CN218440394U - 一种可变阻尼的主动防微振基座 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种可变阻尼的主动防微振基座，包括顶板、底座和外壳，所述外壳内部安装有支撑板，所述外壳的顶部安装有盖板，所述顶板底部中间连接有推杆，所述推杆中间安装有竖向磁流变体，所述竖向磁流变体两侧支撑板与盖板之间安装有竖向骨架，所述竖向骨架上安装有线圈A，所述推杆底部连接有支撑框架，所述支撑框架内部安装有横向骨架，所述横向骨架上安装有线圈B，所述支撑框架与外壳之间连接有横向磁流变体，所述顶板底部安装有位置传感器和速度传感器，所述底座顶部安装有控制器。本实用新型结构简单，占地面积小，可根据振源大小改变系统阻尼，定位精确，隔振带宽，对0.5Hz~150Hz的振动干扰具有较好的隔振效果。
Description
技术领域
本实用新型涉及隔振装置技术领域，具体是一种可变阻尼的主动防微振基座。
背景技术
目前半导体行业飞速发展，半导体生产设备的精度要求越来越高，设备对微振动等环境的要求也越来越敏感，少许的微振动就会降低设备的产出良率，甚至使设备不能正常工作，因此对微振动的隔离变得越来越重要。
由外部环境振动及设备内部反作用力引起的微振动是制约超精密仪器测量精度与超精密加工装备制造精度的关键因素之一，高性能精密隔微振技术成为精密工程、超精密制造等领域的一项核心关键技术，对该技术的研究具有重要的实际意义与应用价值。振动控制部分是隔振平台的核心，针对中高频振动，多采用被动隔振，被动隔振结构简单、工作可靠、不依赖电源，可以有效地隔绝中高频振动干扰。针对低频甚至或超低频振动，多采用主动隔振。但是被动隔振一般适应于较简单的工作环境，被动材料的阻尼和刚度一般是不可变的，不能随着振动频率的大小调整阻尼，难以应对复杂多变的工作环境，隔振效果较差，定位不够精确。
实用新型内容
实用新型的目的在于提供一种可变阻尼的主动防微振基座，以解决上述背景技术中存在的问题。
本实用新型的技术方案是这样实现的：
一种可变阻尼的主动防微振基座，包括顶板、底座和外壳，所述外壳内部安装有支撑板，所述外壳的顶部安装有盖板，所述顶板底部中间连接有推杆，所述推杆中间安装有竖向磁流变体，所述竖向磁流变体两侧支撑板与盖板之间安装有竖向骨架，所述竖向骨架上安装有线圈A，所述推杆底部连接有支撑框架，所述支撑框架内部安装有横向骨架，所述横向骨架上安装有线圈B，所述支撑框架与外壳之间连接有横向磁流变体，所述顶板底部安装有位置传感器和速度传感器，所述底座顶部安装有控制器。
进一步地，所述推杆穿过盖板和支撑板与盖板和支撑板滑动连接。
进一步地，所述支撑框架由铝合金板制成矩形框体。
进一步地，所述顶板由不锈钢板制成圆形结构。
进一步地，所述底座由铝合金板制成圆形结构。
进一步地，所述外壳由铝合金板制成圆筒形。
进一步地，所述支撑板、盖板均由铝合金板制成圆形结构。
进一步地，所述控制器通过电缆与线圈A、线圈B、位置传感器、速度传感器连接。
本实用新型的有益效果为：
本实用新型通过改变线圈B电流大小改变横向磁场强度，从而改变磁流变体的力学特性，磁场强度越大，横向磁流变体的形变越大，系统垂向阻尼越大，从而提高系统的隔振带宽；另外通过改变线圈A电流大小改变竖向磁场强度，从而改变竖向磁流变体的形变，实现竖向驱动隔振。本实用新型结构简单，占地面积小，可根据振源大小改变系统阻尼，定位精确，隔振带宽，对0.5Hz~150Hz的振动干扰具有较好的隔振效果。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
图中1-顶板，2-底座，3-外壳，4-支撑板，5-盖板，6-推杆，7-竖向磁流变体，8-竖向骨架，9-线圈A，10-支撑框架，11-横向骨架，12-线圈B，13-横向磁流变体，14-位置传感器，15-速度传感器，16-控制器。
具体实施方式
下面将结合实施例对本实用新型技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述地实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
如图1所示，一种可变阻尼的主动防微振基座，包括顶板1、底座2和外壳3，所述外壳3内部安装有支撑板4，所述外壳3的顶部安装有盖板5，所述顶板1底部中间连接有推杆6，所述推杆6中间安装有竖向磁流变体7，所述竖向磁流变体7两侧支撑板4与盖板5之间安装有竖向骨架8，所述竖向骨架8上安装有线圈A9，所述推杆6底部连接有支撑框架10，所述支撑框架10内部安装有横向骨架11，所述横向骨架11上安装有线圈B12，所述支撑框架10与外壳3之间连接有横向磁流变体13，所述顶板底部安装有位置传感器14和速度传感器15，所述底座2顶部安装有控制器16。
所述推杆6穿过盖板5和支撑板4与盖板5和支撑板4滑动连接。
所述支撑框架10由铝合金板制成矩形框体。
所述顶板1由不锈钢板制成圆形结构。
所述底座2由铝合金板制成圆形结构。
所述外壳3由铝合金板制成圆筒形。
所述支撑板4、盖板5均由铝合金板制成圆形结构。
所述控制器16通过电缆与线圈A9、线圈B12、位置传感器14、速度传感器15连接。
工作时，精密仪器放置在上顶板1上，通过位置传感器14、速度传感器15采集振动信号然后传递给控制器16，由控制器16控制线圈B12和线圈A9的磁场强度；振动频率30Hz~150Hz时，通过控制器16控制线圈B12磁场强度改变横向磁流变体13的形变，改变系统阻尼实现高频隔振；振动频率0.5Hz~30Hz时，通过控制器16控制线圈A9的磁场强度改变竖向磁流变体7的形变进行竖向驱动，实现低频隔振。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (8)
1.一种可变阻尼的主动防微振基座，包括顶板、底座和外壳，其特征在于，所述外壳内部安装有支撑板，所述外壳的顶部安装有盖板，所述顶板底部中间连接有推杆，所述推杆中间安装有竖向磁流变体，所述竖向磁流变体两侧支撑板与盖板之间安装有竖向骨架，所述竖向骨架上安装有线圈A，所述推杆底部连接有支撑框架，所述支撑框架内部安装有横向骨架，所述横向骨架上安装有线圈B，所述支撑框架与外壳之间连接有横向磁流变体，所述顶板底部安装有位置传感器和速度传感器，所述底座顶部安装有控制器。
2.根据权利要求1所述的一种可变阻尼的主动防微振基座，其特征在于，所述推杆穿过盖板和支撑板与盖板和支撑板滑动连接。
3.根据权利要求1所述的一种可变阻尼的主动防微振基座，其特征在于，所述支撑框架由铝合金板制成矩形框体。
4.根据权利要求1所述的一种可变阻尼的主动防微振基座，其特征在于，所述顶板由不锈钢板制成圆形结构。
5.根据权利要求1所述的一种可变阻尼的主动防微振基座，其特征在于，所述底座由铝合金板制成圆形结构。
6.根据权利要求1所述的一种可变阻尼的主动防微振基座，其特征在于，所述外壳由铝合金板制成圆筒形。
7.根据权利要求1所述的一种可变阻尼的主动防微振基座，其特征在于，所述支撑板、盖板均由铝合金板制成圆形结构。
8.根据权利要求1所述的一种可变阻尼的主动防微振基座，其特征在于，所述控制器通过电缆与线圈A、线圈B、位置传感器、速度传感器连接。
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