表面滑动连接有两个齿条，两个所述齿条的正面均固定连接有一端贯穿并延伸至检测台外部的把手，两个所述安装杆的外表面固定连接有与齿条顶部相啮合的齿轮。
进一步，所述底座的顶部固定安装有安装架，所述安装架的正面活动安装有观测装置，所述检测台的底部与底座的顶部固定连接。
进一步，所述方槽的内腔右侧壁固定安装有底座，所述底座的内表面与活动杆的外表面转动连接。
进一步，所述方槽的内顶壁开设有通槽，所述通槽的内表面与连接杆的外表面滑动连接。
进一步，所述直杆的外表面活动安装有辅助弹簧，所述辅助弹簧的左右两侧分别与两个齿条的相对一侧固定连接。
进一步，所述方槽的内腔前侧壁开设有活动槽，所述活动槽的内表面与把手的外表面滑动连接。
与现有技术相比，本申请的技术方案具备以下有益效果：
该用于芯片晶圆测试台的固定机构，通过设置有固定机构，从而使得工作人员可以方便快捷的将晶圆固定在检测台的顶部，而且方便左右调节晶圆在检测台顶部的位置，从而方便工作人员的测试工作的开展，避免晶圆受到外力影响而产生震动或者偏移，使得对晶圆的测试可以保障其高效准确，从而使得工作人员的工作强度降低，并且使得用于芯片晶圆测试台的固定机构的实用性增强。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图；
图2为本实用新型结构示意图1中的A处放大图；
图3为本实用新型结构示意图1的正视图。
图中：1底座、2检测台、3固定机构、301方槽、302活动杆、303安装板、304安装杆、305伸缩杆、306连接杆、307限制块、308辅助机构、3081挡板、3082直杆、3083齿条、3084把手、3085齿轮、4安装架、5观测装置。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-3，本实施例中的一种用于芯片晶圆测试台的固定机构，包括有底座1，底座1的顶部设置有检测台2，检测台2的底部与底座1的顶部固定连接，方便在检测台2顶部进行测试，检测台2的内部设置有固定机构3，底座1的顶部固定安装有安装架4，安装架4的正面活动安装有观测装置5。
具体的，通过设置有固定机构3，从而使得工作人员可以方便快捷的将晶圆固定在检测台2的顶部，而且方便左右调节晶圆在检测台2顶部的位置，从而方便工作人员的测试工作的开展，避免晶圆受到外力影响而产生震动或者偏移。
本实施例中，固定机构3包括有方槽301，有利于固定机构3的部分组件安装运转，方槽301开设于检测台2的内部，方槽301的内腔右侧壁转动连接有一端贯穿并延伸至检测台2外部的活动杆302，方槽301的内腔右侧壁固定安装有底座，底座的内表面与活动杆302的外表面转动连接，方便活动杆302旋转，活动杆302的外表面螺纹连接有安装板303，使得旋转活动杆302可以控制安装板303的移动，安装板303的正面转动连接有两个安装杆304，两个安装杆304的顶部均固定连接有伸缩杆305，两个伸缩杆305的顶部均铰接有连接杆306，方槽301的内顶壁开设有通槽，通槽的内表面与连接杆306的外表面滑动连接，方便连接杆306在通槽的内部滑动，两个连接杆306的顶部均固定连接有位于检测台2顶部的限制块307，方便夹持芯片晶圆，安装板303的正面设置有辅助机构308。
具体的，通过设置有限制块307，旋转安装杆304带动伸缩杆305同步旋转，两个旋转的伸缩杆305带动两个连接杆306向相背一侧移动，进而使得两个限制块307同步移动，从而达到控制两个限制块307向相对一侧或者相背一侧移动，旋转活动杆302，进而使得活动杆302外表面的安装板303移动，从而达到控制两个限制块307同步向左或者向右移动。
本实施例中，辅助机构308包括有两个挡板3081，方便辅助机构308部分组件的安装运转，两个挡板3081的背面均与安装板303的正面固定连接，两个挡板3081的相对一侧固定连接有直杆3082，直杆3082的外表面滑动连接有两个齿条3083，直杆3082的外表面活动安装有辅助弹簧，辅助弹簧的左右两侧分别与两个齿条3083的相对一侧固定连接，使得两个齿条3083始终保持向相背一侧移动的作用力，两个齿条3083的正面均固定连接有一端贯穿并延伸至检测台2外部的把手3084，方槽301的内腔前侧壁开设有活动槽，活动槽的内表面与把手3084的外表面滑动连接，方便把手3084在活动槽的内部滑动，两个安装杆304的外表面固定连接有与齿条3083顶部相啮合的齿轮3085，使得移动齿条3083可以带动齿轮3085旋转。
具体的，通过设置有齿轮3085，相对一侧移动两个把手3084，两个把手3084带动两个齿条3083在直杆3082的外表面向相对一侧移动，进而挤压辅助弹簧并使其收缩，移动的齿条3083带动两个齿轮3085向相背一侧旋转，从而达到控制安装杆304的目的。
上述实施例的工作原理为：
在进行芯片晶圆测试时，使用者通过向相对一侧移动两个把手3084，两个把手3084带动两个齿条3083在直杆3082的外表面向相对一侧移动，进而挤压辅助弹簧并使其收缩，移动的齿条3083带动两个齿轮3085向相背一侧旋转，进而使得安装杆304带动伸缩杆305同步旋转，两个旋转的伸缩杆305带动两个连接杆306向相背一侧移动，进而使得两个限制块307同步移动，将芯片晶圆放入两个限制块307之间，松开把手3084，在辅助弹簧的弹性作用下，两个限制块307将芯片晶圆固定，旋转活动杆302，进而使得活动杆302外表面的安装板303移动，从而使得两个限制块307夹持芯片晶圆在检测台2顶部左右移动。
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (7)
1.一种用于芯片晶圆测试台的固定机构，包括有底座（1），其特征在于：所述底座（1）的顶部设置有检测台（2），所述检测台（2）的内部设置有固定机构（3）；
所述固定机构（3）包括有方槽（301），所述方槽（301）开设于检测台（2）的内部，所述方槽（301）的内腔右侧壁转动连接有一端贯穿并延伸至检测台（2）外部的活动杆（302），所述活动杆（302）的外表面螺纹连接有安装板（303），所述安装板（303）的正面转动连接有两个安装杆（304），两个所述安装杆（304）的顶部均固定连接有伸缩杆（305），两个所述伸缩杆（305）的顶部均铰接有连接杆（306），两个所述连接杆（306）的顶部均固定连接有位于检测台（2）顶部的限制块（307），所述安装板（303）的正面设置有辅助机构（308）。
2.根据权利要求1所述的一种用于芯片晶圆测试台的固定机构，其特征在于：所述辅助机构（308）包括有两个挡板（3081），两个所述挡板（3081）的背面均与安装板（303）的正面固定连接，两个所述挡板（3081）的相对一侧固定连接有直杆（3082），所述直杆（3082）的外表面滑动连接有两个齿条（3083），两个所述齿条（3083）的正面均固定连接有一端贯穿并延伸至检测台（2）外部的把手（3084），两个所述安装杆（304）的外表面固定连接有与齿条（3083）顶部相啮合的齿轮（3085）。
3.根据权利要求1所述的一种用于芯片晶圆测试台的固定机构，其特征在于：所述底座（1）的顶部固定安装有安装架（4），所述安装架（4）的正面活动安装有观测装置（5），所述检测台（2）的底部与底座（1）的顶部固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种用于芯片晶圆测试台的固定机构，其特征在于：所述方槽（301）的内腔右侧壁固定安装有底座，所述底座的内表面与活动杆（302）的外表面转动连接。
5.根据权利要求1所述的一种用于芯片晶圆测试台的固定机构，其特征在于：所述方槽（301）的内顶壁开设有通槽，所述通槽的内表面与连接杆（306）的外表面滑动连接。
6.根据权利要求2所述的一种用于芯片晶圆测试台的固定机构，其特征在于：所述直杆（3082）的外表面活动安装有辅助弹簧，所述辅助弹簧的左右两侧分别与两个齿条（3083）的相对一侧固定连接。
7.根据权利要求2所述的一种用于芯片晶圆测试台的固定机构，其特征在于：所述方槽（301）的内腔前侧壁开设有活动槽，所述活动槽的内表面与把手（3084）的外表面滑动连接。
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Cited By (1)
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| CN116430087A (zh) * | 2023-06-12 | 2023-07-14 | 南京银茂微电子制造有限公司 | 一种用于芯片晶圆测试台的固定机构 |
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| CN116430087B (zh) * | 2023-06-12 | 2023-09-01 | 南京银茂微电子制造有限公司 | 一种用于芯片晶圆测试台的固定机构 |
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Legal Events
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