CN218177816U - 一种主被动并联的防微振平台 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种主被动并联的防微振平台，包括顶板、隔振装置和底座，所述隔振装置为四个分别安装在底座顶部四个角，所述隔振装置包括支撑板、外壳和推杆，所述外壳顶部开设有通孔，所述推杆安装在支撑板底部中间，所述推杆穿过通孔插入外壳内部，所述推杆底部连接有底板，所述推杆外侧、支撑板和外壳之间套装有预压弹簧A，所述推杆外侧、外壳和底板之间套装有预压弹簧B，所述底板底部与外壳之间安装有压电驱动器。本实用新型通过上下两个并联的预压弹簧实现高频被动隔振，并通过与预压弹簧并联的压电驱动器实现低频主动隔振。本实用新型结构简单，采用垂向并联方式占地面积小，稳定性高，定位精确，隔振带宽。
Description
技术领域
本实用新型涉及隔振装置技术领域，具体是一种主被动并联的防微振平台。
背景技术
目前半导体行业飞速发展，半导体生产设备的精度要求越来越高，设备对微振动等环境的要求也越来越敏感，少许的微振动就会降低设备的产出良率，甚至使设备不能正常工作，因此对微振动的隔离变得越来越重要。
由外部环境振动及设备内部反作用力引起的微振动是制约超精密仪器测量精度与超精密加工装备制造精度的关键因素之一，高性能精密隔微振技术成为精密工程、超精密制造等领域的一项核心关键技术，对该技术的研究具有重要的实际意义与应用价值。振动控制部分是隔振平台的核心，针对中高频振动，多采用被动隔振，被动隔振结构简单、工作可靠、不依赖电源，可以有效地隔绝中高频振动干扰。针对低频甚至或超低频振动，多采用主动隔振。但是精密仪器所处环境不是单一的高频振动或低频振动，是多种频率的复杂的振动环境，而目前隔振平台多是针对单一高频或低频振动，对于复杂振动环境的隔振能力较差。
实用新型内容
实用新型的目的在于提供一种主被动并联的防微振平台，以解决上述背景技术中存在的问题。
本实用新型的技术方案是这样实现的：
一种主被动并联的防微振平台，包括顶板、隔振装置和底座，所述隔振装置为四个分别安装在底座顶部四个角，所述隔振装置包括支撑板、外壳和推杆，所述外壳顶部开设有通孔，所述推杆安装在支撑板底部中间，所述推杆穿过通孔插入外壳内部，所述推杆底部连接有底板，所述推杆外侧、支撑板和外壳之间套装有预压弹簧A，所述推杆外侧、外壳和底板之间套装有预压弹簧B，所述底板底部与外壳之间安装有压电驱动器，所述顶板底部还安装有位置传感器和速度传感器，所述底座顶部安装有控制器，所述控制器与位置传感器、速度传感器、压电驱动器通过电缆连接。
进一步地，所述顶板和底座均由不锈钢板制成矩形结构。
进一步地，所述外壳由不锈钢圆管制成。
进一步地，所述支撑板和底板均由不锈钢板制成圆形结构。
进一步地，所述预压弹簧A、预压弹簧B均为预压金属弹簧。
进一步地，所述推杆与外壳上的通孔滑动连接。
进一步地，所述支撑板顶部与顶板底部连接。
本实用新型的有益效果为：
本实用新型通过上下两个并联的预压弹簧实现高频被动隔振，并通过与预压弹簧并联的压电驱动器实现低频主动隔振。本实用新型结构简单，采用垂向并联方式占地面积小，稳定性高，定位精确，隔振带宽，对0.5Hz~150Hz的振动干扰具有较好的隔振效果。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
图2为本实用新型隔振装置的剖视图。
图中1-顶板，2-隔振装置，201-支撑板，202-外壳，203-推杆，204-通孔，205-底板，206-预压弹簧A，207-预压弹簧B，207-压电驱动器，3-底座，4-位置传感器，5-速度传感器，6-控制器，7-电缆。
具体实施方式
下面将结合实施例对本实用新型技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述地实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
如图1-2所示，一种主被动并联的防微振平台，包括顶板1、隔振装置2和底座3，所述隔振装置2为四个分别安装在底座3顶部四个角，所述隔振装置2包括支撑板201、外壳202和推杆203，所述外壳202顶部开设有通孔204，所述推杆203安装在支撑板201底部中间，所述推杆202穿过通孔204插入外壳202内部，所述推杆203底部连接有底板205，所述推杆203外侧、支撑板201和外壳202之间套装有预压弹簧A206，所述推杆203外侧、外壳202和底板205之间套装有预压弹簧B207，所述底板205底部与外壳202之间安装有压电驱动器208，所述顶板1底部还安装有位置传感器4和速度传感器5，所述底座3顶部安装有控制器6，所述控制器6与位置传感器4、速度传感器5、压电驱动器208通过电缆7连接。
所述顶板1和底座3均由不锈钢板制成矩形结构。
所述外壳202由不锈钢圆管制成。
所述支撑板201和底板205均由不锈钢板制成圆形结构。
所述预压弹簧A206、预压弹簧B207均为预压金属弹簧。
所述推杆203与外壳202上的通孔204滑动连接。
所述支撑板201顶部与顶板1底部连接。
工作时， 精密仪器放在顶板1上，通过位置传感器4、速度传感器5采集振动信号，然后将信号传递给控制器6；高频振源时，通过并联的预压弹簧A和预压弹簧B实现高频隔振；低频振源时，通过控制器6控制压电驱动器208驱动实现低频隔振。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种主被动并联的防微振平台，包括顶板、隔振装置和底座，其特征在于，所述隔振装置为四个分别安装在底座顶部四个角，所述隔振装置包括支撑板、外壳和推杆，所述外壳顶部开设有通孔，所述推杆安装在支撑板底部中间，所述推杆穿过通孔插入外壳内部，所述推杆底部连接有底板，所述推杆外侧、支撑板和外壳之间套装有预压弹簧A，所述推杆外侧、外壳和底板之间套装有预压弹簧B，所述底板底部与外壳之间安装有压电驱动器，所述顶板底部还安装有位置传感器和速度传感器，所述底座顶部安装有控制器，所述控制器与位置传感器、速度传感器、压电驱动器通过电缆连接。
2.根据权利要求1所述的一种主被动并联的防微振平台，其特征在于，所述顶板和底座均由不锈钢板制成矩形结构。
3.根据权利要求1所述的一种主被动并联的防微振平台，其特征在于，所述外壳由不锈钢圆管制成。
4.根据权利要求1所述的一种主被动并联的防微振平台，其特征在于，所述支撑板和底板均由不锈钢板制成圆形结构。
5.根据权利要求1所述的一种主被动并联的防微振平台，其特征在于，所述预压弹簧A、预压弹簧B均为预压金属弹簧。
6.根据权利要求1所述的一种主被动并联的防微振平台，其特征在于，所述推杆与外壳上的通孔滑动连接。
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