CN218424364U - 一种激光干涉仪除尘装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种激光干涉仪除尘装置，涉及测量技术领域，该激光干涉仪除尘装置，包括底座和活动安装在底座底端表面的若干个脚架，若干个所述脚架均匀分布在底座的底端表面，所述底座的顶端表面开设有安装槽，所述安装槽的底端表面开设有环形槽，所述安装槽的内壁活动安装有传动机构，所述底座的底端表面安装有固定机构，所述底座的一侧表面安装有动力传输机构。本实用新型由被动齿轮移动，被动齿轮在移动时会带动其顶端表面活动安装转动杆移动，转动杆在移动时通过连接块带动限位柱进行移动，这时限位柱上安装的连接布会沿着安装槽围绕着激光干涉仪旋转，再由连接布一侧表面安装的毛刷与激光干涉仪进行接触，达到清洁的效果。

Description

一种激光干涉仪除尘装置

技术领域

本实用新型涉及测量技术领域，具体为一种激光干涉仪除尘装置。

背景技术

激光干涉仪用于对几十米的大量程进行精密测量，也可以对手表零件等微小运动进行精密测量，既可以对几何量如长度、角度.直线度、平行度、平面度、垂直度等进行测量，也可以用于特殊场合，诸如半导体光刻技术的微定位和计算机存储器上记录槽间距的测量等等。

激光干涉仪主要用于对半导体或者机床进行测量数据，一般是配对三角脚架，再将激光干涉仪安装在脚架上对物体进行测量，在一些特殊环境下会产生粉尘附着在激光干涉仪上不方便清理，但是由于现有技术不具备对激光干涉仪的清理，导致激光干涉仪在特殊环境下由于粉尘不断的附着在激光探头上，导致测量不精准，并且飘入机器内部的粉尘会加速机器的老化，并提高机器的使用成本。

实用新型内容

本实用新型提供了一种激光干涉仪除尘装置，具备灰尘清理的优点，以解决现有技术不具备对激光干涉仪的清理，导致激光干涉仪在特殊环境下由于粉尘不断的附着在激光探头上，导致测量不精准，并且飘入机器内部的粉尘会加速机器的老化，并提高机器的使用成本的问题。

为实现灰尘清理的目的，本实用新型提供如下技术方案：一种激光干涉仪除尘装置，包括底座和活动安装在底座底端表面的若干个脚架，若干个所述脚架均匀分布在底座的底端表面，所述底座的顶端表面开设有安装槽，所述安装槽的底端表面开设有环形槽，所述安装槽的内壁活动安装有传动机构，所述底座的底端表面安装有固定机构，所述固定机构用于对仪器进行固定，所述底座的一侧表面安装有动力传输机构。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述传动机构包括传动履带组件，所述传动履带组件活动安装在安装槽的内壁，所述传动履带组件的内侧表面活动安装有连接组件，所述连接组件的顶端表面安装有除尘组件，所述连接组件与传动履带组件配合使用，所述连接组件与除尘组件配合使用。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述传动履带组件包括环形履条，所述环形履条活动安装在安装槽的内壁，所述环形履条的内壁表面安装有若干个传动齿，若干个所述传动齿均匀分布在环形履条的内壁，所述环形履条的顶端表面均匀分布有若干个从动齿。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述连接组件包括若干个转轴和若干个被动齿轮，若干个所述转轴皆活动安装在环形槽的内壁，若干个所述被动齿轮安装在转轴的顶端表面，若干个所述被动齿轮皆与传动齿相互啮合，若干个所述被动齿轮的顶端表面皆安装有转动杆，若干个所述转动杆的顶端表面皆活动安装有连接块。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述除尘组件包括若干个限位柱，若干个所述限位柱安装在连接块的顶端表面，若干个所述限位柱外侧表面共同安装有连接布，所述连接布的内壁表面安装有若干个毛刷，若干个所述毛刷均匀分布在连接布的内壁表面。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述固定机构包括螺旋孔，所述螺旋孔开设在底座的底端表面，所述螺旋孔的内壁活动安装有螺旋杆，所述螺旋杆的外侧表面活动安装有紧固螺帽，所述螺旋杆的底端表面安装有调节把手,所述紧固螺帽与螺旋杆相互啮合，所述螺旋杆的顶端表面安装有激光干涉仪。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述动力传输机构包括马达，所述马达安装在底座的一侧表面，所述马达的一侧表面安装有传动杆，所述传动杆的末端表面延伸至底座的内部，所述传动杆的末端表面安装有主动齿轮，所述主动齿轮与从动齿相互啮合。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种激光干涉仪除尘装置，具备以下有益效果：

1、该激光干涉仪除尘装置，需要对激光干涉仪进行除尘时将马达接入电路，这时马达会带动其一侧表面安装的传动杆旋转，传动杆在旋转时会带动主动齿轮进行旋转，环形履条在移动时其内壁表面安装的传动齿会跟着一起移动，被动齿轮在旋转时底端表面安装的转轴会跟着一起在环形槽的内壁进行旋转，被动齿轮在移动时会带动其顶端表面活动安装转动杆移动，再由连接布一侧表面安装的毛刷与激光干涉仪进行接触，实现对激光干涉仪的灰尘清理，达到清洁的效果。

2、该激光干涉仪除尘装置，需要使用激光干涉仪时将激光干涉仪放置在地面上，然后将激光干涉仪对准需要测量的物体，这时调节把手会带动螺旋杆沿着螺旋孔的内壁上下移动，调节完毕后将紧固螺帽顺时针旋转，这时紧固螺帽会沿着螺旋杆向上移动，移动至其末端时会停止旋转，这时紧固螺帽会将螺旋杆固定在螺旋孔的内壁处，并实现对螺旋杆顶端表面安装的激光干涉仪实现固定的效果。

附图说明

图1为本实用新型外部结构示意图；

图2为本实用新型另一个角度外部结构示意图；

图3为本实用新型内部结构示意图。

图中：1、底座；2、脚架；3、安装槽；4、环形槽；5、环形履条；6、传动齿；7、从动齿；8、被动齿轮；9、转轴；10、转动杆；11、连接块；12、限位柱；13、连接布；14、毛刷；15、螺旋孔；16、螺旋杆；17、紧固螺帽； 18、激光干涉仪；19、马达；20、传动杆；21、主动齿轮；22、调节把手。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-图3，本实用新型公开了一种激光干涉仪除尘装置，包括底座1和活动安装在底座1底端表面的若干个脚架2，若干个脚架2均匀分布在底座1的底端表面，底座1的顶端表面开设有安装槽3，安装槽3的底端表面开设有环形槽4，安装槽3的内壁活动安装有传动机构，底座1的底端表面安装有固定机构，固定机构用于对仪器进行固定，底座1的一侧表面安装有动力传输机构。

具体的，传动机构包括传动履带组件，传动履带组件活动安装在安装槽3 的内壁，传动履带组件的内侧表面活动安装有连接组件，连接组件的顶端表面安装有除尘组件，连接组件与传动履带组件配合使用，连接组件与除尘组件配合使用。

进一步的，传动履带组件包括环形履条5，环形履条5活动安装在安装槽 3的内壁，环形履条5的内壁表面安装有若干个传动齿6，若干个传动齿6均匀分布在环形履条5的内壁，环形履条5的顶端表面均匀分布有若干个从动齿7，环形履条内壁表面安装的传动齿6用于带动限位杆移动，环形履带5顶端表面安装的从动齿7用于配合主动齿轮21使用，起到传输动力的效果。

进一步的，连接组件包括若干个转轴9和若干个被动齿轮8，若干个转轴 9皆活动安装在环形槽4的内壁，若干个被动齿轮8安装在转轴9的顶端表面，若干个被动齿轮8皆与传动齿6相互啮合，若干个被动齿轮8的顶端表面皆安装有转动杆10，若干个转动杆10的顶端表面皆活动安装有连接块11，转轴9活动安装在环形槽4内，用于带动转轴9顶端表面安装的被动齿轮8，对被动齿轮8起到限位的作用，被动齿轮8顶端表面安装的转动杆10用于被动齿轮8在移动时可以自行旋转，转动杆10在跟随移动时会带动顶端表面活动安装的连接块11一起移动。

进一步的，除尘组件包括若干个限位柱12，若干个限位柱12安装在连接块11的顶端表面，若干个限位柱12外侧表面共同安装有连接布13，连接布 13的内壁表面安装有若干个毛刷14，若干个毛刷14均匀分布在连接布13的内壁表面，限位柱12安装在连接块11的顶端表面，在连接块11移动时会带动限位柱12进行移动，限位柱12外侧表面安装的连接布13会跟随限位柱12 一起移动，并使其内壁表面安装的若干个毛刷14对激光干涉仪18进行清理。

进一步的，固定机构包括螺旋孔15，螺旋孔15开设在底座1的底端表面，螺旋孔15的内壁活动安装有螺旋杆16，螺旋杆16的外侧表面活动安装有紧固螺帽17，螺旋杆16的底端表面安装有调节把手22,紧固螺帽17与螺旋杆 16相互啮合，所述螺旋杆16的顶端表面安装有激光干涉仪18。

进一步的，动力传输机构包括马达19，马达19安装在底座1的一侧表面，马达19的一侧表面安装有传动杆20，传动杆20的末端表面延伸至底座1的内部，传动杆20的末端表面安装有主动齿轮21，主动齿轮21与从动齿7相互啮合，马达19有于带动传动杆20旋转，传动杆20在旋转时会带动其一端安装的主动齿轮21旋转，主动齿轮21在旋转时会将与其相互啮合的从动齿7 向前推送，起到传输动力的效果。

本实用新型的工作原理及使用流程：需要使用激光干涉仪18时将激光干涉仪18放置在地面上，然后将激光干涉仪18对准需要测量的物体，再将底座1底端表面活动安装的调节把手22转动至合适的位置，这时调节把手22 会带动螺旋杆16沿着螺旋孔15的内壁上下移动，调节完毕后将紧固螺帽17 顺时针旋转，这时紧固螺帽17会沿着螺旋杆16向上移动，移动至其末端时会停止旋转，这时紧固螺帽17会将螺旋杆16固定在螺旋孔15的内壁处，并实现对螺旋杆16顶端表面安装的激光干涉仪18实现固定的效果；

需要对激光干涉仪18进行除尘时将马达19接入电路，这时马达19会带动其一侧表面安装的传动杆20旋转，传动杆20在旋转时会带动主动齿轮21 进行旋转，主动齿轮21与从动齿7相互啮合，并带动环形履条5在安装槽3 内进行移动，环形履条5在移动时其内壁表面安装的传动齿6会跟着一起移动，并带动与其相互啮合的被动齿轮8进行旋转，被动齿轮8在旋转时底端表面安装的转轴9会跟着一起在环形槽4的内壁进行旋转，被动齿轮8在移动时由转轴9负责位置的固定，由被动齿轮8负责移动，实现被动齿轮8沿着环形槽4的内壁移动的效果，被动齿轮8在移动时会带动其顶端表面活动安装转动杆10移动，转动杆10在移动时通过连接块11带动限位柱12进行移动，这时限位柱12上安装的连接布13会沿着安装槽3围绕着激光干涉仪 18旋转，再由连接布13一侧表面安装的毛刷14与激光干涉仪18进行接触，实现对激光干涉仪18的灰尘清理，达到清洁的效果。

需要说明的是，在本文中，诸如术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种激光干涉仪除尘装置，包括底座(1)和活动安装在底座(1)底端表面的若干个脚架(2)，若干个所述脚架(2)均匀分布在底座(1)的底端表面，其特征在于：所述底座(1)的顶端表面开设有安装槽(3)，所述安装槽(3)的底端表面开设有环形槽(4)，所述安装槽(3)的内壁活动安装有传动机构，所述底座(1)的底端表面安装有固定机构，所述固定机构用于对仪器进行固定，所述底座(1)的一侧表面安装有动力传输机构。

2.根据权利要求1所述的一种激光干涉仪除尘装置，其特征在于：所述传动机构包括传动履带组件，所述传动履带组件活动安装在安装槽(3)的内壁，所述传动履带组件的内侧表面活动安装有连接组件，所述连接组件的顶端表面安装有除尘组件，所述连接组件与传动履带组件配合使用，所述连接组件与除尘组件配合使用。

3.根据权利要求2所述的一种激光干涉仪除尘装置，其特征在于：所述传动履带组件包括环形履条(5)，所述环形履条(5)活动安装在安装槽(3)的内壁，所述环形履条(5)的内壁表面安装有若干个传动齿(6)，若干个所述传动齿(6)均匀分布在环形履条(5)的内壁，所述环形履条(5)的顶端表面均匀分布有若干个从动齿(7)。

4.根据权利要求2所述的一种激光干涉仪除尘装置，其特征在于：所述连接组件包括若干个转轴(9)和若干个被动齿轮(8)，若干个所述转轴(9)皆活动安装在环形槽(4)的内壁，若干个所述被动齿轮(8)安装在转轴(9)的顶端表面，若干个所述被动齿轮(8)皆与传动齿(6)相互啮合，若干个所述被动齿轮(8)的顶端表面皆安装有转动杆(10)，若干个所述转动杆(10)的顶端表面皆活动安装有连接块(11)。

5.根据权利要求2所述的一种激光干涉仪除尘装置，其特征在于：所述除尘组件包括若干个限位柱(12)，若干个所述限位柱(12)安装在连接块(11)的顶端表面，若干个所述限位柱(12)外侧表面共同安装有连接布(13)，所述连接布(13)的内壁表面安装有若干个毛刷(14)，若干个所述毛刷(14)均匀分布在连接布(13)的内壁表面。

6.根据权利要求1所述的一种激光干涉仪除尘装置，其特征在于：所述固定机构包括螺旋孔(15)，所述螺旋孔(15)开设在底座(1)的底端表面，所述螺旋孔(15)的内壁活动安装有螺旋杆(16)，所述螺旋杆(16)的外侧表面活动安装有紧固螺帽(17)，所述螺旋杆(16)的底端表面安装有调节把手(22),所述紧固螺帽(17)与螺旋杆(16)相互啮合，所述螺旋杆(16)的顶端表面安装有激光干涉仪(18)。

7.根据权利要求5所述的一种激光干涉仪除尘装置，其特征在于：所述动力传输机构包括马达(19)，所述马达(19)安装在底座(1)的一侧表面，所述马达(19)的一侧表面安装有传动杆(20)，所述传动杆(20)的末端表面延伸至底座(1)的内部，所述传动杆(20)的末端表面安装有主动齿轮(21)，所述主动齿轮(21)与从动齿(7)相互啮合。

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